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展望硼烯的化学合成 预览
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作者 杨金龙 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2019年第6期563-564,共2页
二维材料因独特的尺度具备一系列宏观材料所未有的物理和化学性质,相关研究不仅充分展示了材料世界的魅力,而且为制造下一代电子器件提供了重要科学与技术基础。二维材料研究的热点之一是寻找新的具有更独特结构和物性的单原子层材料,... 二维材料因独特的尺度具备一系列宏观材料所未有的物理和化学性质,相关研究不仅充分展示了材料世界的魅力,而且为制造下一代电子器件提供了重要科学与技术基础。二维材料研究的热点之一是寻找新的具有更独特结构和物性的单原子层材料,以丰富整个二维材料的家族。自发现石墨烯之后,国际上已报道了数百种二维材料,它们展现的晶格结构和物性可谓多姿多彩。然而,令人惊讶的是,像石墨烯这样具有纯平面原子结构且由单一元素组成的二维材料一直未见报道。 展开更多
关键词 二维材料 化学气相沉积 石墨烯
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SiC纤维表面(BN-SiC)_n复合涂层的制备及单丝拉伸性能
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作者 贾林涛 王梦千 +2 位作者 徐海明 李爱军 彭雨晴 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期1873-1878,共6页
为制备出理想的连续纤维增韧陶瓷复合材料界面相,利用化学气相沉积(CVD)工艺在SiC纤维表面连续制备出三种类型的(BN-SiC)n复合界面涂层,对其进行微观结构表征,并通过单丝拉伸测试研究不同涂层对纤维单丝拉伸性能的影响。结果表明:SiC纤... 为制备出理想的连续纤维增韧陶瓷复合材料界面相,利用化学气相沉积(CVD)工艺在SiC纤维表面连续制备出三种类型的(BN-SiC)n复合界面涂层,对其进行微观结构表征,并通过单丝拉伸测试研究不同涂层对纤维单丝拉伸性能的影响。结果表明:SiC纤维表面沉积的(BN-SiC)n涂层较为均匀致密。单丝拉伸强度随着涂层层数的增加而降低。单层BN涂层的SiC纤维具有最高的单丝强度保持率(70%)和最大的拉伸伸长率(2.3%)。具有(BN-SiC)1与(BN-SiC)2复合涂层的SiC纤维单丝的拉伸性能相比原始SiC纤维有明显下降,拉伸强度保持率分别是42.1%和32.3%。 展开更多
关键词 化学气相沉积 复合涂层 SIC 微观结构 单丝拉伸
硼烯化学合成进展与展望 预览
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作者 王琴 薛珉敏 张助华 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2019年第6期565-571,共7页
硼烯是由硼原子构成的单原子层厚的二维材料,具有丰富的化学和物理性质。本文集中介绍近年来硼烯在合成方面的理论与实验研究进展,重点分析基底、生长温度、生长前驱物等因素对硼成核选择性的影响,探讨能够促进硼烯成核的潜在方法。进... 硼烯是由硼原子构成的单原子层厚的二维材料,具有丰富的化学和物理性质。本文集中介绍近年来硼烯在合成方面的理论与实验研究进展,重点分析基底、生长温度、生长前驱物等因素对硼成核选择性的影响,探讨能够促进硼烯成核的潜在方法。进一步将分析硼烯生长机制及理论研究方法,以此展望通过在基底上化学气相沉积合成硼烯的可能途径。本文旨在促进大面积、高质量硼烯样品的制备以推动硼烯的实际应用。 展开更多
关键词 硼烯 化学气相沉积 材料合成 理论模拟 基底 成核
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胍基硅前驱体的合成及应用 预览
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作者 马潇 许从应 +3 位作者 许东升 丁玉强 金成刚 季佩宇 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2019年第10期1179-1185,共7页
