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光栅单色器系统超环面镜转动机构优化设计
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作者 陈家华 徐中民 +1 位作者 甄香君 薛松 《核技术》 CSCD 北大核心 2018年第3期1-6,共6页
为了减少软X射线谱学显微光束线开光后光栅单色器系统光通量漂移的稳定时间,通过有限元分析开光后超环面镜转动机构的瞬态温度,得到2 h后推杆方向总的线性热膨胀量,以及由此引起聚焦光斑在出射狭缝中心处的水平偏移量。结果显示:超环... 为了减少软X射线谱学显微光束线开光后光栅单色器系统光通量漂移的稳定时间,通过有限元分析开光后超环面镜转动机构的瞬态温度,得到2 h后推杆方向总的线性热膨胀量,以及由此引起聚焦光斑在出射狭缝中心处的水平偏移量。结果显示:超环面镜推杆方向热膨胀量为0.97μm,聚焦光斑的水平偏移量达到141μm,而狭缝水平开口仅为50μm,由此推断光通量漂移产生的主要原因是超环面镜吸收的热负载缓慢传导至正弦机构引起Pitch角持续变化。据此设计了超环面镜间接水冷结构,通过对结构优化后的超环面镜箱开光测试,将稳定时间由2 h以上缩短到30 min左右,有效地提升了用户机时的利用效率。 展开更多
关键词 光栅单色系统 超环面镜 光通量漂移 线性热膨胀 间接水冷
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