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基于电荷驱动的多通道压电变形镜电源设计 预览
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作者 喻奇志 彭泰然 +1 位作者 李文来 马剑强 《压电与声光》 CAS 北大核心 2019年第2期217-220,共4页
压电变形镜具有频率响应高,变形量大,稳定性好等优点,已广泛应用于自适应光学领域,但因在电压驱动方式下压电材料迟滞特性较大,使压电变形镜的精确控制难。为降低压电变形镜的迟滞影响,设计了一种基于电荷驱动的多通道压电变形镜驱动电... 压电变形镜具有频率响应高,变形量大,稳定性好等优点,已广泛应用于自适应光学领域,但因在电压驱动方式下压电材料迟滞特性较大,使压电变形镜的精确控制难。为降低压电变形镜的迟滞影响,设计了一种基于电荷驱动的多通道压电变形镜驱动电源,介绍了驱动电源的构成及原理,并搭建了一套基于夏克哈特曼波前传感器的自适应光学测试平台来验证驱动电源的性能。实验结果表明,该驱动电源可有效降低压电变形镜的迟滞效应,整体迟滞约1%,镜面变形的分辨率均方根误差(RMS)值约1.1nm,能够满足在自适应光学领域对多通道压电变形镜精确控制的要求。 展开更多
关键词 压电变形 迟滞 电荷 驱动电源 自适应光学
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200单元硅基单压电变形镜的设计与测试 预览 被引量:6
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作者 马剑强 刘莹 +2 位作者 陈俊杰 李保庆 褚家如 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期2047-2053,共7页
针对天文望远镜对变形镜的需求,设计了200单元级硅基单压电变形镜并对其进行了性能测试.首先,通过有限元方法对单压电变形镜进行结构建模,分析比较了电极排列形式和边界支撑方式对变形镜性能的影响.然后,制备了3款200单元变形镜样机(... 针对天文望远镜对变形镜的需求,设计了200单元级硅基单压电变形镜并对其进行了性能测试.首先,通过有限元方法对单压电变形镜进行结构建模,分析比较了电极排列形式和边界支撑方式对变形镜性能的影响.然后,制备了3款200单元变形镜样机(环形简支,环形固支,六边形简支).最后,利用干涉仪测量了变形镜的影响函数,并通过激光多普勒测振仪测量其频响特性.仿真与实验结果表明:致动器在50 V电压下变形量可达1μm,固支条件下谐振频率在1 kHz左右,对前100项Zernike像差具有良好的校正能力.该变形镜在低成本天文自适应光学系统中具有应用潜力. 展开更多
关键词 压电变形 硅基变形 自适应光学 天文望远
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模拟退火-爬山混合算法用于无波前传感器快速像差校正 预览 被引量:8
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作者 刘莹 马剑强 +2 位作者 何挺 李保庆 褚家如 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期 213-219,共7页
为了校正激光光束波前像差,建立了一种基于压电微变形镜的自适应光学系统。提出了用模拟退火-爬山混合算法来控制系统中37单元单压电片变形镜,补偿激光光束波前像差,实现对光斑的快速校正。提出的混合算法先使用模拟退火算法为爬山法提... 为了校正激光光束波前像差,建立了一种基于压电微变形镜的自适应光学系统。提出了用模拟退火-爬山混合算法来控制系统中37单元单压电片变形镜,补偿激光光束波前像差,实现对光斑的快速校正。提出的混合算法先使用模拟退火算法为爬山法提供一个较好的校正起点,再用爬山法对像差进行精确校正,仅需要少量的模拟退火迭代过程即可提供一个好的校正起点。由于精确校正阶段的爬山法速度快,因此获得相同校正效果需要的迭代次数比普通模拟退火算法减少了50%以上;同时由于爬山法校正起点较好,大大降低了进入局部最优值的可能。最后,实验验证了模拟退火-爬山法对激光光束波前具有更佳的校正效率。 展开更多