以胍基取代的二甲基二氯硅烷与胺基锂反应合成了3种硅基化合物,使用核磁共振、高分辨质谱、元素分析对化合物结构进行了表征,通过热重分析(TGA)研究了化合物的热稳定性、挥发性、蒸汽压等性能。3种化合物均具有良好的热稳定性及挥发性,... 以胍基取代的二甲基二氯硅烷与胺基锂反应合成了3种硅基化合物,使用核磁共振、高分辨质谱、元素分析对化合物结构进行了表征,通过热重分析(TGA)研究了化合物的热稳定性、挥发性、蒸汽压等性能。3种化合物均具有良好的热稳定性及挥发性,无明显热分解过程,固体残留小于1%,接近纯挥发过程,最高蒸汽压在3600~5300 Pa,满足前驱体使用要求。以二甲基-胍基-甲乙胺基-硅烷为前驱体,采用螺旋波等离子体气相沉积(HWPCVD)工艺制备了硅基薄膜,使用X射线光电子能谱(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的化学组成和膜表面结构,XPS分析结果证实该薄膜为Si、N、C组成,实验结果表明,该类胍基硅化合物可作为硅基化学气相沉积(CVD)前驱体材料应用于集成电路制造。 展开更多
关键词 胍基 前驱体 化学气相沉积 应用
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SiO2/Si上石墨烯薄膜的化学气相沉积法制备及其性能表征
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作者 刘喜锋 张鹏博 +1 位作者 方小红 陈小源 《半导体光电》 CAS 北大核心 2019年第4期513-516,522共5页
以铜为催化剂,采用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和甲烷为碳源的化学气相沉积两步法,在SiO2/Si衬底上制备了石墨烯薄膜。利用拉曼光谱分析了薄膜的层数和质量,利用光学显微镜(OM)和扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的尺寸与表面形貌。实验探究... 以铜为催化剂,采用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和甲烷为碳源的化学气相沉积两步法,在SiO2/Si衬底上制备了石墨烯薄膜。利用拉曼光谱分析了薄膜的层数和质量,利用光学显微镜(OM)和扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的尺寸与表面形貌。实验探究了生长时间、氢气流量和气体总压强等工艺参数对石墨烯薄膜层数和质量的影响,最终在优化条件下制得10μm级质量较高的多层石墨烯薄膜。 展开更多
关键词 石墨烯 化学气相沉积 SIO2/SI
原位碳纳米管/铝基复合材料的制备与力学性能 预览
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作者 王雷 尹华 +4 位作者 徐润 谭占秋 范根莲 李志强 张荻 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2019年第1期63-67,74共6页
采用片状粉末冶金技术制备碳纳米管/铝(CNT/Al)复合材料,并研究其力学性能。首先,通过聚合物热解化学气相沉积法(PP-CVD)在微纳铝片表面原位生长碳纳米管制备CNT/Al片状复合粉末,随后对该片状复合粉末进行冷压成形、烧结致密化和挤压变... 采用片状粉末冶金技术制备碳纳米管/铝(CNT/Al)复合材料,并研究其力学性能。首先,通过聚合物热解化学气相沉积法(PP-CVD)在微纳铝片表面原位生长碳纳米管制备CNT/Al片状复合粉末,随后对该片状复合粉末进行冷压成形、烧结致密化和挤压变形加工等,制备致密的CNT/Al复合材料块体。实验结果表明,相比铝基体,所制备的1.5%CNT/Al复合材料抗拉强度和模量分别提高了18.5%和23.7%,3.0%CNT/Al复合材料抗拉强度和模量分别提高了31.4%和74.1%,但由于铝基体的细晶强化和位错强化作用,使其塑性分别下降至4.96%和1.5%。 展开更多
关键词 碳纳米管 铝基复合材料 化学气相沉积 片状粉末冶金 力学性能
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微波高功率对生长金刚石膜影响的研究
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作者 余军火 汪建华 +1 位作者 罗凯 翁俊 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期390-395,共6页
