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原子层沉积二硫化钼的研究进展
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作者 黄亚洲 刘磊 《中国科学:材料科学(英文版)》 CSCD 2019年第7期913-924,共12页
作为一种特殊的化学气相沉积技术,原子层沉积在薄膜制造领域得到广泛的应用.得益于自限制化学反应,原子层沉积所制备的薄膜具有优异的均匀性且精确可控.基于原子层沉积技术,在复杂、大面积基底上制备的薄膜厚度可以控制在原子尺度精度(0... 作为一种特殊的化学气相沉积技术,原子层沉积在薄膜制造领域得到广泛的应用.得益于自限制化学反应,原子层沉积所制备的薄膜具有优异的均匀性且精确可控.基于原子层沉积技术,在复杂、大面积基底上制备的薄膜厚度可以控制在原子尺度精度(0.1 nm).因此,它已经被用来制备二维MoS2材料.本综述首先介绍了原子层沉积MoS2薄膜的相关研究进展,然后就前驱体、衬底、温度和退火等工艺参数对薄膜质量的影响进行了分析,最后对原子层沉积制备的MoS2在电化学催化领域的应用进行了评论.该综述不仅回顾了原子层沉积MoS2的研究进展,而且指出了尚存的挑战和突破的希望. 展开更多
关键词 原子层沉积 二硫化钼 化学气相沉积技术 薄膜厚度 MOS2 化学催化 化学反应 制造领域
Safe growth of graphene from non-flammable gas mixtures via chemical vapor deposition
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作者 Ying Feng Daniel J.Trainer +2 位作者 Hongshang Peng Ye Liu Ke Chen 《材料科学技术学报:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第3期285-290,共6页
化学蒸汽免职为 graphene 的生长作为最有希望的技术出现了。然而,这种技术的大多数报告使用易燃或爆炸的气体,它带安全担心和额外的费用管理风险因素。在这篇文章,我们证明连续单层 graphene 能用工业上安全的煤气的混合物在 Cu 陪... 化学蒸汽免职为 graphene 的生长作为最有希望的技术出现了。然而,这种技术的大多数报告使用易燃或爆炸的气体,它带安全担心和额外的费用管理风险因素。在这篇文章,我们证明连续单层 graphene 能用工业上安全的煤气的混合物在 Cu 陪衬上经由化学蒸汽免职技术被综合。重要因素包括氢流动和碳先锋的适当比率,压力,和生长时间被认为获得 graphene 电影。光大小和电的运输大小显示 graphene 电影与到另外的报告的可比较的质量。如此的连续大区域 graphene 能在不易燃、非爆炸的条件下面被综合,它为 graphene 的大量生产打开一个安全、节俭的方法。它为进半导体电子学的 graphene 的集成是从而有益的。 展开更多
关键词 化学气相沉积 气体混合物 安全隐患 生长时间 石墨 化学气相沉积技术 易燃易爆气体 可燃
牙轮钻头轴承浮动套涂覆陶瓷膜的性能
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作者 黄本生 龚成龙 +2 位作者 邓龙 陈松 肖晓华 《金属热处理》 CSCD 北大核心 2017年第10期132-138,共7页
分别以20Cr Ni Mo和20Ni4Mo钢为基体材料制成销、盘试件,利用CVD技术在销表面制备Ti C+Ti(C,N)+Ti N复合陶瓷膜和氧乙炔堆焊钴基焊丝。对比研究复合陶瓷膜销、真空淬火复合陶瓷膜销、堆焊钴基焊丝销在不同介质环境(泥浆、混合介质... 分别以20Cr Ni Mo和20Ni4Mo钢为基体材料制成销、盘试件,利用CVD技术在销表面制备Ti C+Ti(C,N)+Ti N复合陶瓷膜和氧乙炔堆焊钴基焊丝。对比研究复合陶瓷膜销、真空淬火复合陶瓷膜销、堆焊钴基焊丝销在不同介质环境(泥浆、混合介质)中不同载荷条件(静载、冲击载荷)下磨损前后的表面形貌及磨损量,同时测定销试件表面显微硬度;并分析淬火前后销试件表面复合陶瓷膜的膜厚、结合强度,最终分析出试件表面耐磨性。结果表明:在20Cr Ni Mo钢表面涂覆复合陶瓷膜(Ti C+Ti(C,N)+Ti N),无论是否进行真空淬火,用其制成的销试件硬度均较高,能有效降低粘着磨损。淬火复合陶瓷膜销与20Ni4Mo钢组成的摩擦副的抗磨损、抗冲击能力都较好。 展开更多
关键词 复合陶瓷膜 结合强度 耐磨性 硬度 化学气相沉积技术
Synthesis and characterization of Ce0.6Sr0.4Fe0.8Co0.2O3-δ perovskite material: Potential cathode material for low temperature SOFCs
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作者 Mlungisi N. Sithole Bernard Omondi Patrick G. Ndungu 《中国稀土学报:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第4期389-397,共9页