关键词 自适应光学 模拟退火-爬山混合算法 压电变形 波前像差 波前校正
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压电微变形镜多路复用驱动技术的研究 预览 被引量:2
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作者 马剑强 许晓慧 +2 位作者 李保庆 张晋弘 褚家如 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第2期 321-324,共4页
从电路模型上分析多路复用技术在压电微变形镜控制中的驱动特性,设计了基于双MOSFET开关的驱动电路,并对致动器的电压保持能力和抗干扰能力做了测试。实验和分析表明,一个高压运放驱动25个压电陶瓷(PZT)致动器时,工作频率可达400H... 从电路模型上分析多路复用技术在压电微变形镜控制中的驱动特性,设计了基于双MOSFET开关的驱动电路,并对致动器的电压保持能力和抗干扰能力做了测试。实验和分析表明,一个高压运放驱动25个压电陶瓷(PZT)致动器时,工作频率可达400Hz,致动器的变形控制精度在2%左右。与传统控制方法相比,该方法具有低功耗、低成本的优点,适用于自适应光学系统中多通道压电微变形镜的控制。 展开更多
关键词 自适应光学 压电变形 多路复用技术
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具有迟滞补偿的单压电变形镜的闭环校正性能
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作者 杨宗峰 李文来 +2 位作者 彭泰然 崔玉国 马剑强 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期276-282,共7页
对具有迟滞补偿的单压电变形镜的闭环校正性能进行了研究。提出了基于Prandtl-Ishlinskii(PI)迟滞模型的变形镜闭环控制算法,搭建了基于哈特曼波前传感器的自适应光学测试平台,分别进行了静态像差和动态像差的闭环校正实验。实验结果表... 对具有迟滞补偿的单压电变形镜的闭环校正性能进行了研究。提出了基于Prandtl-Ishlinskii(PI)迟滞模型的变形镜闭环控制算法,搭建了基于哈特曼波前传感器的自适应光学测试平台,分别进行了静态像差和动态像差的闭环校正实验。实验结果表明:在静态像差的闭环校正中,迟滞消除算法比未消除算法具有更快的校正速度;对于波前像差均方根的平均值为168nm的动态像差,校正后的残差从消除前的33nm降低到校正后的25nm,证明了所提算法可有效应用于压电变形镜自适应光学系统。 展开更多
关键词 自适应光学 迟滞非线性 Prandtl-Ishlinskii(PI)迟滞模型 压电变形 闭环校正
基于单压电变形镜的可控环形焦斑整形 预览 被引量:1
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作者 马剑强 李艳 +1 位作者 喻奇志 杨宗峰 《光学精密工程》 CSCD 北大核心 2018年第6期1322-1329,共8页
为了实现可控环形焦斑的整形,提出了一套基于单压电变形镜的整形方法。首先结合波前衍射理论和随机并行梯度下降算法模拟迭代出环形焦斑整形所需的调制相位,进而利用波前传感器探测光束的波前信息,控制变形镜重构目标光斑对应的调制... 为了实现可控环形焦斑的整形,提出了一套基于单压电变形镜的整形方法。首先结合波前衍射理论和随机并行梯度下降算法模拟迭代出环形焦斑整形所需的调制相位,进而利用波前传感器探测光束的波前信息,控制变形镜重构目标光斑对应的调制相位,实现聚焦光斑的整形。搭建了一套基于62单元单压电变形镜的光斑整形实验平台,采用焦平面上的CCD记录远场聚焦光斑。实验结果表明,该方法实现了对不同直径(0.32,0.4,0.6 mm)和宽度(0.05,0.08,0.1 mm)环形焦斑的整形,可有效应用于激光束整形。 展开更多
关键词 自适应光学 光束整形 压电变形 泽尼克多项式 随机并行梯度下降算法
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基于泽尼克多项式的单压电变形镜PID控制 预览
