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具有优良隔热和力学性能的低热导率W/Al2O3纳米多层功能膜的构建 预览
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作者 吴珊妮 赵远 +2 位作者 姜宏 文峰 熊春荣 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期2023-2028,共6页
本研究以高纯W与Al2O3为靶材,在常温下采用磁控溅射法在钠钙硅玻璃表面交替镀制了W及Al2O3纳米多层膜。在多层膜总厚度相同的条件下,研究了不同W/Al2O3周期厚度对隔热性能的影响。采用台阶仪、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、场发射... 本研究以高纯W与Al2O3为靶材,在常温下采用磁控溅射法在钠钙硅玻璃表面交替镀制了W及Al2O3纳米多层膜。在多层膜总厚度相同的条件下,研究了不同W/Al2O3周期厚度对隔热性能的影响。采用台阶仪、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、场发射透射电镜(TEM)等对多层膜的形貌及结构进行了表征。采用瞬态热反射法(TTR)、纳米压痕仪分别分析了多层膜的隔热性能和力学性能。结果表明,实验沉积的多层膜中各单层均匀连续,不存在断层现象,且层间界面清晰。Al2O3膜层呈非晶形态,W膜层具有亚稳态β-W(210)的择优取向,并在周期厚度为5 nm时呈现明显的非晶态。随着膜层界面密度的增大,多层膜的热阻增大,热导率减小,硬度增大。周期厚度为5 nm、膜层数为41层的W/Al2O3多层膜具有较为优异的隔热性能与力学性能,其热阻为3.14×10^-7 m^2·K·W^-1,有效热导率为0.36 W·m^-1·K^-1,硬度为8.53 GPa,膜/基结合力为42.20 mN。所制备的多层膜在室温到500℃之间具有良好的热稳定性。 展开更多
关键词 W/Al2O3多层膜 磁控溅射 热导率 周期厚度 瞬态热反射法
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Zinc Oxide Composites of Doxorubicin in the Form of Coating, Composite Films and Gels with a High Antitumor Activity and Low Toxicity 预览
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作者 Emma R. Arakelova Stepan G. Grigoryan +7 位作者 Ashot M. Khachatryan Anahit A. Mirzoian Zoya M. Farmazyan Susanna L. Grigoryan Mkrtich A. Yeranosyan Flora G. Arsenyan Rafayel E. Muradyan Hrachik V. Gasparyan 《自然科学期刊(英文)》 2019年第3期61-73,共13页
This work is devoted to the formation doxorubicin (DOX) zinc oxide composites in the form of coating (DOX + ZnO), hydrogels and composite films of DOX with polyvinyl alcohol (DOX + PVA + ZnO) by DC-magnetron depositio... This work is devoted to the formation doxorubicin (DOX) zinc oxide composites in the form of coating (DOX + ZnO), hydrogels and composite films of DOX with polyvinyl alcohol (DOX + PVA + ZnO) by DC-magnetron deposition of ZnO nanoscale particles (ZnO NPs) on their surfaces (DOX, DOX + PVA) with higher (two times and more) antitumor activity and considerable smaller toxicity at low doses of DOX in compositions compared to the initial drug. Using the methods of spectroscopy, atomic force microscopy (AFM), scanning electron microscopy (SEM) and X-ray Powder Diffraction (XRD), the role of ZnO NPs size on the antitumor activity of doxorubicin