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单层黑磷拉伸热导率的分子动力学模拟 预览
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作者 吴君炜 陶毅 +2 位作者 陈辰 陈岳文 陈云飞 《东南大学学报:英文版》 EI CAS 2018年第1期43-47,共5页
采用经典的分子动力学方法研究室温下机械应变对单层黑磷纳米带在不同方向上热导率的影响.结果表明,机械应变通过改变声子态密度和平均自由程从而影响纳米带热导率.施加在扶手椅型方向上的应变使得声子态密度的峰值略微降低,而平均自... 采用经典的分子动力学方法研究室温下机械应变对单层黑磷纳米带在不同方向上热导率的影响.结果表明,机械应变通过改变声子态密度和平均自由程从而影响纳米带热导率.施加在扶手椅型方向上的应变使得声子态密度的峰值略微降低,而平均自由程显著增加,导致纳米带的热导率在应变的作用下显著提高.在锯齿型方向上,应变作用使得态密度峰值增强而自由程却略微下降,导致纳米带热导率增加相对缓慢.该发现不仅探究了机械应变与热导率之间的关系,同时也提供了一种能够可靠地估计黑磷声子平均自由程的方法. 展开更多
关键词 分子动力学 单层黑磷 应变 热导率 声子态密度 平均自由程
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分子蒸馏技术在聚硅氧烷蒸馏中的应用 预览
2
作者 诸国建 《有机硅材料》 CAS 2018年第1期54-56,共3页
介绍了分子蒸馏技术的原理和特点及其在聚硅氧烷蒸馏中的应用。
关键词 分子蒸馏 平均自由程 扩散泵 聚硅氧烷 应用
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氦气-空气混合环境中微型螺旋槽止推气浮轴承的承载特性分析 预览
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作者 张传伟 葛泉江 +4 位作者 解志杰 王黎钦 孙涛 马欣新 古乐 《摩擦学学报》 CSCD 北大核心 2018年第2期213-219,共7页
针对氦气-空气混合气体环境,分析了不同氦气体积含量下混合气体的黏度和分子平均自由程,利用有限单元法求解雷诺方程二阶滑移修正模型,计算了微型螺旋槽气浮轴承的气压和气膜厚度,研究了氦气体积含量、螺旋槽深度和转速对气浮轴承... 针对氦气-空气混合气体环境,分析了不同氦气体积含量下混合气体的黏度和分子平均自由程,利用有限单元法求解雷诺方程二阶滑移修正模型,计算了微型螺旋槽气浮轴承的气压和气膜厚度,研究了氦气体积含量、螺旋槽深度和转速对气浮轴承承载能力的影响.分析结果表明:当螺旋槽深度由1μm增至10μm时,气浮轴承的气膜厚度先增加后减小,槽深为5μm时,气膜厚度最大,气浮轴承的承载能力最佳.此外,当槽深小于5μm时,混合气体的分子平均自由程对气膜厚度的影响较大;当槽深大于5μm时,混合气体黏度的影响起主导作用. 展开更多
关键词 微型螺旋槽止推气浮轴承 氦气-空气混合气体 分子平均自由程 气体黏度 气膜厚度
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Largely reduced cross-plane thermal conductivity of nanoporous In0.1Ga0.9N thin films directly grown by metal organic chemical vapor deposition
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作者 Dongchao XU Quan WANG +6 位作者 Xuewang WU Jie ZHU Hongbo ZHAO Bo XIAO Xiaojia WANG Xiaoliang WANG Qing HAO 《能源前沿:英文版》 CSCD 2018年第1期127-136,共10页
关键词 电导率 电影 飞机 氧化物系统 接种 金属 蒸汽 化学
微沟槽缺陷的形成与改进 预览
5
作者 戴学春 《集成电路应用》 2017年第12期47-50,共4页
随着集成电路密度的不断提高,多晶硅栅的线宽不断变小,栅氧化层的厚度继续变薄,多晶硅的刻蚀变得越来越关键。多晶硅栅的形貌控制,栅氧化层二氧化硅的损失等关键特征已经被普遍关注。多晶硅刻蚀中的另一种现象:微沟槽缺陷(microtrench... 随着集成电路密度的不断提高,多晶硅栅的线宽不断变小,栅氧化层的厚度继续变薄,多晶硅的刻蚀变得越来越关键。多晶硅栅的形貌控制,栅氧化层二氧化硅的损失等关键特征已经被普遍关注。多晶硅刻蚀中的另一种现象:微沟槽缺陷(microtrench defect)也显得越发重要。该现象会造成器件的大面积漏电,严重杀伤每一个管芯,造成硅片的报废。作者通过相关试验,从工艺参数的角度对微沟槽缺陷的形成和控制做了讨论,对主要工艺参数对微沟槽缺陷的影响作了分组实验,为优化工艺参数来彻底防止微沟槽缺陷提供必要的指导。 展开更多
关键词 集成电路制造 反应离子刻蚀 微沟槽 离子能量 平均自由程 腔体压力 源功率 偏压功率 气体比率
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真空蒸发镀膜 预览 被引量:1
6
作者 甄聪棉 李壮志 +2 位作者 侯登录 郭革新 李玉现 《物理实验》 2017年第5期27-31,共5页
针对真空蒸发制备铝膜进行了详细地介绍,主要包括了真空的获得、真空的测量以及蒸发制备铝的的原理和主要事项进行了深入地探讨,改进工作对真空系统的理解和掌握有着指导意义.