A sol-gel method and a modified chemical vapour deposition technique were used to produce nanostructured Ce_(0.6)Sr_(0.4)Fe_(0.8)Co_(0.2)O_(3–δ) materials at temperatures as low as 400 °C. Powders were characte... A sol-gel method and a modified chemical vapour deposition technique were used to produce nanostructured Ce_(0.6)Sr_(0.4)Fe_(0.8)Co_(0.2)O_(3–δ) materials at temperatures as low as 400 °C. Powders were characterized using Fourier transform infrared spectroscopy(FTIR), Raman spectroscopy, thermo gravimetric analysis, powder X-ray diffraction(XRD), scanning electron microscopy(SEM) with energy dispersive X-ray spectroscopy, high resolution transmission electron microscopy(HRTEM), and nitrogen sorption at 77 K. FTIR spectra showed that the sol-gel method resulted in residual carbon groups on the materials after calcination, while the Raman and XRD analysis confirmed that both synthesis methods resulted in cubic perovskite structure. However, the chemical vapour deposition(CVD) method resulted in materials with a smaller crystallite size when compared to those prepared via the sol-gel route. The overall morphology of the powders was irregularly shaped aggregated particles as observed by SEM and HRTEM. In addition, HRTEM analysis showed that the materials were highly crystalline. Textural analysis revealed the powders had some mesoporosity, and the surface areas were 76.69 and 65.90 m~2/g for materials synthesized using the CVD and sol-gel methods, respectively. The synthesized perovskite powders were used to fabricate button cells employing samarium doped ceria(SDC) as the electrolyte and NiO/SDC as the anode materials. As cathode materials, the maximum power density observed was 308.4 mW/cm~2 at 500 oC. 展开更多
关键词 低温固体氧化物燃料电池 钙钛矿结构 阴极材料 原料合成 傅里叶变换红外光谱 表征 化学气相沉积技术 溶胶-凝胶法
Structural characterization of Al0.55Ga0.45N epitaxial layer determined by high resolution x-ray diffraction and transmission electron microscopy
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作者 徐庆君 刘斌 +8 位作者 张士英 陶涛 谢自力 修向前 陈敦军 陈鹏 韩平 张荣 郑有炓 《中国物理B:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第4期468-471,共4页
AlN epilayer 的结构的特征被高分辨率 X 光衍射(HRXRD ) 和传播电子显微镜学(TEM ) 调查;epilayer 被金属用高温度的 AlN 夹层在陷阱 / 蓝宝石底层上种器官的化学蒸汽免职技术。马赛克特征包括倾斜,扭曲,异构的紧张,和关联长度被... AlN epilayer 的结构的特征被高分辨率 X 光衍射(HRXRD ) 和传播电子显微镜学(TEM ) 调查;epilayer 被金属用高温度的 AlN 夹层在陷阱 / 蓝宝石底层上种器官的化学蒸汽免职技术。马赛克特征包括倾斜,扭曲,异构的紧张,和关联长度被摇曲线以及相互的空间地图(RSM ) 的对称、不对称的 XRD 提取。根据 Williamson 大厅阴谋, AlGaN epilayer 的垂直连贯长度被计算,它与生气的节 TEM 测量的 AlGaN 层的厚度一致。而且,侧面的连贯长度也从 RSM 被决定。从 tilt 和扭曲推出结果,螺丝钉类型和边类型脱臼密度是 1.0 和 1.8,它同意从 TEM 观察的结果。 展开更多
关键词 高分辨X射线衍射 透射电子显微镜 外延层生长 结构表征 化学气相沉积技术 电子显微镜观察 ALGAN 测定
披上纳米外衣玄武岩也能导电 预览
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《新材料产业》 2017年第10期86-87,共2页
“点石成金”的故事,如今在中国科学院新疆理化技术研究所(以下简称“中科院新疆理化所”)的实验室里变成现实。该所研究人员以绝缘材料玄武岩纤维为基底,采用化学气相沉积技术,实现了不同碳纳米材料在玄武岩纤维表面的沉积和生长... “点石成金”的故事,如今在中国科学院新疆理化技术研究所(以下简称“中科院新疆理化所”)的实验室里变成现实。该所研究人员以绝缘材料玄武岩纤维为基底,采用化学气相沉积技术,实现了不同碳纳米材料在玄武岩纤维表面的沉积和生长,使其具备导体特性。 展开更多
关键词 玄武岩纤维 碳纳米材料 化学气相沉积技术 导电 外衣 中国科学院 绝缘材料 研究人员
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A Review:Structural Oxide Coatings by Laser Chemical Vapor Deposition
