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用于抗菌药物敏感实验的倍比稀释微流控芯片
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作者 刘洋 毛海央 +3 位作者 范文兵 杨潇楠 黄成军 王玮冰 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第4期279-284,302共7页
基于微流控梯度网络理论和相关的数学模型,设计了一种新型的浓度倍比稀释微流控芯片结构,对其混合和稀释功能进行了仿真,并结合微加工工艺进行了芯片制备。初步实验结果表明,芯片两个入口处分别以3.267∶1的体积流量比注入去离子水与待... 基于微流控梯度网络理论和相关的数学模型,设计了一种新型的浓度倍比稀释微流控芯片结构,对其混合和稀释功能进行了仿真,并结合微加工工艺进行了芯片制备。初步实验结果表明,芯片两个入口处分别以3.267∶1的体积流量比注入去离子水与待稀释试剂样品时,在混合通道入口处两种流体能够进行等体积混合。当芯片两个入口的体积流量分别设置为1.225μL/min和0.375μL/min时,经过4 min后在芯片的四个出口可分别得到经过两倍稀释后的试剂样品,稀释精度达到98%。该浓度状态能长时间保持稳定,进而为抗菌药物敏感实验的研究提供了一条方便快捷、试剂用量少的新途径。 展开更多
关键词 流控芯片 加工工艺 倍比稀释 抗菌药物 浓度梯度
SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展 预览
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作者 余开庆 程萍 +3 位作者 丁桂甫 Roya MABOUDIAN 赵小林 姚景元 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第12期1-4,12共5页
综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高温压力传感器的研究现状。
关键词 碳化硅 加工工艺 高温 电容压力传感器
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一种阵列波导光栅的芯片级封装结构
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作者 赵东世 王加钦 +2 位作者 崔晓彬 王暾 吕苗 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第3期149-153,160共6页
阵列波导光栅(AWG)在密集波分复用(DWDM)光通信和芯片光谱仪中有广泛的应用。提出了一种可与光纤耦合的AWG芯片级封装结构,其特点是设计了三片式叠片结构,可实现波导和光纤的三维对准;通过微加工工艺制作了锥形空腔,在此锥形空腔中... 阵列波导光栅(AWG)在密集波分复用(DWDM)光通信和芯片光谱仪中有广泛的应用。提出了一种可与光纤耦合的AWG芯片级封装结构,其特点是设计了三片式叠片结构,可实现波导和光纤的三维对准;通过微加工工艺制作了锥形空腔,在此锥形空腔中注入和固化与波导和光纤芯层折射率匹配的光学胶后,可以形成类似拉锥光纤前端的锥形波导,有效减小了由于光纤和波导尺寸失配造成的耦合损耗;且片上拉锥结构和芯片相对位置固定,热可靠性和抗振动能力有所提高;实验和测试结果表明该方法具有光纤即插即用、可使用普通光纤和高可靠性等优点。 展开更多
关键词 阵列波导光栅(AWG) 光纤耦合 片上拉锥结构 芯片级封装 加工工艺
金属多环振动盘MEMS微陀螺及其微加工工艺 预览
4
作者 李栋 吴校生 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第12期7-9,共3页
基于硅基振动盘微陀螺采用金属材料作为振子,提出了一种金属结构多环振动盘MEMS微陀螺,通过使用电镀工艺,实现了金属结构多环振动盘微陀螺的低成本低温加工方法。通过研究振动盘式微陀螺的工作原理及检测和驱动方法,设计了多环振动盘微... 基于硅基振动盘微陀螺采用金属材料作为振子,提出了一种金属结构多环振动盘MEMS微陀螺,通过使用电镀工艺,实现了金属结构多环振动盘微陀螺的低成本低温加工方法。通过研究振动盘式微陀螺的工作原理及检测和驱动方法,设计了多环振动盘微陀螺的结构。使用有限元方法对陀螺金属振子进行了动力学仿真,验证了金属结构多环振动盘陀螺的可行性,并对微陀螺的加工工艺流程进行了微加工制作,获得了微陀螺芯片。研究解决了实现金属结构多环振动盘微陀螺的关键技术。 展开更多
关键词 金属振子 多环结构 科式效应 陀螺 动力学仿真 加工工艺
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利用体块PZT制备膜片式压电微泵 预览 被引量:5
5
作者 李以贵 黄远 +2 位作者 颜平 王欢 杉山进 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1072-1079,共8页