关键词 真空 蒸发镀膜 平均自由程
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球磨时间及烧结温度对固溶体粒度的影响 被引量:2
7
作者 左锐 谢文 +3 位作者 温光华 陈响明 王社权 黄继武 《硬质合金》 CAS 2016年第5期300-310,共11页
通过不同球磨方法以及不同烧结温度获得不同粒度、Co相(液相)平均自由程的WC-6%(Ti,Ta,Nb)C-7.5%Co硬质合金,研究了固溶体原料球磨时间对烧结后固溶体长大的影响,同时研究了1 410℃和1 465℃两个烧结温度下硬质合金中(Ti,Ta,Nb)C... 通过不同球磨方法以及不同烧结温度获得不同粒度、Co相(液相)平均自由程的WC-6%(Ti,Ta,Nb)C-7.5%Co硬质合金,研究了固溶体原料球磨时间对烧结后固溶体长大的影响,同时研究了1 410℃和1 465℃两个烧结温度下硬质合金中(Ti,Ta,Nb)C固溶体平均粒度与液相平均自由程的关系。实验结果表明,随着WC球磨时间延长合金中的硬质相包括WC和固溶体粒度变细;单独延长固溶体原料球磨时间对烧结后固溶体平均粒度的影响不大;固溶体平均粒度与液相平均自由程之间存在较好的线性关系,并且该线性关系与温度无明显关联。分析讨论了(Ti,Ta,Nb)C固溶体在烧结过程中的生长机理,认为WC-6%(Ti,Ta,Nb)C-7.5%Co硬质合金中固溶体的主要长大方式包括聚集长大和溶解-析出长大,聚集长大主要发生于固相烧结阶段后期以及液相烧结阶段前期,聚集长大程度与烧结收缩均匀性有关,溶解-析出长大主要发生在液相烧结阶段,并随着烧结温度升高,固溶体的溶解-析出对固溶体长大的贡献增大。 展开更多
关键词 硬质合金 固溶体 长大机理 平均自由程
MC法模拟重金属氧化物玻璃屏蔽性能 预览
8
作者 武钊 邹树梁 徐守龙 《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2016年第6期592-595,共4页
论文旨在验证采用MCNP软件获得的模拟实验结果真实性。利用MCNP粒子输运模拟软件计算不同重金属氧化物玻璃以及铅在不同能量叮射线下的质量衰减系数,平均自由程,使用XCOM程序预测计算^,射线能量在0.001—100000MeV的质量衰减系数以... 论文旨在验证采用MCNP软件获得的模拟实验结果真实性。利用MCNP粒子输运模拟软件计算不同重金属氧化物玻璃以及铅在不同能量叮射线下的质量衰减系数,平均自由程,使用XCOM程序预测计算^,射线能量在0.001—100000MeV的质量衰减系数以及平均自由程,通过将两种MC法模拟软件获得的计算结果与实验值对比,证明了采用MC法进行模拟计算的可靠性。研究结果表明,基于MC法的MCNP程序可用于计算重金属氧化物玻璃的屏蔽性能。 展开更多
关键词 蒙特卡罗方法 平均自由程 重金属氧化物 质量衰减系数
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Immunity of electronic and transport properties of phosphorene nanoribbons to edge defects
9
作者 Mirko Poljak Tomislav Suligoj 《纳米研究:英文版》 SCIE CAS CSCD 2016年第6期1723-1734,共12页
我们在场在有边的 phosphorene nanoribbons (PNR ) 的电子性质和搬运人运输的广泛的研究由使用严密的原子论的量运输模拟背叛。这研究在放大为未来 nanoelectronics 应用在兴趣的 PNR 管理运输差距,和吝啬的免费路径和搬运人活动性的... 我们在场在有边的 phosphorene nanoribbons (PNR ) 的电子性质和搬运人运输的广泛的研究由使用严密的原子论的量运输模拟背叛。这研究在放大为未来 nanoelectronics 应用在兴趣的 PNR 管理运输差距,和吝啬的免费路径和搬运人活动性的法律的尺寸依赖者和缺点依赖者上报导。我们的结果显示有扶手椅边(aPNRs ) 的 PNR 比弯弯曲曲的 PNR (zPNRs ) 对缺点更有免疫力,当两种 PNR 类型相对 graphene nanoribbons (GNR ) 展出优异免疫到缺点时。吝啬的免费路径的调查证明甚至在低缺点密度的情况中,在 PNR 的运输是散开的,并且搬运人活动性甚至在极端小的 PNR 仍然是一个有意义的运输参数。我们发现电子洞活动性不对称现象(在大区域的 phosphorene 在场) 为 W 仅仅在 zPNRs 被保留 > 4 nm,当在另外的情况中不对称现象被边抚平时,背叛散布。而且,我们证明 aPNRs 以搬运人活动性超过 zPNRs 和 GNR,并且那 PNR 通常为优异 mobility-bandgap 提供交易,相对 GNR 和单层瞬间 <sub>2</sub> 。这个工作在未来为极其放大的晶体管隧道作为有希望的材料识别 PNR 硅以后的电子技术,和礼品为 nanostructured phosphorene 上的试验性的工作的有说服力的争论。 展开更多