7
作者 章家连 李艳 +2 位作者 彭泰然 李文来 马剑强 《宁波大学学报:理工版》 CAS 2018年第6期55-59,共5页
为了提高变形镜的控制精度及简化控制,提出采用基于泽尼克(Zernike)多项式的PID控制算法,实现对单压电变形镜的闭环反馈控制.首先,建立基于Zernike多项式的PID闭环控制模型.其次,搭建基于哈特曼波前传感器的自适应光学测试平台,使用6... 为了提高变形镜的控制精度及简化控制,提出采用基于泽尼克(Zernike)多项式的PID控制算法,实现对单压电变形镜的闭环反馈控制.首先,建立基于Zernike多项式的PID闭环控制模型.其次,搭建基于哈特曼波前传感器的自适应光学测试平台,使用62单元单压电变形镜进行闭环控制实验.最后,通过相位片模拟扰动像差,并对扰动像差进行实时PID闭环校正.实验结果表明:在相位片旋转速度和外界扰动像差相同的条件下,采用基于Zernike多项式的PID控制算法对波前像差进行校正,比采用直接反馈方法校正精度提高了50%左右.证明采用基于Zernike多项式的PID控制算法能提高单压电变形镜动态像差的校正精度以及简化控制系统. 展开更多
关键词 自适应光学 压电变形 PID控制 ZERNIKE多项式 波前校正
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基于PI迟滞模型的单压电变形镜开环控制 预览 被引量:10
8
作者 田雷 陈俊杰 +1 位作者 崔玉国 马剑强 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期136-142,共7页
压电非线性迟滞导致压电变形镜的开环控制精度及闭环工作带宽降低,限制了其在自适应光学系统中的应用。为克服迟滞影响,提出采用PI迟滞模型描述单压电变形镜的迟滞非线性特性,实现单压电变形镜的高精度开环控制。首先建立PI迟滞数学模型... 压电非线性迟滞导致压电变形镜的开环控制精度及闭环工作带宽降低,限制了其在自适应光学系统中的应用。为克服迟滞影响,提出采用PI迟滞模型描述单压电变形镜的迟滞非线性特性,实现单压电变形镜的高精度开环控制。首先建立PI迟滞数学模型,利用最小二乘法辨识PI迟滞模型的权值,计算出PI逆模型的权值和阈值,从而获得消除迟滞后的变形镜控制电压;接着搭建了基于哈特曼波前传感器的自适应光学测试平台,采用单压电变形镜的环形致动器进行离焦面形的开环控制实验。实验结果表明,经过迟滞消除后变形镜的电压-变形迟滞由9.3%降低到1.2%,离焦面形的开环重构精度提高70%以上,证明该迟滞模型可有效应用于单压电变形镜的开环控制。 展开更多
关键词 压电变形 PI迟滞模型 开环控制 波前校正 离焦像差
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带边缘驱动的214单元单压电变形镜仿真与实验 预览 被引量:3
9
作者 陈凯 陈俊杰 +2 位作者 毛宇昕 马剑强 褚家如 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期44-49,共6页
为了提高用于天文自适应光学系统的单压电变形镜的校正能力,提出了一种直径为75 mm且包含214个单元的带边缘驱动的单压电变形镜,单压电变形镜的边缘由数个压电堆栈执行器支撑.首先,通过有限元方法对变形镜进行仿真建模,分析比较三点、... 为了提高用于天文自适应光学系统的单压电变形镜的校正能力,提出了一种直径为75 mm且包含214个单元的带边缘驱动的单压电变形镜,单压电变形镜的边缘由数个压电堆栈执行器支撑.首先,通过有限元方法对变形镜进行仿真建模,分析比较三点、六点能动支撑对变形镜性能的影响.之后制备了三点、六点边缘驱动的变形镜样机.最后,利用波前传感器测试了边缘执行器对低阶像差的校正能力.实验结果表明:在0~100 V电压下,三点能动支撑与六点能动支撑变形镜均可重构大于12μm的倾斜像差,对应的归一化残余误差小于0.06,六点致动对像散和三叶草像差也具有较好的校正能力,证明边缘执行器可提高单压电变形镜的校正能力. 展开更多
关键词 自适应光学 压电变形 像差校正 压电堆栈执行器 波前探测