zinc oxide compositions is shown. AFM shows presence of many ZnO NPs on the surface DOX. A comparison of the FTIR spectra of DOX and its zinc oxide compositions has shown the presence of new bands of OH valence and deformation vibrations. It is possible to assume that interaction between ZnO and DOX takes place in the form of hydrogen bond, promoting the complexes formation. It is possible that both synergic and hydrogen-bonding ZnO with DOX increase the antitumor activity. 展开更多
关键词 Zinc Oxide MAGNETRON Sputtering DOXORUBICIN COMPOSITES Antitumor Activity
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Nanostructure of Rutile TiO<sub>2</sub>Thin Films Prepared on Unheated Substrate by Dual Cathode DC Unbalanced Magnetron Sputtering 预览
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作者 Wichai Kongsri Supanee Limsuwan +2 位作者 Surasing Chaiyakun Pichet Limsuwan Chittra Kedkaew 《材料科学与应用期刊(英文)》 2019年第3期216-226,共11页
In this work, structural and optical properties of the TiO2 films deposited on unheated substrates by dual cathode dc unbalanced magnetron sputtering at long substrate-target distance (ds-t) were studied. Titanium dio... In this work, structural and optical properties of the TiO2 films deposited on unheated substrates by dual cathode dc unbalanced magnetron sputtering at long substrate-target distance (ds-t) were studied. Titanium dioxide (TiO2) thin films were deposited on unheated Si (110) wafers, glass slides and carbon coated copper grids at different substrate to target (ds-t) distances. The structural properties of TiO2 thin films were characterized by X-ray diffraction (XRD) and transmission electron microcopy (TEM) with selected-area electron diffraction (SAED), surface morphology using atomic force microscopy (AFM) and optical transmission spectra using a spectrophotometer. XRD results show that TiO2 films deposited at various ds-t distances have only rutile crystal structure. The crystallinity and thickness of the films increased while the roughness decreased with decreasing ds-t distance. The refractive indices of the deposited films were found to be in the range of 2.51 - 2.82 and increased with decreasing ds-t distance. 展开更多
关键词 TiO2 MAGNETRON SPUTTERING RUTILE
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退火温度和溅射时间对磁控溅射法制备Mg2Si薄膜的影响