关键词 边缘缺陷 电子性质 纳米带 免疫力 输运特性 载流子迁移率 平均自由程 不对称性
Synthesis and Spectroscopy of Silica Nanoparticles as Scatter Centers in Random Gain Porous Media 预览
10
作者 Firas J. Kadhim Baha T. Chiad +1 位作者 Nathera A. Ali Jafer F. Odah 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期334-339,共6页
This work was carried out to synthesis a silica matrix by sol-gel technique,which used as host to Kiton Red laser dye doped with silica nanoparticles,which also prepared by sol-gel technique,to obtain KRSiO2 nanoparti... This work was carried out to synthesis a silica matrix by sol-gel technique,which used as host to Kiton Red laser dye doped with silica nanoparticles,which also prepared by sol-gel technique,to obtain KRSiO2 nanoparticles confined in silica xerogel matrix.The rods at different pH values were successfully synthesized.The different values of pH cause different size of obtained nanoparticles,these nanoparticles act as scatter centers in the matrix.Amplified spontaneous emission(ASE),threshold pumping energy(Eth),and mean free path(lt)for photons in the rods have been reported.the results show that the values of bandwidth at full width half-maximum(FWHM)and the threshold energy are about 8.7nm and 12 mJ respectively. 展开更多
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基于VHS分子模型的DSMC方法研究分子蒸馏气相微观特性 预览 被引量:1
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作者 许松林 李阳 《天津大学学报:自然科学与工程技术版》 CSCD 北大核心 2015年第11期1023-1029,共7页
为了研究分子蒸馏器内气体的微观特性,基于变径硬球分子模型,采用了直接模拟蒙特卡洛方法,考虑了分子转动能和平动能,建立了描述分子蒸馏气相传递过程的一维和二维模型,计算了不同蒸发温度下的蒸发效率,并将模拟计算值与实验数据对比,... 为了研究分子蒸馏器内气体的微观特性,基于变径硬球分子模型,采用了直接模拟蒙特卡洛方法,考虑了分子转动能和平动能,建立了描述分子蒸馏气相传递过程的一维和二维模型,计算了不同蒸发温度下的蒸发效率,并将模拟计算值与实验数据对比,验证了模型的合理性.通过模拟分子的运动和碰撞过程,分析了蒸发温度、冷凝温度和蒸发面与冷凝面的间距等参数对气相空间的碰撞频率和分子平均自由程分布的影响.结果表明:碰撞频率和平均自由程分布的变化始终呈相反趋势;在蒸发面附近,碰撞频率和分子平均自由程分别处于各自最大值和最小值;从蒸发面到冷凝面的气相空间,碰撞频率逐渐减小,分子平均自由程逐渐增大;靠近冷凝面时,碰撞频率和分子平均自由程分别达到各自最小值和最大值;随着蒸发温度或冷凝温度的升高,气相空间同一位置处的碰撞频率增大而平均自由程减小;随着蒸发面与冷凝面的间距增加,碰撞频率在同一位置处有所增大,但在冷凝面附近更小;间距增加,同一位置处的分子平均自由程减小,但是冷凝面附近,间距越大时平均自由程也越大. 展开更多
