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基于输入解耦的6DOF磁悬浮平台悬浮高度的H∞控制 预览 被引量:13

H∞Control of 6DOF Magnetic Suspension Planar Stage Suspension Height Based on Input Decoupling
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摘要 介绍一种应用于半导体光刻、微型装配、纳米技术等领域的新型磁悬浮平台--六自由度(6DOF)磁悬浮平台.针对该平台的悬浮部分是一个具有参数摄动、输入耦合的复杂系统,提出一种先在输入解耦基础上,再对系统参数扰动采取H∞鲁棒控制方法,最后实现对位置、摆角的闭环控制,该方法易于工程实现和构成闭环系统.仿真结果表明此控制方案有较好的动态、静态特性及鲁棒性. A novel magnetic suspension planar stage is presented in this paper. The magnetic suspension planar stage is one micro- electromechanical apparatus, which is widely used in semi-conductor processing, circuit board manufacturing, micro-assembling system, and so on. For the mult-input and parameters perturbation system of suspension, H∞ robust control method is proposed base on input decoupling to restrain parameter perturbation, then the closed loop control of position and angle is realized. This means is easily used in project and closed loop control. The simulation results indicate that the proposed scheme has better dynamic and robust characteristics.
作者 郭庆鼎 刘德君 赵希梅 Guo qingding, Liu Dejun, Zhao Ximei (1. Shenyang University of Technology Shenyang 110023 China ; 2. Beihua University Jilin 132021 China)
出处 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第11期70-74,共5页 Transactions of China Electrotechnical Society
关键词 6DOF磁悬浮平台 参数摄动 输入解耦 鲁棒控制 6DOF magnetic suspension planar stage, parameter perturbation, input decoupling,robust control
作者简介 郭庆鼎 男,1939年生,教授,博士生导师,主要研究方向为交流伺服,鲁棒控制,智能控制。 刘德君 男,1971年生,讲师,硕士,主要研究方向为交流伺服,智能控制。
  • 相关文献

参考文献5

  • 1Bernhard Sprenger. Planar High Speed Linear Direct Drive With Submicron Precision. Swiss: Swiss Federal Institute of Technology ETH Zurich, 1991. 被引量:1
  • 2Trum H F, Per D L, Queen M A. Precision magnetic suspension linear bearing.NASA International Symposium on Magnetic Suspension Technology. USA,1991, Hampton:NASA Langley Research Center, 1991:19- 23. 被引量:1
  • 3Bleuler H. A survey of magnetic levitation and magnetic bearing types. JSME International Journal,1992,35(3):335- 342. 被引量:1
  • 4Molenaar A, Zaaijer E H, van Beek H F.A novel low dissipation long stroke planar magnetic suspension and Propulsion Stage. The Sixth International Symposium on Magnetic Bearings , USA, 1998, Boston, 1998:650-659. 被引量:1
  • 5申铁龙.H∞控制理论及应用[M].北京:清华大学出版社,1991.. 被引量:2

共引文献1

同被引文献137

引证文献13

二级引证文献43

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