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作者 陈茜 马新宇 +2 位作者 廖杨芳 肖清泉 谢泉 《低温物理学报》 CAS 北大核心 2019年第2期129-134,共6页
采用磁控溅射法和原位退火工艺在钠钙玻璃衬底上制备Mg2Si薄膜.首先在钠钙玻璃衬底上交替溅射沉积两层Si、Mg薄膜,冷却至室温后原位退火4h,制备出一系列Mg2Si薄膜样品.通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对所得薄膜样品的晶体... 采用磁控溅射法和原位退火工艺在钠钙玻璃衬底上制备Mg2Si薄膜.首先在钠钙玻璃衬底上交替溅射沉积两层Si、Mg薄膜,冷却至室温后原位退火4h,制备出一系列Mg2Si薄膜样品.通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对所得薄膜样品的晶体结构和表面形貌进行表征,讨论了退火温度和溅射Si/Mg/Si/Mg时间对制备Mg2Si薄膜的影响.结果表明,采用磁控溅射法在钠钙玻璃衬底上交替溅射两层Si、Mg薄膜,通过原位退火方式成功制备出单一相的Mg2Si薄膜,溅射Si/Mg/Si/Mg的时间为12.5/9/12.5/9min,退火温度为550℃时,制备的Mg2Si薄膜结晶度最好,连续性和致密性最强.这对后续Mg2Si薄膜器件的设计与制备提供了重要的参考. 展开更多
关键词 磁控溅射 原位退火 交替溅射 退火温度 溅射时间
磁控电流对Ti600钛合金表面WC-C膜组织和性能的影响
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作者 周程生 钟建 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期74-77,共4页
目前,利用离化C2H2和共溅WC靶相结合(PACVD+UBMS)制备WC-C膜,以及膜结构、性能与工艺参数间关系的文献报道较少。采有PACVD+UBMS在Ti600钛合金表面制备得到WC-C膜,分析了不同磁控电流条件下形成的膜的物相组织、微观结构、膜硬度以及膜... 目前,利用离化C2H2和共溅WC靶相结合(PACVD+UBMS)制备WC-C膜,以及膜结构、性能与工艺参数间关系的文献报道较少。采有PACVD+UBMS在Ti600钛合金表面制备得到WC-C膜,分析了不同磁控电流条件下形成的膜的物相组织、微观结构、膜硬度以及膜基结合力,并进行了磨损试验测试。结果表明:磁控电流为0 A时,磁控溅射膜中并没有形成WC对应的特征衍射峰,磁控电流3~12 A的WC-C膜中生成了WC的衍射峰,但WC-C膜内的WC相不稳定,WC-C膜表现为明显的梯度过渡结构;当磁控电流增大后,WC-C膜的膜基结合力将会随之增加,膜的弹性模量与硬度也随之减小;当磁控电流增大后,试样的磨损率也开始增加,磁控电流6 A所得试样的磨损率最大;磨痕宽度也随磁控电流的增大逐渐增大,并出现了磨屑堆积现象,且发生了小块剥落现象。 展开更多
关键词 磁控溅射 磁控电流 WC-C膜 摩擦磨损性能 TI600合金
不同溅射功率制备的Zn0.97Co0.03O薄膜的结构和光学性质研究 预览
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作者 阳生红 蒋志洁 张曰理 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期23-27,共5页
采用磁控溅射法在不同射频功率下制备了Zn0.97Co0.03O薄膜。利用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、紫外-可见光谱和室温光致发光谱对薄膜进行了表征。XRD和Raman结果表明,Zn0.97Co0.03O薄膜为六方纤锌矿结构,沿(002)晶面择优取向。随... 采用磁控溅射法在不同射频功率下制备了Zn0.97Co0.03O薄膜。利用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、紫外-可见光谱和室温光致发光谱对薄膜进行了表征。XRD和Raman结果表明,Zn0.97Co0.03O薄膜为六方纤锌矿结构,沿(002)晶面择优取向。随着溅射功率的增大,薄膜的(002)晶面择优取向增强,晶化程度提高,晶粒尺寸增大。不同溅射功率制备的Zn0.97Co0.03O薄膜均具有较高的可见光透过率。随溅射功率增加,光学带隙减小,光吸收边红移。光致发光谱表明不同溅射功率制备的Zn0.97Co0.03O薄膜均具有较强的带边紫外发光峰。随着溅射功率的增加,该发光峰的峰位发生红移,且峰强度增强。以上研究结果表明,溅射功率对Zn0.97Co0.03O薄膜的生长速率、结晶质量及光学性能有明显影响,但不会影响薄膜的成分。 展开更多
关键词 Zn0.97Co0.03O薄膜 磁控溅射 溅射功率 结构 可见光透过率 光致发光
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氧化钒薄膜制备方法专利技术分析 预览