关键词 分子蒸馏 直接模拟蒙特卡洛方法 变径硬球 碰撞频率 平均自由程
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月面巡视区域地形与巡视器通过性统计分析
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作者 李静文 《中国科学:技术科学》 CSCD 北大核心 2015年第7期773-778,共6页
在国内外月球地形地貌的研究成果综述的基础上,利用"嫦娥三号"巡视器获得的巡视区域地形信息,对月岩和撞击坑等典型地形特征的分布进行了统计分析,构建了描述分布规律的数学模型.对巡视器的通过性进行了研究,得到了不同通过能力对应... 在国内外月球地形地貌的研究成果综述的基础上,利用"嫦娥三号"巡视器获得的巡视区域地形信息,对月岩和撞击坑等典型地形特征的分布进行了统计分析,构建了描述分布规律的数学模型.对巡视器的通过性进行了研究,得到了不同通过能力对应的平均自由程等分析结果,作为巡视器路径规划及运动模式选择的基础,也可以作为后续软着陆任务地形特征建模的参考. 展开更多
关键词 地形地貌 嫦娥三号 巡视器 地形特征分布 通过性 平均自由程
用类比法推导分子平均自由程公式的关键问题 预览
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作者 胡新华 廖杨芳 《物理与工程》 2015年第2期78-80,共3页
为了指出部分学生在用类比法推导分子平均自由程公式时出现的错误并给出正确的推导,采用弹性刚球模型讨论分子之间的相互碰撞过程。用类比法推导分子的平均自由程公式,要解决的关键问题是推导分子的平均相对速率服从麦克斯韦速率分布律... 为了指出部分学生在用类比法推导分子平均自由程公式时出现的错误并给出正确的推导,采用弹性刚球模型讨论分子之间的相互碰撞过程。用类比法推导分子的平均自由程公式,要解决的关键问题是推导分子的平均相对速率服从麦克斯韦速率分布律。平均相对速率是平均相对速度的大小,因此先由麦克斯韦速度分布律导出处在平衡态的混合理想气体分子相对速度的分布函数,并得出相对速度瓫r也服从麦克斯韦速度分布律,再取特殊情况即得出同种分子碰撞的相对速度分布函数。然后根据麦克斯韦速度分布函数和速率分布函数的关系,导出平均相对速率服从麦克斯韦速率分布律。 展开更多
关键词 类比法 平均自由程 平均相对速率 麦克斯韦速率分布律
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纳米孔隙空间内气体分子平均自由程变化规律 预览 被引量:2
14
作者 王立新 魏高升 +1 位作者 杜小泽 杨勇平 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第S1期211-216,共6页
以Zeng等提出的纳米孔隙内气体分子平均自由程模型为基础,考虑材料的微观结构特点,结合纳米小球堆积构成的杆状立方阵列结构,对纳米孔隙空间内的气体分子平均自由程的影响因素、影响机理及变化规律进行了分析。研究结果表明纳米孔材料... 以Zeng等提出的纳米孔隙内气体分子平均自由程模型为基础,考虑材料的微观结构特点,结合纳米小球堆积构成的杆状立方阵列结构,对纳米孔隙空间内的气体分子平均自由程的影响因素、影响机理及变化规律进行了分析。研究结果表明纳米孔材料的微观结构特征与材料的密度和比表面积直接相关,纳米孔隙空间内的气体分子平均自由程随着比表面积和密度的增加而降低,具有相对高的比表面积和密度更有利于进一步限制纳米孔中的气相导热。p=104 Pa和p=4×105 Pa是两个拐点压力,当p【104 Pa时,气体分子平均自由程就不再随着压力的降低而发生变化,当p】4×105 Pa时,纳米孔隙对气体分子自由运动的限制作用就可忽略。随着温度的升高,纳米孔隙空间中的气体分子平均自由程在升高,但升高幅度逐渐降低。 展开更多
关键词 纳米结构 多孔介质 动力学 平均自由程 气凝胶 热导率
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WC-6%Co硬质合金的冲击磨粒磨损性能研究 被引量:3