在实验室自制的10 kW微波等离子体化学气相沉积装置中,系统分析提高功率对生长金刚石膜的影响。利用等离子体发射光谱诊断分析高功率微波等离子体放电环境的特征,同时采用扫描电镜及Raman光谱对不同功率条件下获得的金刚石膜的形貌和质... 在实验室自制的10 kW微波等离子体化学气相沉积装置中,系统分析提高功率对生长金刚石膜的影响。利用等离子体发射光谱诊断分析高功率微波等离子体放电环境的特征,同时采用扫描电镜及Raman光谱对不同功率条件下获得的金刚石膜的形貌和质量进行表征。结果表明:微波功率的提高可以获得面积更大的强场区域,为金刚石的大面积均匀成膜提供了有利条件;同时提高微波功率可以产生更高的电子密度,激发更多的活性氢原子和有利于金刚石生长的含碳基团;在气压为15 kPa,H2/CH4流量比为200∶6 mL/min的条件下,当功率由4000上升到5000 W时,金刚石膜的质量明显得到提高;当功率升高到5500 W时,金刚石质量开始下降,出现孪晶;但在升高功率的过程中,晶粒尺寸增大的趋势没有改变。因此,提高微波功率易于活性氢原子的产生并可更为充分的活化含碳大分子基团;在本实验条件下,当微波功率为5000 W时,所制备的金刚石膜可具有较高的质量。 展开更多
关键词 高微波功率 强场区域 电子密度 化学气相沉积
炭纤维涂层改性对快速制备Cf/SiC复合材料力学性能的影响 预览
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作者 孙晔华 李国栋 +3 位作者 叶国柱 史琦 张洋 何岸青 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2019年第3期248-254,共7页
以 SiC 粉末、酚醛树脂粉末及有 PyC/SiC 复合涂层改性和无涂层改性的两种炭纤维毡/布为原料,采用新型快速成形工艺结合反应熔体浸渗技术制备 Cf/SiC 复合材料,并对其表面化学气相沉积(chemical vapordeposition(CVD))/SiC 涂层。通过 X... 以 SiC 粉末、酚醛树脂粉末及有 PyC/SiC 复合涂层改性和无涂层改性的两种炭纤维毡/布为原料,采用新型快速成形工艺结合反应熔体浸渗技术制备 Cf/SiC 复合材料,并对其表面化学气相沉积(chemical vapordeposition(CVD))/SiC 涂层。通过 XRD 物相分析、扫描电镜及复合材料力学性能测试等手段,研究炭纤维涂层改性及表面涂层改性对 Cf/SiC 复合材料力学性能的影响。结果表明:涂层改性的炭纤维在反应熔渗过程中不被液Si 侵蚀,从而提高材料的力学性能;表面 CVD SiC 涂层改性能够通过填补表面缺陷,包覆易裂部位,涂层脱粘,弥补内部缺陷等方式提高抗弯强度;采用 PyC/SiC 复合涂层对炭纤维改性后,复合材料抗弯强度由 150.90 MPa提高到 217.96 MPa,通过表面 CVD SiC 涂层后,复合材料抗弯强度进一步提高,达到 266.94 MPa。 展开更多
关键词 CF/SIC 复合材料 化学气相沉积 界面改性 表面改性 抗弯强度
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半导体淀积工艺及其设备技术研究 预览
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作者 蔡颖岚 刘峰 +2 位作者 杜学寨 殷玮 杜妍 《设备管理与维修》 2019年第10期117-118,共2页
薄膜工艺是半导体工艺重要组成部分,较广泛的采用物理气相沉积和化学气相沉积方法。通常把PECVD才直接称为淀积工艺,其工艺受多方面因素影响,通过工艺和设备技术的研究,提高工艺可靠性,减少设备故障。
关键词 薄膜工艺 物理气相沉积 化学气相沉积 PECVD 淀积系统
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陶瓷Al4C3薄膜厚度依赖的场发射特性研究 预览
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作者 梁英 《广州航海学院学报》 2019年第1期60-64,共5页
采用简单的热化学输运方法,通过控制生长温度和时间,在钨箔上制备了不同厚度的Al4C3薄膜.通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和拉曼光谱分析等手段对样品的形貌和结构进行了系列表征.场电子发射测试表明,厚度为300nm、600nm和1000nm的Al... 采用简单的热化学输运方法,通过控制生长温度和时间,在钨箔上制备了不同厚度的Al4C3薄膜.通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和拉曼光谱分析等手段对样品的形貌和结构进行了系列表征.场电子发射测试表明,厚度为300nm、600nm和1000nm的Al4C3薄膜的开启电压分别为4.2V/μm、5.8V/μm和8.6V/μm(发射电流10A/cm^2).这种现象可归因于绝缘Al4C3层的厚度和空间电荷效应引起的电子输运能力差异. 展开更多