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作者 原霞 王衍强 《云南化工》 CAS 2019年第5期144-145,共2页
氧化钒由于其独特的光电性能在红外探测器、光电调节器、智能窗、光存储及传感器等应用领域备受关注。对制备氧化钒薄膜采用的专利技术进行了梳理,对日后氧化钒薄膜的制备及性能优化具有很好的指导意义。
关键词 氧化钒薄膜 磁控溅射
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轰击离子能量对V2AlC MAX相涂层结构及力学性能的影响 预览
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作者 赵公澍 葛芳芳 +1 位作者 程晓英 黄峰 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期80-87,共8页
采用物理气相沉积(PVD)磁控溅射沉积方法,通过改变轰击离子能量制备高密度的V2AlC涂层,并探究不同轰击离子能量对涂层结构和性能的影响。利用能谱仪测试、X射线衍射、拉曼光谱、扫描电镜、原子力显微镜对涂层的化学组成、相结构、表面... 采用物理气相沉积(PVD)磁控溅射沉积方法,通过改变轰击离子能量制备高密度的V2AlC涂层,并探究不同轰击离子能量对涂层结构和性能的影响。利用能谱仪测试、X射线衍射、拉曼光谱、扫描电镜、原子力显微镜对涂层的化学组成、相结构、表面与截面形貌进行分析,同时利用纳米压痕测试评价V2AlC涂层力学性能。结果表明,提高轰击离子能量从15 eV到35 eV可以有效使得V2AlC涂层致密化,且降低涂层表面粗糙度~50%(从~20.2 nm到~11.9 nm),同时提高涂层的硬度~50%(从~14 GPa到~21 GPa),与杨氏模量~20%(从~309 GPa到~363 GPa)。但当轰击离子能量升高到50 eV时,Al元素含量急剧下降,涂层由V2AlC相转变为V2C与VC多相混合。轰击离子能量的提高有效改善V2AlC涂层的结构,提高V2AlC涂层的硬度,杨氏模量,但需控制轰击离子能量改变范围才可实现结构与性能最优化。 展开更多
关键词 离子辅助 MAX相涂层 磁控溅射 微观结构 力学性能
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结构生色纺织品的研究进展
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作者 田桓荣 刘建勇 《针织工业》 北大核心 2019年第1期30-35,共6页
结构生色技术在纺织领域有很大的发展潜力。文中通过对结构生色机理以及目前研究所涉及的结构色制备方法的阐述,特别是对磁控溅射法制备结构生色纺织品做了详细介绍,目前的研究结果都表明,无论采用何种结构色制备方式,薄膜的厚度、层数... 结构生色技术在纺织领域有很大的发展潜力。文中通过对结构生色机理以及目前研究所涉及的结构色制备方法的阐述,特别是对磁控溅射法制备结构生色纺织品做了详细介绍,目前的研究结果都表明,无论采用何种结构色制备方式,薄膜的厚度、层数都是影响颜色的重要因素。最后,文中对结构生色纺织品存在的问题和发展趋势进行了总结,指出了颜色的稳定性、颜色的重现性及靶材的生态性均是结构生色纺织品未来研究需要重视的问题。 展开更多
关键词 纺织品 结构生色 机理 磁控溅射 节能减排
316L不锈钢双极板磁控溅射镀层的耐蚀性与导电性能
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作者 宓保森 周科 +2 位作者 秦子威 陈卓 汪宏斌 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2019年第9期106-110,142共6页
为了提高不锈钢双极板的耐蚀性与导电性能,使用非平衡磁控溅射工艺,在316L不锈钢表面制备TiN、CrN、TiCrN镀层。使用X射线衍射仪(XRD)表征镀层的结构,使用扫描电镜(SEM)表征镀层的表面形貌,在模拟质子交换膜燃料电池(Proton Exchange Me... 为了提高不锈钢双极板的耐蚀性与导电性能,使用非平衡磁控溅射工艺,在316L不锈钢表面制备TiN、CrN、TiCrN镀层。使用X射线衍射仪(XRD)表征镀层的结构,使用扫描电镜(SEM)表征镀层的表面形貌,在模拟质子交换膜燃料电池(Proton Exchange Membrane Fuel Cell,PEMFC)的环境下,使用电化学测试方法分析3种镀层耐蚀性,使用接触电阻试验测试3种镀层与碳纸的接触电阻。结果表明:TiN镀层为TiN相,CrN镀层为CrN相,TiCrN镀层包含CrN相和TiN相;3种镀层表面致密,没有明显孔洞;3种镀层耐蚀性能相比于316L不锈钢提升了1~2个数量级,其中TiCrN镀层的耐蚀性优于TiN和CrN镀层;TiN、CrN、TiCrN镀层都显著降低了316L不锈钢的接触电阻,TiN镀层接触电阻最小。 展开更多
关键词 质子交换膜燃料电池 磁控溅射 不锈钢双极板 镀层 耐蚀性 导电性能
15-15Ti钢上Ti/TiN/SiC薄膜的制备及耐铅铋合金腐蚀性能研究 预览