15
作者 马旭东 林晨光 +2 位作者 曹瑞军 谢兴铖 林中坤 《硬质合金》 CAS 2014年第2期86-92,共7页
用MLD-10型动载磨粒磨损试验机研究了不同晶粒度YG6硬质合金的冲击磨粒磨损性能。对试样进行了失重测量,并用FESEM分析磨损试样表面形貌。结果表明,硬质合金的耐磨性能与粘结相自由程、WC晶粒度有关;在本实验条件下,随着WC晶粒度或... 用MLD-10型动载磨粒磨损试验机研究了不同晶粒度YG6硬质合金的冲击磨粒磨损性能。对试样进行了失重测量,并用FESEM分析磨损试样表面形貌。结果表明,硬质合金的耐磨性能与粘结相自由程、WC晶粒度有关;在本实验条件下,随着WC晶粒度或粘结相自由程增加,合金耐磨性先增加后减小,特定WC晶粒度配比的混晶WC-6%Co合金的抗冲击耐磨性能最好。合金的磨损失效机制也发生了转变:细晶合金主要表现为WC颗粒的剥落;随WC晶粒度增加,合金主要表现为大颗粒WC破碎后脱落。在以SiC为磨料的冲击磨粒磨损试验中,WC-6%Co合金的磨损是以WC颗粒的破碎和碎片脱落为主要的失效机制。 展开更多
关键词 WC—Co 冲击磨粒磨损 粘结相自由程 WC晶粒度
Isotope effect of the phonons mean free path in graphene by micro-Raman measurement
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作者 ZHANG CanKun LI QiongYu +6 位作者 TIAN Bo HUANG ZhiYi LIN WeiYi LI HongYang HE DaHai ZHOU YingHui CAI WeiWei 《中国科学:物理学、力学、天文学英文版》 SCIE EI CAS 2014年第10期1817-1821,共5页
The isotope labeled graphene was synthesized in the concentration of 13 C carbon atom in 1%, 25%, 50%, 75% and 99%. The isotope effect on the phonon behavior in graphene was investigated based on the micro-Raman analy... The isotope labeled graphene was synthesized in the concentration of 13 C carbon atom in 1%, 25%, 50%, 75% and 99%. The isotope effect on the phonon behavior in graphene was investigated based on the micro-Raman analysis of 13 C isotope labeled graphene samples. We found that the phonon scattering is affected by the isotopic carbon atom as a point defect. Based on the experiment results, the Klemens-Callaway model and uncertainty principle were used to obtain the mean free path of the G and D phonons. The results agree with the thermal conductivity measurement by non-contact optical method and with other theoretical calculations. 展开更多
关键词 同位素效应 声子散射 拉曼分析 自由程 石墨 测量 同位素标记 不确定性原理
热学教学中应用类比法的实例 预览
17
作者 高崇伊 《高等理科教育》 2013年第4期86-93,共8页
类比法是一种在科学研究中常用的逻辑推理方法。在物理学的教学中直接使用类比推理的方法好处良多。本文介绍了在"热学"课程里有关"分子通量的计算"、"穿过指定截面的分子的自由程分布函数及其平均自由程"、"在其自由运动时期内... 类比法是一种在科学研究中常用的逻辑推理方法。在物理学的教学中直接使用类比推理的方法好处良多。本文介绍了在"热学"课程里有关"分子通量的计算"、"穿过指定截面的分子的自由程分布函数及其平均自由程"、"在其自由运动时期内包含指定时刻的分子的自由时间分布函数及其平均自由时间"、"大气产生重力分离所需时间"、"傅里叶定律"、"焓的改变"等相关内容的教学中应用类比法的一些实例。 展开更多