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腔内双压电变形镜光强分布优化 预览 被引量:5
10
作者 董理治 雷翔 +3 位作者 刘文劲 杨平 晏虎 许冰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1691-1694,共4页
报道了把20单元双压电变形镜作为闪光氪灯泵浦的Nd:YAG激光器的腔镜,优化激光器输出光束远场强度分布的实验结果。变形镜由随机并行梯度下降算法控制,以相机采集到的激光束远场环围能量作为算法的评价指标,控制双压电变形镜的面形向远... 报道了把20单元双压电变形镜作为闪光氪灯泵浦的Nd:YAG激光器的腔镜,优化激光器输出光束远场强度分布的实验结果。变形镜由随机并行梯度下降算法控制,以相机采集到的激光束远场环围能量作为算法的评价指标,控制双压电变形镜的面形向远场能量分布更加集中的方向变化。结果表明:系统在20s内将远场光斑中的多个亮斑校正为单个亮斑,峰值光强与优化前相比提高了5倍;在腔镜倾斜较大时,实验系统将激光器的输出功率由0.006~0.051W提升至0.330W,验证了实验系统的有效性。 展开更多
关键词 压电变形 固体激光器 自适应光学 随机并行梯度下降算法
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方口径压电薄膜变形镜夹持应力控制研究 被引量:3
11
作者 王德恩 代万俊 +2 位作者 张军伟 胡东霞 李小群 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2012年第1期 124-128,共5页
基于有限元方法,以三点夹持为例,对压电薄膜变形镜(PFDM)的工作特性进行了仿真分析,发现变形镜与镜框之间因夹持带来的接触应力会导致镜面变形与电压之间呈现非线性变化。针对这一问题,提出了两种改进方式,仿真结果表明,两种改... 基于有限元方法,以三点夹持为例,对压电薄膜变形镜(PFDM)的工作特性进行了仿真分析,发现变形镜与镜框之间因夹持带来的接触应力会导致镜面变形与电压之间呈现非线性变化。针对这一问题,提出了两种改进方式,仿真结果表明,两种改进方式均能够有效改善变形镜的非线性响应问题。 展开更多
关键词 自适应光学 压电薄膜变形 夹持方式 有限元方法
压电薄膜变形镜响应函数计算及参数优化 预览
12
作者 王德恩 胡东霞 +4 位作者 代万俊 赵军普 袁强 景峰 李小群 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期 1255-1258,共4页
针对方口径压电薄膜变形镜,采用傅里叶级数法推导了其机电行为的数学解析式。并利用该表达式对该类变形镜的交联值、使用口径等性能指标进行了研究。结果表明:交联值随电极尺寸呈线性变化关系,在可用范围内保持在0.6以上,压电薄膜变形... 针对方口径压电薄膜变形镜,采用傅里叶级数法推导了其机电行为的数学解析式。并利用该表达式对该类变形镜的交联值、使用口径等性能指标进行了研究。结果表明:交联值随电极尺寸呈线性变化关系,在可用范围内保持在0.6以上,压电薄膜变形镜大的交联值保证了其对低阶像差强的校正能力;变形镜的校正能力与通光口径密切相关,其最佳使用口径比约为0.8。 展开更多
关键词 自适应光学 压电薄膜变形 响应函数 交联值 使用口径
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惯性约束聚变驱动装置中焦斑整形的自适应光学方法 被引量:5
13
作者 王德恩 胡东霞 +4 位作者 代万俊 李平 赵军普 景峰 李小群 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期209-214,共6页
针对惯性约束聚变(ICF)驱动装置,提出一种新的焦斑整形方法:基于衍射叠加原理,采用自适应光学(AO)技术调整近场相位来实现对远场焦斑形态的控制。以一种新型的变形镜模型——压电薄膜变形镜(PFDM)为例,对AO技术用于焦斑整形的可... 针对惯性约束聚变(ICF)驱动装置,提出一种新的焦斑整形方法:基于衍射叠加原理,采用自适应光学(AO)技术调整近场相位来实现对远场焦斑形态的控制。以一种新型的变形镜模型——压电薄膜变形镜(PFDM)为例,对AO技术用于焦斑整形的可行性进行了模拟研究。结果表明,在制作工艺允许的范围内,当变形镜的空间分辨率达到一定程度时,便可利用AO技术实现良好的焦斑整形效果,而且能够保证焦斑较好的均匀性。进一步研究结果表明,该方法对波前畸变的容忍度要优于传统方法。 展开更多