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作者 柏佩文 李合琴 +2 位作者 林志伟 张静 唐琼 《合肥工业大学学报:自然科学版》 CAS 北大核心 2019年第2期200-205,共6页
文章采用磁控溅射法在15-15Ti钢表面沉积Ti/TiN/SiC功能梯度薄膜,并用X射线衍射仪(X-ray diffraction,XRD)、场发射扫描电子显微镜(field emission scanning electron microscope,FESEM)和原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)表... 文章采用磁控溅射法在15-15Ti钢表面沉积Ti/TiN/SiC功能梯度薄膜,并用X射线衍射仪(X-ray diffraction,XRD)、场发射扫描电子显微镜(field emission scanning electron microscope,FESEM)和原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)表征薄膜的结构和形貌,并研究了镀膜15-15Ti钢在Pb-Bi合金溶液中的耐腐蚀性能。结果表明,镀膜后的15-15Ti钢在Pb-Bi合金溶液腐蚀后表面无Fe 3O 4氧化层出现,其耐腐蚀性能得到提高。 展开更多
关键词 15-15Ti钢 Ti/TiN/SiC功能梯度薄膜 磁控溅射 Pb-Bi耐腐蚀性
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多孔Cu2S@MoZn薄膜对电极的制备及其性能研究 预览
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作者 吴丽滨 王瑞芳 贾晋虹 《化工技术与开发》 CAS 2019年第5期18-20,共3页
本文采用磁控溅射法,以钠钙玻璃为基底,溅射一层MoZn合金为导电衬底,用盐酸刻蚀掉活泼金属Zn,获得多孔MoZn导电薄膜,再通过旋涂法,在多孔薄膜上涂上一层Cu2S纳米晶作为催化材料层,经过高温退火处理,得到多孔Cu2S@MoZn薄膜对电极。将其与... 本文采用磁控溅射法,以钠钙玻璃为基底,溅射一层MoZn合金为导电衬底,用盐酸刻蚀掉活泼金属Zn,获得多孔MoZn导电薄膜,再通过旋涂法,在多孔薄膜上涂上一层Cu2S纳米晶作为催化材料层,经过高温退火处理,得到多孔Cu2S@MoZn薄膜对电极。将其与CuInS2敏化的光阳极、多硫电解质共同组成量子点敏化太阳能电池,采用扫描电镜、XRD、电池的J-V曲线测试、IPCE测试来表征和分析多孔Cu2S@MoZn薄膜对电极的性能。 展开更多
关键词 磁控溅射法 多孔MoZn导电薄膜 Cu2S纳米晶 Cu2S@MoZn薄膜对电极
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脉冲负偏压对直流磁控溅射碳膜结构和性能的影响
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作者 刘婵 王东伟 +2 位作者 李晓敏 武英桐 黄美东 《真空》 CAS 2019年第2期69-73,共5页
通过直流磁控溅射技术在基体(硅片、高速钢、钢片)上沉积碳膜。保持其它工艺参数基本恒定,探究薄膜在100V-400V脉冲负偏压下,结构和性能的变化规律。实验结果表明,这种碳膜为非晶态硬质薄膜,具有较好表面形貌,且随着脉冲偏压数值的逐渐... 通过直流磁控溅射技术在基体(硅片、高速钢、钢片)上沉积碳膜。保持其它工艺参数基本恒定,探究薄膜在100V-400V脉冲负偏压下,结构和性能的变化规律。实验结果表明,这种碳膜为非晶态硬质薄膜,具有较好表面形貌,且随着脉冲偏压数值的逐渐增加,其厚度、沉积速率和硬度均呈现先增大后减小的趋势,而摩擦系数则先减小后增大。当脉冲负偏压为200 V时,薄膜具有最佳的力学性能。 展开更多
关键词 磁控溅射 碳膜 脉冲负偏压 硬度
CIGS叠层太阳能电池的中间层及稳定性的研究进展 预览
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作者 季鑫 张朝民 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第23期3915-3920,共6页
叠层太阳能电池的问世开创了廉价、大面积、高效率太阳能电池制造与应用的新时代,当前研究最深入、应用最广泛的叠层电池主要有非晶硅/微晶硅(α-Si∶H/mc-Si∶H)的硅基叠层电池以及GaInP/GaAs为代表的Ⅲ-Ⅴ族化合物叠层电池,但是这两... 叠层太阳能电池的问世开创了廉价、大面积、高效率太阳能电池制造与应用的新时代,当前研究最深入、应用最广泛的叠层电池主要有非晶硅/微晶硅(α-Si∶H/mc-Si∶H)的硅基叠层电池以及GaInP/GaAs为代表的Ⅲ-Ⅴ族化合物叠层电池,但是这两类叠层电池在长期光照下性能会发生衰退,影响电池的实际应用。因此人们为制造高稳定性和良好匹配度的叠层电池进行了不懈的努力,包括改进电池制造工艺和开发新材料体系的叠层电池等。铜铟镓硒(CIGS)是一种光吸收系数很高的材料且具有优异的光电性能,但CIGS叠层太阳能电池在光电转换过程中的衰减特别快,稳定性较差,远远达不到其理论效率;另外,CIGS硒化物的黄铜矿结构难以控制,导致其电学性能较差。将CIGS与Si电池叠加起来形成叠层电池,两者性能互补,既可提高CIGS材料的电导率,又可以拓宽Si电池的太阳光吸收波长范围。本文归纳了CIGS叠层太阳能电池器件的研究进展,并总结了各种叠层电池的中间结合层AZO(ZnO∶Al)、FTO(SnO2∶F)、ITO(In2O3∶Sn)等的结构以及光电性能等方面的特点,从中间层、结构以及温度控制等方面论述了影响CIGS叠层太阳能电池稳定性的因素,分析了CIGS叠层太阳能电池面临的问题并展望了其前景,以期为制备稳定和高效率的新型CIGS叠层太阳能电池提供参考。 展开更多