关键词 热学 类比法 分子通量 平均自由程 平均自由时间 傅里叶定律
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关于普朗特混合长度理论的分析 预览 被引量:4
18
作者 暨朝颂 《中国矿山工程》 2013年第2期53-57,共5页
应用分子运动理论,证明普朗特混合长度理论的立论根据是错误的,造成混合长度定义的前后矛盾,最终定义(微团的坐标)与当初假设(微团脉动的振幅)之间,其物理涵义互不相关,严重违反了相似原理,是一种主观杜撰出来的理论。导出来的公式... 应用分子运动理论,证明普朗特混合长度理论的立论根据是错误的,造成混合长度定义的前后矛盾,最终定义(微团的坐标)与当初假设(微团脉动的振幅)之间,其物理涵义互不相关,严重违反了相似原理,是一种主观杜撰出来的理论。导出来的公式又未能正确修改,存在着结构性的错误。同时列举了有代表性的例子,详细分析了混合长度理论的具体错误。最后得出结论:该理论从立论到得出对数率都是错误的,在科学上没有意义。 展开更多
关键词 分子运动论 平均自由程 混合长度 雷诺应力结构 湍流总切应力
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计算机模拟估算气体的扩散系数 被引量:5
19
作者 晋宏营 《计算机与应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第11期1294-1298,共5页
使用计算机模拟了气体分子在背景气体中的一维扩散过程,结果显示:越靠近初始位置处,分子数密度越大;扩散时间越长,分子分布的空间范围越大;模拟的分子数越多,涨落越小:分子的方均位移与扩散时间成正比。本文的模拟方法可用来估... 使用计算机模拟了气体分子在背景气体中的一维扩散过程,结果显示:越靠近初始位置处,分子数密度越大;扩散时间越长,分子分布的空间范围越大;模拟的分子数越多,涨落越小:分子的方均位移与扩散时间成正比。本文的模拟方法可用来估算气体的扩散系数,对1标准大气压和15℃条件下,氩气、氢气、氮气、氧气、二氧化碳和氖气的自扩散系数,以及此条件下氢气在氧气中、氢气在氮气中、氢气在二氧化碳中和氧气在氮气中的互扩散系数进行了估算,并把估算的扩散系数和相应的扩散系数实验值作了对比,二者不但数量级符合的很好,数值也比较接近,说明估算较为成功。 展开更多
关键词 扩散系数 蒙特卡罗模拟 方均位移 平均自由程
金刚石基底上制备(002)AlN薄膜的研究 被引量:2
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作者 古少杰 杨保和 +2 位作者 张明伟 崔健 李翠平 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期 1114-1119,共6页
首先采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,在O2/H2/CH4混合气体气氛下利用大功率微波在(100)Si片上生长出了异质外延金刚石膜,X-射线衍射(XRD)、拉曼光谱和场发射扫描电子显微镜(FESEM)对薄膜的表征分析结果表明,制备的金... 首先采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,在O2/H2/CH4混合气体气氛下利用大功率微波在(100)Si片上生长出了异质外延金刚石膜,X-射线衍射(XRD)、拉曼光谱和场发射扫描电子显微镜(FESEM)对薄膜的表征分析结果表明,制备的金刚石膜具有很高的金刚石相纯度,且晶粒排列紧密;继而采用射频磁控反应溅射法,在抛光的金刚石基底上成功制备了高C轴择优取向的氮化铝(AlN)薄膜,研究了不同的溅射气压、靶基距对AlN薄膜制备的影响,XRD检测结果表明,溅射气压低,靶基距短,有利于AlN(002)面择优取向,相反则更有利于AlN薄膜的(103)面和(102)面择优取向;研究了AlN薄膜在以N终止的金刚石基底和纯净金刚石基底两种表面状态上的生长机制,结果发现,以N终止的金刚石基底非常有利于AlN(002)面择优取向生长;从Al-N化学键的形成以及溅射粒子平均自由程的角度,探讨了其对AlN薄膜择优取向的影响。 展开更多
关键词 氮化铝(AlN)薄膜 择优取向 金刚石 化学键 平均自由程
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