关键词 激光器 自适应光学 焦斑整形 压电薄膜变形 动态连续相位板
正电压边缘驱动的双压电片变形镜研制 预览
14
作者 彭泰然 李文来 +2 位作者 娄军强 崔玉国 马剑强 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期164-171,共8页
为提高变形镜的热稳定性,提出一种用正电压边缘驱动的双压电片变形镜,通过环形电极产生整体离焦偏置,分立电极校正波前像差,只用正向电压即可实现镜面双向变形,且此变形镜结构对称受热应力影响小.制备变形镜样机并进行测试,测试结果表明... 为提高变形镜的热稳定性,提出一种用正电压边缘驱动的双压电片变形镜,通过环形电极产生整体离焦偏置,分立电极校正波前像差,只用正向电压即可实现镜面双向变形,且此变形镜结构对称受热应力影响小.制备变形镜样机并进行测试,测试结果表明:初始镜面展平后残余误差小于λ/30(λ=1064nm);精确重构了典型低阶Zernike多项式像差,像散、离焦、三叶草和彗差像差的重构幅值分别达到11.1μm、9.7μm、5.7μm和4.2μm,归一化残余误差分别为1.0%、1.0%、3.3%、6.0%;此外,实验生成了新型无衍射艾里光束,并显示出优异的重构性能. 展开更多
关键词 自适应光学 压电变形 正电压 变形 艾里光束
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双压电片变形镜的人眼像差拟合能力分析 预览
15
作者 王媛媛 何益 +5 位作者 魏凌 李凌霄 杨金生 李喜琪 周虹 张雨东 《光电工程》 CSCD 北大核心 2018年第12期19-24,共6页
针对三种不同空间分辨率的双压电片变形镜(Bimorph DM),采用仿真实验分析其对3-35项Zernike静态像差和实际人眼(包括疾病人眼)像差的拟合能力.实验表明,Bimorph变形镜特别适用于校正低阶像差,拟合误差小于0.15,随着空间分辨率的增加... 针对三种不同空间分辨率的双压电片变形镜(Bimorph DM),采用仿真实验分析其对3-35项Zernike静态像差和实际人眼(包括疾病人眼)像差的拟合能力.实验表明,Bimorph变形镜特别适用于校正低阶像差,拟合误差小于0.15,随着空间分辨率的增加,Bimorph变形镜对Zernike像差和人眼像差的拟合能力总体表现为增强的趋势,其中,35单元的Bimorph变形镜的像差拟合能力最优,对前20项Zernike像差的拟合误差稍优于传统分立式压电变形镜.通过对Bimorph变形镜像差拟合能力的实验分析,为人眼视网膜高分辨率系统的Bimorph变形镜选型提供了分析方法,也为进一步提升Bimorph变形镜的像差校正能力奠定了研究基础。 展开更多
关键词 自适应光学 压电变形 Zernike像差 像差拟合 视网膜成像
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37单元双压电片变形镜像差校正能力实验研究
16
作者 刘文劲 董理治 +3 位作者 雷翔 晏虎 杨平 许冰 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第F06期11-15,共5页
像差校正能力是衡量变形镜性能的重要指标,对自适应光学系统波前校正器件的选择有重要的参考价值。结合虚拟像差与直接斜率法控制技术,对最大通光孔径为45mm的37单元双压电片变形镜的像差校正能力进行了实验研究,并分析了通光孔径与... 像差校正能力是衡量变形镜性能的重要指标,对自适应光学系统波前校正器件的选择有重要的参考价值。结合虚拟像差与直接斜率法控制技术,对最大通光孔径为45mm的37单元双压电片变形镜的像差校正能力进行了实验研究,并分析了通光孔径与光束入射角度对变形镜像差校正能力的影响。研究结果表明,实验所用双压电片变形镜在通光孔径为28mm时能够取得最好的像差校正效果,随着光束入射角度增加,变形镜对像差的校正精度逐渐下降。 展开更多
