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高精度非接触式锥光全息测量系统设计及应用 被引量:1
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作者 温亚楠 王添 +4 位作者 于佳 杨宇 王金城 王志红 田维坚 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2014年第8期83-88,共6页
针对常见的工业零部件尺寸,基于锥光全息测量原理,设计一套高精度非接触式锥光全息测量系统,并用于测量钱币表面的高度信息。首先记录钱币的锥光全息图,接着对全息图的干涉条纹进行中心线细化处理,用以计算条纹宽度变化量,进而得... 针对常见的工业零部件尺寸,基于锥光全息测量原理,设计一套高精度非接触式锥光全息测量系统,并用于测量钱币表面的高度信息。首先记录钱币的锥光全息图,接着对全息图的干涉条纹进行中心线细化处理,用以计算条纹宽度变化量,进而得到被测钱币表面高度的变化。实验结果表明,当物镜焦距为50mm时,该测量系统的精确探测范围达到5mm,测量误差在0.28%之内,验证了该系统设计方案的可行性和准确性。 展开更多
关键词 全息 晶体双折射 锥光全息 中心线细化
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