关键词 Al4C3薄膜 化学气相沉积 场电子发射特性
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石墨烯光子晶体光纤:实现强烈且可调光与物质相互作用的新方案
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作者 郭万林 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第26期2664-2666,共3页
光子晶体光纤由于自身周期性的微孔洞结构而具备许多传统光纤无可比拟的奇异性质,因而在无截止的单模光纤、超连续光谱激光器、光频梳、光孤子传输、大功率飞秒脉冲传送等方面有着广阔的应用前景〜111.近年来,研究者通过向光子晶体光纤... 光子晶体光纤由于自身周期性的微孔洞结构而具备许多传统光纤无可比拟的奇异性质,因而在无截止的单模光纤、超连续光谱激光器、光频梳、光孤子传输、大功率飞秒脉冲传送等方面有着广阔的应用前景〜111.近年来,研究者通过向光子晶体光纤的孔洞中涂覆或灌注固体、气体、液体或液晶等功能性物质来实现对光的操控,并探索其在锁模激光器、表面等离激元、受激拉曼散射等诸多领域的应用112~151.随着石墨烯等二维材料的繁荣发展,将石墨烯引人光纤的微结构成为材料学、光子学等领域广泛关注的热点. 展开更多
关键词 光子晶体光纤 化学气相沉积 PCF 石墨烯 电光调制器件 光与物质相互作用
石英玻璃中羟基对其性能的影响 预览
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作者 符博 王慧 +2 位作者 贾亚男 王蕾 邵竹锋 《建筑玻璃与工业玻璃》 2019年第8期3-5,共3页
化学气相沉积合成石英玻璃中羟基主要以三种形式存在,即孤立羟基、相邻羟基和强氢键羟基。由于羟基存在结构形式不同,它对石英玻璃理化性能的影响作用也不同。本文主要概述了均化工艺对合成石英玻璃中羟基含量的影响,以及羟基存在结构... 化学气相沉积合成石英玻璃中羟基主要以三种形式存在,即孤立羟基、相邻羟基和强氢键羟基。由于羟基存在结构形式不同,它对石英玻璃理化性能的影响作用也不同。本文主要概述了均化工艺对合成石英玻璃中羟基含量的影响,以及羟基存在结构形式对石英玻璃物理化学性能、光学性能、激光损伤阈值等特性的影响。 展开更多
关键词 石英玻璃 化学气相沉积 物理化学性能 激光损伤阈值 均化工艺 羟基含量 光学性能 理化性能
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无氧铜表面钨涂层制备及结合性能研究
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作者 张丹华 秦思贵 刘国辉 《粉末冶金工业》 CAS 北大核心 2019年第2期21-23,共3页
采用化学气相沉积(CVD)工艺在无氧铜表面制备钨涂层,利用热等静压扩散连接工艺对铜钨复合界面进行热处理,得到铜钨复合材料。采用SEM、金相显微镜观察涂层及铜钨界面微观形貌,用胶粘和钎焊两种测试方法评价铜钨界面结合强度。结果表明,... 采用化学气相沉积(CVD)工艺在无氧铜表面制备钨涂层,利用热等静压扩散连接工艺对铜钨复合界面进行热处理,得到铜钨复合材料。采用SEM、金相显微镜观察涂层及铜钨界面微观形貌,用胶粘和钎焊两种测试方法评价铜钨界面结合强度。结果表明,钨涂层显微组织为柱状晶,涂层厚度及界面均匀;结合强度测试过程中涂层均未剥落或损伤,表明钨铜界面结合强度大于胶粘界面和钎焊界面的结合强度。 展开更多
关键词 化学气相沉积 钨涂层 热等静压 界面结合强度
汽车无损检测X射线源钼铼合金零件加工技术研究 预览
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作者 高东璇 刘占峰 +1 位作者 李艳丽 雷雄 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2019年第4期46-49,共4页
在汽车领域中X射线无损检测是应用比较广泛的技术,阴极固定件是X射线源的关键零件,材料为钼铼合金。针对目前阴极固定件加工质量低、成本高和效率低等特点,首先研究钼铼合金的材料性能,然后根据钼铼合金材料特点,提出了采用真空热处理... 在汽车领域中X射线无损检测是应用比较广泛的技术,阴极固定件是X射线源的关键零件,材料为钼铼合金。针对目前阴极固定件加工质量低、成本高和效率低等特点,首先研究钼铼合金的材料性能,然后根据钼铼合金材料特点,提出了采用真空热处理方法改善钼铼合金切削性能,并通过试验总结出了钼铼合金最佳真空热处理工艺参数。综合考虑加工经济性和加工质量,相比于硬质合金刀具、天然金刚石刀具和聚晶金刚石刀具等,金刚石厚膜刀具在加工钼铼合金方面具有明显优势,能够实现阴极固定件低成本精密加工。 展开更多