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作者 Takashi GOTO 《武汉理工大学学报:材料科学英文版》 SCIE EI CAS 2016年第1期1-5,共5页
稳定氧化钇的氧化锆和氧化铝电影被激光化学药品蒸汽免职每小时以几百测微计的免职率准备。而且,由激光化学药品蒸汽免职的结构的氧化物涂层被考察。激光能显著地在 CVD 加速化学反应和谷物生长,产出高免职率。这些电影包含大量 nanop... 稳定氧化钇的氧化锆和氧化铝电影被激光化学药品蒸汽免职每小时以几百测微计的免职率准备。而且,由激光化学药品蒸汽免职的结构的氧化物涂层被考察。激光能显著地在 CVD 加速化学反应和谷物生长,产出高免职率。这些电影包含大量 nanopores 充当热屏蔽并且作为为切工具的基于 Ni 的 superalloys 和 WC 公司的煤气的汽轮机片的涂层材料因此有希望。 展开更多
关键词 激光化学气相沉积 化学气相沉积技术 氧化钇稳定的氧化锆 化学气相沉积 氧化铝薄膜 综述 燃气涡轮叶片 硬质合金刀具
Rapid adsorption of toxic Pb(Ⅱ) ions from aqueous solution using multiwall carbon nanotubes synthesized by microwave chemical vapor deposition technique
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作者 Nabisab Mujawar Mubarak Jaya Narayan Sahu +1 位作者 Ezzat Chan Abdullah Natesan Subramanian Jayakumar 《环境科学学报:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第7期143-155,共13页
Multiwall carbon nanotubes(MWCNTs) were synthesized using a tubular microwave chemical vapor deposition technique, using acetylene and hydrogen as the precursor gases and ferrocene as catalyst. The novel MWCNT samples... Multiwall carbon nanotubes(MWCNTs) were synthesized using a tubular microwave chemical vapor deposition technique, using acetylene and hydrogen as the precursor gases and ferrocene as catalyst. The novel MWCNT samples were tested for their performance in terms of Pb(Ⅱ)binding. The synthesized MWCNT samples were characterized using Fourier Transform Infrared(FT-IR), Brunauer, Emmett and Teller(BET), Field Emission Scanning Electron Microscopy(FESEM) analysis, and the adsorption of Pb(Ⅱ) was studied as a function of p H,initial Pb(Ⅱ) concentration, MWCNT dosage, agitation speed, and adsorption time, and process parameters were optimized. The adsorption data followed both Freundlich and Langmuir isotherms. On the basis of the Langmuir model, Qmaxwas calculated to be 104.2 mg/g for the microwave-synthesized MWCNTs. In order to investigate the dynamic behavior of MWCNTs as an adsorbent, the kinetic data were modeled using pseudo first-order and pseudo second-order equations. Different thermodynamic parameters, viz., ΔH0, ΔS0and ΔG0were evaluated and it was found that the adsorption was feasible, spontaneous and endothermic in nature. The statistical analysis revealed that the optimum conditions for the highest removal(99.9%) of Pb(Ⅱ) are at p H 5, MWCNT dosage 0.1 g, agitation speed 160 r/min and time of 22.5 min with the initial concentration of 10 mg/L. Our results proved that microwave-synthesized MWCNTs can be used as an effective Pb(Ⅱ) adsorbent due to their high adsorption capacity as well as the short adsorption time needed to achieve equilibrium. 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 多壁碳纳米管 吸附时间 化学气相沉积技术 场发射扫描电子显微镜 水溶液 Pb(Ⅱ) 制备