关键词 自适应光学 压电变形 像差校正能力 通光孔径 光束入射角度
双压电片变形镜像差校正能力 预览 被引量:2
17
作者 刘文劲 宁禹 +4 位作者 董理治 晏虎 雷翔 杨平 许冰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1611-1614,共4页
利用实测影响函数,通过数值仿真分析了有效孔径、光束入射角度对于20单元双压电片变形镜像差校正能力的影响。仿真结果表明:有效孔径为16mm时,变形镜对于各阶像差的校正能力较好;而随着光束入射到变形镜角度的增大,变形镜对于像差的校... 利用实测影响函数,通过数值仿真分析了有效孔径、光束入射角度对于20单元双压电片变形镜像差校正能力的影响。仿真结果表明:有效孔径为16mm时,变形镜对于各阶像差的校正能力较好;而随着光束入射到变形镜角度的增大,变形镜对于像差的校正精度与校正幅度都会出现下降,但是如果能够将入射角控制在25°以内,入射角度对变形镜的像差校正能力影响不大。 展开更多
关键词 压电变形 像差校正能力 有效孔径 入射角度
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37单元双压电片变形镜板条激光光束净化 预览 被引量:5
18
作者 晏虎 雷翔 +5 位作者 刘文劲 王帅 高源 董理治 杨平 许冰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1663-1666,共4页
为了校正板条激光器输出光束波前像差,改善输出光束质量,提出了基于37单元双压电片变形镜的板条激光光束净化系统。采用柱面反射式单向扩束器使主振荡功率放大结构板条激光器输出光束尺寸与37单元双压电片变形镜有效口径相匹配,利用随... 为了校正板条激光器输出光束波前像差,改善输出光束质量,提出了基于37单元双压电片变形镜的板条激光光束净化系统。采用柱面反射式单向扩束器使主振荡功率放大结构板条激光器输出光束尺寸与37单元双压电片变形镜有效口径相匹配,利用随机并行梯度下降算法控制双压电片变形镜面形,进行波前像差闭环校正,校正后光束远场归一化桶中功率提高到净化前的2~3倍。 展开更多
关键词 自适应光学系统 压电变形 板条激光器 光束净化 光束质量
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20单元双压电片变形镜的性能测试与闭环校正实验研究 被引量:13
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作者 宁禹 余浩 +2 位作者 周虹 饶长辉 姜文汉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期4717-4723,共7页
测试了20单元双压电片变形镜的影响函数、变形量-电压特性曲线、面形热稳定性和频率响应特性,并搭建基于20单元双压电片变形镜和13×13阵列哈特曼传感器的自适应光学系统,测试了该变形镜对自身初始面形和静态像差板的闭环校正效果.... 测试了20单元双压电片变形镜的影响函数、变形量-电压特性曲线、面形热稳定性和频率响应特性,并搭建基于20单元双压电片变形镜和13×13阵列哈特曼传感器的自适应光学系统,测试了该变形镜对自身初始面形和静态像差板的闭环校正效果.实验结果表明,各分立电极变形量对加载电压的平均灵敏度为0.57μm/100 V,离焦电极的灵敏度为1.09μm/100 V;各电极变形量-电压响应曲线均存在迟滞现象,滞后量在最大变形量的10%以内;在温度引起的双压电片变形镜面形变化中离焦项贡献最大,其变化对温度也最为敏感,在13℃到25℃的测试区间内,离焦项P-V值增大了1.37μm,而像散、彗差和球差项的P-V变化均小于0.15μm;该变形镜对于频率在0—3 kHz范围内的电压输入信号可以均匀、稳定的响应,谐振频率在4 kHz左右.闭环条件下,双压电片变形镜能够对自身面形和静态像差板进行有效校正,校正前后焦平面上的远场光斑质量得到显著提高,Strehl Ratio分别从0.02和0.03提高到0.95和0.54. 展开更多
关键词 自适应光学 压电变形 特性分析 闭环校正
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