关键词 无损检测 钼铼合金 真空热处理 化学气相沉积
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Si/FeSix@C-CNTs负极的合成及其储锂电化学性能研究 预览
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作者 鲁豪祺 陈伟伦 +1 位作者 刘巧云 张五星 《材料科学》 2019年第5期495-503,共9页
硅具有理论比容量高,工作电压低和资源丰富等特点,被认为是最具潜力的下一代锂离子电池负极材料。但硅材料同时也存在着体积膨胀大(300%),颗粒易粉化和导电性差等缺点,进而导致硅负极的电化学稳定性和动力学性能难以满足实用要求。本文... 硅具有理论比容量高,工作电压低和资源丰富等特点,被认为是最具潜力的下一代锂离子电池负极材料。但硅材料同时也存在着体积膨胀大(300%),颗粒易粉化和导电性差等缺点,进而导致硅负极的电化学稳定性和动力学性能难以满足实用要求。本文以廉价的硅铁合金为原料,通过简单的机械球磨和化学气相沉积技术制备了硅碳复合材料Si/FeSix@C-CNTs (SFC-CNTs),其独特结构由Si、导电FeSix、无定型碳层、交联碳纳米管网络共同组成,在电化学过程中对硅负极的导电性、锂离子扩散和体积膨胀起到了协同作用。相较于硅铁合金,SFC-CNTs复合材料的性能显著提升,在0.4 A?g?1的电流密度下放电容量为1466 mAh?g?1,首次库伦效率为78.2%,经100次循环后的容量仍保持有768 mAh?g?1。 展开更多
关键词 锂离子电池 硅碳复合 碳纳米管 球磨法 化学气相沉积
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二维硼材料的理论和实验研究进展 预览
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作者 台国安 伍增辉 +4 位作者 胡廷松 王睿 侯闯 郝金钱 盛利航 《南京航空航天大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期7-15,共9页
硼与其近邻元素碳一样形成sp^2杂化,易形成复杂的多面体结构。硼烯是硼元素的二维同素异形体,研究者们对其结构和物化特性一直有着浓厚的研究兴趣。由于其制备技术难以突破,长期以来该领域的研究只停留在理论探索上。最近,在铜、银基底... 硼与其近邻元素碳一样形成sp^2杂化,易形成复杂的多面体结构。硼烯是硼元素的二维同素异形体,研究者们对其结构和物化特性一直有着浓厚的研究兴趣。由于其制备技术难以突破,长期以来该领域的研究只停留在理论探索上。最近,在铜、银基底上生长出了单层硼烯薄膜,并对其原子结构和光电特性进行了深入研究,这些实验研究为未来研制基于硼烯的高性能电子器件奠定了良好基础。本文首先介绍硼烯的理论研究进展,然后着重介绍二维硼实验制备及其光电性能表征等研究,并对当前国际上二维硼薄膜实验研究进展进行了总结和展望。 展开更多
关键词 二维材料 硼烯 化学气相沉积
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小尺寸金石墨纳米颗粒的合成与表征 预览
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作者 刘芳 张鲁凤 +1 位作者 董倩 陈卓 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2019年第6期651-656,共6页
在表面增强拉曼光谱(SERS)的研究领域中,基于局域表面等离子体共振效应的等离子体SERS基底的制备成为过去几十年的研究热点。然而,通常开发的等离子体金属基底具有较差的稳定性和重现性。对于SERS而言,石墨烯类材料具有拉曼化学增强效应... 在表面增强拉曼光谱(SERS)的研究领域中,基于局域表面等离子体共振效应的等离子体SERS基底的制备成为过去几十年的研究热点。然而,通常开发的等离子体金属基底具有较差的稳定性和重现性。对于SERS而言,石墨烯类材料具有拉曼化学增强效应,除此之外,还具有分子富集、强的稳定性与荧光猝灭能力等优点,因此基于石墨金属复合纳米材料的SERS基底受到了研究人员的重视。我们利用化学气相沉积(CVD)法制备了小尺寸的金石墨核壳纳米颗粒(Au@G),其粒径约为17 nm。我们通过在Au NP上包覆介孔二氧化硅来控制Au@G的尺寸,同时还研究了包覆二氧化硅过程中,正硅酸乙酯(TEOS)的浓度对于石墨壳层形成的影响。结果表明当TEOS在一定浓度范围内,其浓度的降低有利于得到石墨化程度高的Au@G。进一步利用Au@G对结晶紫分子进行拉曼检测,也表明了Au@G具有较好的拉曼增强效果。这种小尺寸的Au@G在分子检测与细胞成像分析领域中具有广泛的应用潜力。 展开更多