Development of Electrospray Laser Chemical Vapour Deposition for Homogenous Alumina Coatings
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作者 Teiichi KIMURA 《武汉理工大学学报:材料科学英文版》 SCIE EI CAS 2016年第1期11-14,共4页
作为一个液体来源供应系统, Electrospray 被用于化学蒸汽免职(CVD ) 。在热 CVD,获得的电影的微观结构变化从对稠密粗糙因为减少的表面温度小粒在免职期间。用 electrospray 激光化学药品蒸汽免职方法,我们准备了同质的氧化铝涂层... 作为一个液体来源供应系统, Electrospray 被用于化学蒸汽免职(CVD ) 。在热 CVD,获得的电影的微观结构变化从对稠密粗糙因为减少的表面温度小粒在免职期间。用 electrospray 激光化学药品蒸汽免职方法,我们准备了同质的氧化铝涂层。我们发现那激光照耀在补偿表面温度减少是有效的,并且有稠密的圆柱的微观结构的 alpha 氧化铝涂层用 200 W Nd 以 200 m/h 的免职率被获得: 钇铝柘榴石激光照耀。 展开更多
关键词 化学气相沉积技术 氧化铝涂层 激光辐射 均匀 电喷雾 化学气相沉积 CVD法 表面温度
Fast and uniform growth of graphene glass using confined-flow chemical vapor deposition and its unique applications
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作者 Zhaolong Chen Baolu Guan +11 位作者 Xu-dong Chen Qing Zeng Li Lin Ruoyu Wang Manish Kr. Priydarshi Jingyu Sun Zhepeng Zhang Tongbo Wei Jinmin LI Yanfeng Zhang Yingying Zhang Zhongfan Liu 《纳米研究:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第10期3048-3055,共8页
常规玻璃上的高质量的 graphene 的快、一致的生长为 graphene 玻璃的实际应用程序是很重要的。我们此处为 graphene 玻璃的高效率的制造报导一条范围流动化学药品蒸汽免职(CVD ) 途径。我们的途径的特色是 2-4 m 的制造在玻璃底层上面... 常规玻璃上的高质量的 graphene 的快、一致的生长为 graphene 玻璃的实际应用程序是很重要的。我们此处为 graphene 玻璃的高效率的制造报导一条范围流动化学药品蒸汽免职(CVD ) 途径。我们的途径的特色是 2-4 m 的制造在玻璃底层上面的宽差距,与很多的跌倒块;这差距被发现显著地增加在对方之间并且与玻璃表面的碳先锋和反应碎片的碰撞概率。作为结果, graphene 玻璃的生长率显著地增加了,和在象与那些相比的生长质量和在常规煤气的流动 CVD 技术的一致性的改进。这些高质量的 graphene 眼镜与以前报导的那些相比以许多更高的 defogging 速度和更高的稳定性展出了优秀 defogging 表演。graphene 蓝宝石玻璃被发现是为种制服和极端光滑的铝氮化物的理想的底层没有缓冲区层的乏味的免职前的薄电影。介绍范围流动 CVD 途径为 graphene 玻璃的大量生产提供一条简单、便宜的线路,它被相信支持各种各样的 graphene 眼镜的实际应用。 展开更多
关键词 化学气相沉积 玻璃基板 均匀生长 气体流动 石墨 应用 化学气相沉积技术 生长质量
Epitaxial Growth of Multi-structure SnO2 by Chemical Vapor Deposition 被引量:1
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作者 Dong-Ning He Peter Hodgson Wei-Min Gao 《金属学报:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第7期946-950,共5页
nanowire 和听二氧化物的络腮胡子 heterostructures 被化学蒸汽免职技术制作。听氧化物的各种各样的结构能被在种地点控制金层的厚度和来源蒸汽的部分压力获得,这被表明。12.5 和 25 ? nm 厚度分别地通过 vaporliquidsolid 机制为 nan... nanowire 和听二氧化物的络腮胡子 heterostructures 被化学蒸汽免职技术制作。听氧化物的各种各样的结构能被在种地点控制金层的厚度和来源蒸汽的部分压力获得,这被表明。12.5 和 25 ? nm 厚度分别地通过 vaporliquidsolid 机制为 nanowires 和 heterostructure 的取向附生的生长更好。有核心壳结构的听二氧化物络腮胡子被 vaporsolid 机制制作。同时,听二氧化物生长上的各种各样的因素的影响也被讨论。 展开更多
关键词 化学气相沉积 异质外延生长 多结构 SNO2 制备 化学气相沉积技术 氧化锡 异质结构
Influence of substrate bias voltage on the microstructure of nc-SiO_x:H film
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作者 李慧敏 于威 +5 位作者 徐艳梅 季云 蒋昭毅 王新占 李晓苇 傅广生 《中国物理B:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第2期453-458,共6页