关键词 CuInGaSe2薄膜 叠层太阳能电池 磁控溅射 中间复合层 电池稳定性
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Ag掺杂ZnSb基热电薄膜的膜层结构和热电性能 预览
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作者 李建新 周白杨 陈志坚 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期312-318,共7页
ZnSb基热电材料是中温区热电性能较好的一种材料,为进一步提升其性能,采用磁控溅射(射频+直流)的方法制备掺杂型ZnSb基热电薄膜;通过改变溅射功率控制Ag元素的掺杂量,通过真空退火来实现掺杂元素的均匀化和膜层的结晶,真空退火温度选用... ZnSb基热电材料是中温区热电性能较好的一种材料,为进一步提升其性能,采用磁控溅射(射频+直流)的方法制备掺杂型ZnSb基热电薄膜;通过改变溅射功率控制Ag元素的掺杂量,通过真空退火来实现掺杂元素的均匀化和膜层的结晶,真空退火温度选用300℃,退火时间为1 h。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、霍尔效应测试仪、薄膜Seebeck系数测量系统对薄膜特性进行测试;研究Ag掺杂对ZnSb基热电薄膜膜层结构和热电性能的影响。结果表明:随着Ag掺杂量的增加,薄膜的膜层结构显著改善,掺杂后薄膜中出现Ag3Sb和Zn4Sb3两种新相;掺杂后薄膜的热电性能相比未掺杂薄膜的提升较大,掺杂对薄膜的Seebeck系数也产生了较大的影响。当Ag掺杂量(摩尔分数)为2.88%时,样品获得最大的功率因子,在573K温度下功率因子为1.979 mW/(m·K2)。 展开更多
关键词 ZnSb基热电薄膜 磁控溅射 AG掺杂 膜层结构 热电性能
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太阳能电池用FTO/NTO复合薄膜的研究 预览
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作者 辛荣生 林钰 +1 位作者 李慧灵 苏雷生 《河南教育学院学报:自然科学版》 2019年第1期59-62,共4页
采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了FTO/NTO复合薄膜.通过紫外可见光谱(UV-vis)、双电测四探针仪和电化学工作站对薄膜的光电性能进行表征,测量并分析了NTO阻挡层(兼作传输层)厚度改变对FTO/NTO复合薄膜组装器件光电性能的影响.实验结果... 采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了FTO/NTO复合薄膜.通过紫外可见光谱(UV-vis)、双电测四探针仪和电化学工作站对薄膜的光电性能进行表征,测量并分析了NTO阻挡层(兼作传输层)厚度改变对FTO/NTO复合薄膜组装器件光电性能的影响.实验结果表明:阻挡层厚度的变化能改变光生载流子的寿命,当NTO薄膜厚度为90 nm时,光生载流子寿命最高,阻挡层抑制光生载流子复合的效果最好;FTO/NTO复合薄膜的可见光透过率可达84%以上,同时能满足正向电子传输的导电要求. 展开更多
关键词 磁控溅射 FTO/NTO复合薄膜 NTO薄膜厚度 阻挡层 光电性能
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多层PMI泡沫微波吸收材料的设计及性能检测 预览
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作者 史有强 尹雅楠 +2 位作者 何山 魏霖涛 刘伟峰 《失效分析与预防》 2019年第3期161-165,共5页
以金属靶材为原材料,PMI泡沫为基体,采用磁控溅射法制备PMI泡沫镀膜材料。开展多层PMI泡沫镀膜材料的电性能优化设计,并采用压力成型机辅助制备多层PMI泡沫微波吸收材料。结果表明:在PMI泡沫镀膜材料的制备过程中,反射率由大到小的靶材... 以金属靶材为原材料,PMI泡沫为基体,采用磁控溅射法制备PMI泡沫镀膜材料。开展多层PMI泡沫镀膜材料的电性能优化设计,并采用压力成型机辅助制备多层PMI泡沫微波吸收材料。结果表明:在PMI泡沫镀膜材料的制备过程中,反射率由大到小的靶材依次为Al、Ti、Ni、Co;采用Ti靶材进行磁控溅射镀膜制备的PMI泡沫镀膜材料,随着镀膜时间的增加,反射率先变小再变大;采用Ni、Co靶材进行磁控溅射镀膜制备的PMI泡沫镀膜材料随着镀膜时间的增加,反射率逐渐变大;将采用Co靶材制备的不同镀膜时间PMI泡沫镀膜材料进行优化组合搭配,得到6种优化匹配方案,最终优化出一种多层PMI泡沫镀膜材料微波吸收性能最佳;利用模压方法制备了多层PMI泡沫微波吸收材料,该多层PMI泡沫微波吸收材料的实际反射率曲线有一定程度的整体前移,但整体趋势与搭配反射率曲线趋势相同。 展开更多