关键词 金石墨纳米颗粒 化学气相沉积 表面增强拉曼光谱 介孔二氧化硅 金纳米颗粒
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石墨烯在GaN表面的直接制备及其在GaN-LED中的应用研究 预览
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作者 樊星 郭伟玲 +4 位作者 熊访竹 董毅博 王乐 符亚菲 孙捷 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期3085-3089,共5页
石墨烯具有优良的光电特性,它能够替代传统的ITO材料用作GaN-LED的透明导电层。为了使上述应用实现工业化生产,利用热壁CVD研究了石墨烯在GaN表面直接生长的最佳条件,解释了直接生长的机理,直接生长的最佳条件为生长温度800℃,生长时间6... 石墨烯具有优良的光电特性,它能够替代传统的ITO材料用作GaN-LED的透明导电层。为了使上述应用实现工业化生产,利用热壁CVD研究了石墨烯在GaN表面直接生长的最佳条件,解释了直接生长的机理,直接生长的最佳条件为生长温度800℃,生长时间60 min,CH4和H2的分压比分别为1.59%和3.17%,该条件下得到具有明显2D峰的多层石墨烯。利用冷壁CVD研究了石墨烯在GaN表面的低温生长并制造了相应的GaN-LED,测试了其性能,结果表明生长温度高于700℃时器件的性能明显降低。该研究对实现石墨烯在LED中的工业化应用具有积极意义。 展开更多
关键词 石墨烯 化学气相沉积 直接生长 GaN-LED
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化学气相沉积法制备Co-Re涂层沉积设备设计与实验
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作者 敬瑀 龚伟 +1 位作者 朱黎明 王恩泽 《机械设计与研究》 CSCD 北大核心 2019年第3期195-198,共4页
设计了Co-Re化学气相沉积设备。该设备采用两个升华室,分别以Co(acac)2和Re2(CO)10为前驱体,通过运载气体H2输运至反应室,在速射武器身管钢基体上(0CrNi2MoVA型钢材)同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层。文章介绍了设备的... 设计了Co-Re化学气相沉积设备。该设备采用两个升华室,分别以Co(acac)2和Re2(CO)10为前驱体,通过运载气体H2输运至反应室,在速射武器身管钢基体上(0CrNi2MoVA型钢材)同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层。文章介绍了设备的原理和构成以及设备控制系统的设计方案,并着重介绍了利用道尔顿分压定律设计计算设备的升华室、反应室尺寸。经过初步的测试表明:该设备能够为Co-Re涂层的制备提供合适的温度与气压,并且结构简单、制造成本低,可用于Co-Re合金涂层的制备与研究。 展开更多
关键词 化学气相沉积 Co-Re合金涂层 道尔顿分压定律 设备设计
化学气相沉积制备多壁碳纳米管反应器内流场的数值模拟 预览
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作者 刘斌 《工业加热》 CAS 2019年第4期40-41,44,共3页
建立制备多壁碳纳米管CVD反应器的二维几何模型,将参与反应物的材料参数拟合为随温度变化的非线性多项式方程,采用计算流体力学软件对反应器内部的温度场及速度场进行模拟研究。研究结果表明:反应器内温度场及速度场分布并不均匀,在反... 建立制备多壁碳纳米管CVD反应器的二维几何模型,将参与反应物的材料参数拟合为随温度变化的非线性多项式方程,采用计算流体力学软件对反应器内部的温度场及速度场进行模拟研究。研究结果表明:反应器内温度场及速度场分布并不均匀,在反应器中部温度较为均匀温度基本维持在1 100 K左右,这样有助于多壁碳纳米管的合成,同时对于速度场的研究发现合理的控制气体进口速度有助于碳纳米管在均匀流场中稳定生长。 展开更多
关键词 化学气相沉积 多壁碳纳米管 流场 数值模拟
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