Amorphous silicon oxide containing nanocrystalline silicon grain(nc-SiO_x:H) films are prepared by a plasmaenhanced chemical vapor deposition technique at different negative substrate bias voltages.The influence of th... Amorphous silicon oxide containing nanocrystalline silicon grain(nc-SiO_x:H) films are prepared by a plasmaenhanced chemical vapor deposition technique at different negative substrate bias voltages.The influence of the bias voltage applied to the substrate on the microstructure is investigated.The analysis of x-ray diffraction spectra evidences the in situ growth of nanocrystalline Si.The grain size can be well controlled by varying the substrate bias voltage,and the largest size is obtained at 60 V.Fourier transform infrared spectra studies on the microstructure evolutions of the nc-SiO_x:H films suggest that the absorption peak intensities,which are related to the defect densities,can be well controlled.It can be attributed to the fact that the negative bias voltage provides a useful way to change the energies of the particles in the deposition process,which can provide sufficient driving force for the diffusion and movement for the species on the growing surface and effectively passivate the dangling bonds.Also the larger grain size and lower band gap,which will result in better photosensitivity,can also be obtained with a moderate substrate bias voltage of 60 V. 展开更多
关键词 微观结构演变 偏置电压 衬底 薄膜 化学气相沉积技术 SIOX 非晶氧化硅 X射线衍射
Fabrication and Characterization of Fe-Doped In2O3 Dilute Magnetic Semiconducting Nanowires
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作者 张军然 吴振尧 +7 位作者 刘玉杰 吕占朋 钮伟 王学锋 杜军 刘文卿 张荣 徐永兵 《中国物理快报:英文版》 SCIE CAS CSCD 2015年第3期133-136,共4页
关键词 半导体纳米线 铁掺杂 氧化铟 Fe 制造 化学气相沉积技术 X射线光电子能谱 表征
Metamorphic growth of 1.55 μm InGaAs/InGaAsP multiple quantum wells laser structures on GaAs substrates
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作者 李小波 黄永清 +7 位作者 王俊 段晓峰 张瑞康 李业弘 刘正 王琦 张霞 任晓敏 《中国光学快报:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第3期32-36,共5页
We fabricate a Ga As-based In Ga As/In Ga As P multiple quantum wells(MQWs) laser at 1.55 μm. Using two-step growth method and thermal cyclic annealing, a thin low-temperature In P layer and a thick In P buffer layer... We fabricate a Ga As-based In Ga As/In Ga As P multiple quantum wells(MQWs) laser at 1.55 μm. Using two-step growth method and thermal cyclic annealing, a thin low-temperature In P layer and a thick In P buffer layer are grown on Ga As substrates by low-pressure metal organic chemical vapor deposition technology. Then, highquality MQWs laser structures are grown on the In P buffer layer. Under quasi-continuous wave(QCW) condition, a threshold current of 476 m A and slope efficiency of 0.15 m W/m A are achieved for a broad area device with 50 μm wide strip and 500 μm long cavity at room-temperature. The peak wavelength of emission spectrum is1549.5 nm at 700 m A. The device is operating for more than 2000 h at room-temperature and 600 mA. 展开更多