关键词 PMI泡沫 磁控溅射 镀膜 优化设计 微波吸收材料
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NiO/SiC异质结的光电特性(英文)
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作者 胡丹丹 刘建达 郭永刚 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第3期200-203,217共5页
NiO是一种天然p型直接带隙半导体材料,首次采用磁控溅射的方法在n型4H-SiC(0001)衬底上淀积NiO薄膜,制作p-NiO/n-4H-SiC异质结。研究了氧气和氩气体积流量对NiO薄膜特性的影响,并研究了NiO/SiC异质结的光电特性。结果表明:所制备的NiO... NiO是一种天然p型直接带隙半导体材料,首次采用磁控溅射的方法在n型4H-SiC(0001)衬底上淀积NiO薄膜,制作p-NiO/n-4H-SiC异质结。研究了氧气和氩气体积流量对NiO薄膜特性的影响,并研究了NiO/SiC异质结的光电特性。结果表明:所制备的NiO薄膜为多晶结构,当氧气和氩气体积流量均为30 cm~3/min时,NiO薄膜出现[200]晶向的择优生长,呈现p型导电,薄膜平整致密,粒径约为15 nm。采用Ni作为金属电极,J-V测试结果表明异质结具有较好的整流特性,开启电压约为1.4 V,在13.5 mW的紫外灯照射下,异质结出现了光响应,开路电压Voc约为30 mV,光电流密度Jph为0.89 mA/cm~2。 展开更多
关键词 氧化镍(NiO) 异质结 磁控溅射 整流特性 光响应
刀具表面沉积的CrMoN渗/镀复合涂层的微观结构和力学性能
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作者 王建臣 邓小雷 《热加工工艺》 北大核心 2019年第6期138-140,145共4页
采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀(CFUMSIP)技术和离子渗氮技术在M2工具钢表面沉积CrMoN渗/镀复合涂层。利用SEM、EDS、XRD、纳米压痕仪、划痕仪和销盘摩擦磨损试验仪研究了该涂层的组织、成分、相结构、硬度、膜/基结合强度和摩擦磨损... 采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀(CFUMSIP)技术和离子渗氮技术在M2工具钢表面沉积CrMoN渗/镀复合涂层。利用SEM、EDS、XRD、纳米压痕仪、划痕仪和销盘摩擦磨损试验仪研究了该涂层的组织、成分、相结构、硬度、膜/基结合强度和摩擦磨损性能。结果表明,该涂层的表面和截面致密,涂层呈柱状晶生长,为fcc结构,同时图谱中出现了γ-Fe4N和α-Fe的衍射峰。CrMoN渗/镀复合涂层的膜/基结合强度和摩擦磨损性能明显优于单一制备的CrMoN涂层。 展开更多
关键词 CrMoN渗/镀复合涂层 磁控溅射 微观结构 结合强度 摩擦磨损性能
一种Ni-Cr@Al/CuO钝感含能元件的制备及性能 预览
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作者 杨腾龙 沈云 +4 位作者 代骥 郑国强 王成爱 叶迎华 沈瑞琪 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期830-836,共7页
为了提高Ni-Cr薄膜发火件的安全性和点火能力,使用磁控溅射技术将Al/CuO含能薄膜与Ni-Cr薄膜发火件复合,制备了一种新型的Ni-Cr@Al/CuO钝感含能元件。该Ni-Cr@Al/CuO钝感含能元件既可以用作换能元,又可以作为最简单的电点火元件,从而简... 为了提高Ni-Cr薄膜发火件的安全性和点火能力,使用磁控溅射技术将Al/CuO含能薄膜与Ni-Cr薄膜发火件复合,制备了一种新型的Ni-Cr@Al/CuO钝感含能元件。该Ni-Cr@Al/CuO钝感含能元件既可以用作换能元,又可以作为最简单的电点火元件,从而简化点传火序列,适应弹药微型化的发展需求。测试其1A1W5min安全性、电发火感度和点火能力。结果表明,Ni-Cr@Al/CuO钝感含能元件满足1A1W5min安全性要求;50ms临界发火电流为3.08A,最小全发火电流为3.18A,最大不发火电流为2.98A,安全裕度较高;在相同条件下,Ni-Cr@Al/CuO钝感含能元件可以点燃硼/硝酸钾,并且可实现1mm的间隙点火,而Ni-Cr薄膜发火件不能成功点燃硼/硝酸钾。 展开更多
关键词 复合含能点火元件 Ni-Cr薄膜发火件 磁控溅射 恒流激励 间隙点火 硼/硝酸钾
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