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回收SiC对游离磨料多线切割中几何参数的影响 预览
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作者 王绍鹏 康洪亮 《电子工业专用设备》 2019年第5期43-47,共5页
单晶硅多线切割过程中,目前已有较多文献对用过砂浆的回收方法进行了研究报道,但关于回收砂浆对硅片几何参数的研究较少。以理论分析为指导,通过实验研究使用回收砂浆对多线切割100mm(4英寸)和150mm(6英寸)硅片表面几何参数(总厚度变化... 单晶硅多线切割过程中,目前已有较多文献对用过砂浆的回收方法进行了研究报道,但关于回收砂浆对硅片几何参数的研究较少。以理论分析为指导,通过实验研究使用回收砂浆对多线切割100mm(4英寸)和150mm(6英寸)硅片表面几何参数(总厚度变化、翘曲度)的影响,验证了回收碳化硅粉可以按一定条件配制切削砂浆,并进行了成本核算,验证适当使用回收碳化硅可满足生产要求,大幅降低成本。 展开更多
关键词 多线切割 回收碳化硅 几何参数 成本
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硅晶切割废浆液回收利用工艺研究 预览 被引量:1
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作者 陈云根 《能源环境保护》 2015年第1期27-28,64共3页
硅晶太阳能电池片切割废浆液中含有绿碳化硅微粉、聚乙二醇、硅粉、金属离子和碳等杂质,采用压滤固液分离液与砂,砂用水力旋流、碱溶、酸浸、洗涤、分级等去除硅粉、金属离子和碳等杂质回收高纯碳化硅磨料。液用多级过滤、物理脱色、离... 硅晶太阳能电池片切割废浆液中含有绿碳化硅微粉、聚乙二醇、硅粉、金属离子和碳等杂质,采用压滤固液分离液与砂,砂用水力旋流、碱溶、酸浸、洗涤、分级等去除硅粉、金属离子和碳等杂质回收高纯碳化硅磨料。液用多级过滤、物理脱色、离子交换、多效浓缩等回收聚乙二醇,再与新砂、新液配伍后用于硅晶切割。 展开更多
关键词 硅晶切割 废浆液 回收碳化硅 聚乙二醇
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