关键词 INGAASP GAAS衬底 激光器结构 多量子阱 生长法 化学气相沉积技术 变质 量子阱结构
Fabrication of low threshold current monolithic DFB laser with an MMI combiner
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作者 赵建宜 陈鑫 +2 位作者 周宁 黄晓东 刘文 《中国光学快报:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第11期99-102,共4页
We fabricate low threshold current monolithic distributed feedback(DFB) laser with a multi-mode interface(MMI) combiner using butt-joint metal-organic chemical vapor deposition technology with different waveguide stru... We fabricate low threshold current monolithic distributed feedback(DFB) laser with a multi-mode interface(MMI) combiner using butt-joint metal-organic chemical vapor deposition technology with different waveguide structures. Multi-layer mask self-aligned photolithography technology is used to form different waveguides in active and passive regions, respectively. The result shows that the laser threshold current is lower than 10 m A, with 50 d B side-mode suppression ratio. 展开更多
关键词 DFB激光器 低阈值电流 MMI 制造 单片 化学气相沉积技术 波导结构 金属有机物
Hydrogen Adsorption Study upon Ni/AI203 Nano-composite Synthesized by MOCVD Technique 预览
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作者 Hameed Ullah Michael Veith 《化学物理学报》 SCIE CAS CSCD 2013年第5期580-584,I0004共6页
关键词 纳米复合材料 MOCVD 氢吸附 技术合成 化学气相沉积技术 Al2O3 SSP 有机金属
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Carbon nanotubes for supercapacitors: Consideration of cost and chemical vapor deposition techniques 预览
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作者 Chao Zheng Weizhong Qian Chaojie Cui Guanghui Xu Mengqiang Zhao Guili Tian Fei Wei 《天然气化学杂志:英文版》 EI CAS CSCD 2012年第3期 233-240,共8页
在这个话题,我们首先作为电极用碳 nanotubes (CNT ) 讨论了 supercapacitors 的要求和表演,包括特定的表面区域,纯净和费用。然后,我们由化学蒸汽免职方法在相对大的规模考察了单个围的 CNT (SWNT ) 的准备技术。它甲烷和另外的碳... 在这个话题,我们首先作为电极用碳 nanotubes (CNT ) 讨论了 supercapacitors 的要求和表演,包括特定的表面区域,纯净和费用。然后,我们由化学蒸汽免职方法在相对大的规模考察了单个围的 CNT (SWNT ) 的准备技术。它甲烷和另外的碳来源,反应堆类型和过程控制策略的分解上的催化作用被讨论。特殊焦点被专注于怎么增加 SWNT 的收益,选择,和纯净并且怎么禁止杂质,包括的非结晶的碳, multiwalled CNT 和碳的形成包含了金属粒子,自从这些杂质严重在 supercapacitors 影响了 SWNT 的表演。想要它对它的产品花费了的进一步的减少并且为在 supercapacitors 的商业使用有用。 展开更多
关键词 单壁碳纳米管 超级电容器 化学气相沉积技术 产品成本 化学气相沉积 多壁碳纳米管 SWNTS 比表面积
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Synthesis of Boron-doped Diamond/Porous Ti Composite Materials -- Effect of Carbon Concentration
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作者 Ming Ma Ming Chang Xiaowei Li 《武汉理工大学学报:材料科学英文版》 SCIE EI CAS 2012年第2期 328-332,共5页
高度做硼的钻石电影被热细丝化学药品蒸汽免职技术在多孔的钛底层上扔。在多孔的钛底层上种的高度做硼的钻石电影的形态学变化被调查,并且成核密度和钻石生长上的碳集中的效果也被学习。表面形态学的连续变化和钻石电影的结构被扫描电... 高度做硼的钻石电影被热细丝化学药品蒸汽免职技术在多孔的钛底层上扔。在多孔的钛底层上种的高度做硼的钻石电影的形态学变化被调查,并且成核密度和钻石生长上的碳集中的效果也被学习。表面形态学的连续变化和钻石电影的结构被扫描电子显微镜学描绘。钻石电影和夹层的结构被 X 光检查衍射分析。做硼的钻石电影的质量被可见拉曼光谱学证实。试验性的结果表明做硼的钻石电影的表面形态学和质量由于碳集中的变化是各种各样的。有增加的碳集中的中间的层减少的厚度。 展开更多
关键词 掺硼金刚石 碳浓度 多孔钛 复合材料 化学气相沉积技术 金刚石薄膜 扫描电子显微镜 X射线衍射分析
Room-temperature direct-bandgap photoluminescence from strain-compensated Ge/SiGe multiple quantum wells on silicon
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作者 胡炜玄 成步文 +4 位作者 薛春来 张广泽 苏少坚 左玉华 王启明 《中国物理:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第1期 493-498,共6页
Strain-compensated Ge/Si0.15Ge0.85 multiple quantum wells were grown on an Si0.1Ge0.9 virtual substrate using ultrahigh vacuum chemical vapor deposition technology on an n +-Si(001) substrate.Photoluminescence measu... Strain-compensated Ge/Si0.15Ge0.85 multiple quantum wells were grown on an Si0.1Ge0.9 virtual substrate using ultrahigh vacuum chemical vapor deposition technology on an n +-Si(001) substrate.Photoluminescence measurements were performed at room temperature,and the quantum confinement effect of the direct-bandgap transitions of a Ge quantum well was observed,which is in good agreement with the calculated results.The luminescence mechanism was discussed by recombination rate analysis and the temperature dependence of the luminescence spectrum. 展开更多
关键词 室温光致发光 应变补偿 直接带隙 多重量子井 化学气相沉积技术 硅片 硅(001) 量子限制效应
Structural and band tail state photoluminescence properties of amorphous SiC films with different amounts of carbon
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作者 傅广生 王新占 +3 位作者 路万兵 戴万雷 李兴阔 于威 《中国物理B:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第10期472-477,共6页
Amorphous silicon carbide films are deposited by the plasma enhanced chemical vapour deposition technique,and optical emissions from the near-infrared to the visible are obtained.The optical band gap of the films incr... Amorphous silicon carbide films are deposited by the plasma enhanced chemical vapour deposition technique,and optical emissions from the near-infrared to the visible are obtained.The optical band gap of the films increases from 1.91 eV to 2.92 eV by increasing the carbon content,and the photoluminescence(PL) peak shifts from 1.51 eV to 2.16 eV.The band tail state PL mechanism is confirmed by analysing the optical band gap,PL intensity,the Stocks shift of the PL,and the Urbach energy of the film.The PL decay times of the samples are in the nanosecond scale,and the dependence of the PL lifetime on the emission energy also supports that the optical emission is related to the radiative recombination in the band tail state. 展开更多
关键词 光致发光特性 SIC薄膜 带尾 非晶 化学气相沉积技术 碳量 结构 等离子体增强
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