利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过... 利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过对PZT-Si膜片的位移量、位移形状的仿真分析,确定了微驱动器的设计尺寸,并估算其液体驱动性能。利用共晶键合工艺、研磨减薄工艺、硅深反应离子刻蚀工艺和准分子激光加工工艺等制备出了微驱动器和单向微阀。最后,设计了驱动测试实验,检测了微泵的液体驱动性能。测试结果表明:所制备的膜片式压电微泵驱动的谐振频率约为70kHz,能驱动微米量级的液体位移或运动。当微泵驱动电压为30Vp-p、频率为600Hz时,液体的驱动流速约为65μL/min。该微泵具有体积小,线性度好等特点。 展开更多
关键词 流控分析系统 膜片式压电 锆钛酸铅(PZT) 单向 逆压电效应 驱动仿真 加工工艺
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微加工工艺制作的静电吸片及其切向吸附力
6
作者 张段芹 褚金奎 刘建秀 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第2期99-104,共6页
摘要:针对静电吸附在微电子机械系统(MEMS)器件装配线中的潜在应用,试图研制一种单位面积上吸附力大和自身面积小的低工作电压静电吸片。通过介绍静电吸附现象的应用与传统静电吸盘,提出一种采用表面微加工工艺制作的双极性静电吸... 摘要:针对静电吸附在微电子机械系统(MEMS)器件装配线中的潜在应用,试图研制一种单位面积上吸附力大和自身面积小的低工作电压静电吸片。通过介绍静电吸附现象的应用与传统静电吸盘,提出一种采用表面微加工工艺制作的双极性静电吸片。在分析静电吸片的结构与工作原理基础上,采用微加工工艺制备静电吸片,其中关键是在金属电极层上溅射法制备介质薄膜,之后采用微拉伸装置测量静电吸片的切向吸附力。实验结果表明:切向吸附力随着电极间隙的减小而增大;当施加电压150V时,利用电极间隙为40μm的方形环式静电吸片吸附面积为4mm×4mm的硅片,最大切向吸附力为15mN,即剪切压强为0.94kPa,能够完成微器件的拾取与固定。 展开更多
关键词 静电吸附 介质薄膜 加工工艺 剪切压强 静电吸片 电子机械系统(MEMS)
适用于微加工工艺的纳米多孔铜制备方法
7
作者 岳恒 张丛春 +4 位作者 李建华 杨卓青 汪红 丁桂甫 赵小林 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第1期53-58,共6页
主要研究了一种适用于微加工工艺的纳米多孔铜(NPC)制备方法。采用酸性柠檬酸铜锌电镀体系制备出Cu68Zn32前驱合金,通过改变前驱合金在盐酸中去合金的时间可以对NPC的微观形貌及孔径分布进行有效控制。研究结果表明,在0.05mol/L... 主要研究了一种适用于微加工工艺的纳米多孔铜(NPC)制备方法。采用酸性柠檬酸铜锌电镀体系制备出Cu68Zn32前驱合金,通过改变前驱合金在盐酸中去合金的时间可以对NPC的微观形貌及孔径分布进行有效控制。研究结果表明,在0.05mol/L的盐酸中腐蚀6h后制备的NPC孔径为80~120nm,而系带尺寸为20~40nm,利用BET法测得其比表面积为8.12m2/g。另外,应用微加工工艺制备出边长为50μm方形微阵列,验证了该NPC制备工艺与微加工工艺有较好的兼容性,为NPC的图形化与集成制造提供一种有效的工艺方案。 展开更多
关键词 电沉积 前驱合金 纳米多孔铜(NPC) 去合金 加工工艺
立式加工中心上的粉末冶金件微加工工艺
8
作者 Derek Korn 《现代制造》 2013年第7期36-39,共4页
在我采访宾夕法尼亚州SaintMarys镇的Quala—Die公司即将结束的时候,该公司的负责人指着一些过时的EDM放电加工设备说,这些机床正在等待销售处理。当然,这里指的是那些还未被新型EDM放电加工设备所取代的机床(图1)。
关键词 立式加工中心 加工工艺 粉末冶金件 加工设备 宾夕法尼亚州 EDM DIE 负责人
Chip Formation in Micro-cutting 预览
9
作者 Franqois Ducobu Edouard Rivi~re-Lorph~vre Enrico Filippi 《机械工程与自动化:英文版》 2013年第7期441-448,共8页
关键词 切屑形成 切削 二维有限元模型 切屑厚度 加工工艺 切削深度 模型验证 芯片
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利用载玻片刻蚀微流检测芯片的关键工艺 预览
10
作者 李其昌 《化学发展前沿:中英文版》 2013年第3期54-62,共9页
为克服石英玻璃和Pyrex7740玻璃制作微流检测芯片价格昂贵、工艺流程复杂等不足,节约制作成本,简化制作步骤,缩短制作周期,设计利用普通钠钙玻璃(soda-limeglass)载玻片为基质,正光刻胶AZ4620为掩膜牺牲层,进行高效、快速、低... 为克服石英玻璃和Pyrex7740玻璃制作微流检测芯片价格昂贵、工艺流程复杂等不足,节约制作成本,简化制作步骤,缩短制作周期,设计利用普通钠钙玻璃(soda-limeglass)载玻片为基质,正光刻胶AZ4620为掩膜牺牲层,进行高效、快速、低成本的微流检测芯片制作。系统地研究了载玻片的预处理、光刻胶旋涂、各阶段烘焙参数、曝光显影量、刻蚀环境及玻璃腐蚀液成分配比等关键工艺参数,解决光刻胶与玻璃的黏附性,光刻胶在腐蚀液中的耐受时间等问题。工艺优化后刻蚀深度达到80μm,最小特征尺寸小于50μm,微流管道侧壁陡直度小于100°,底部平整度误差小于±1.5μm,制作周期仅需4h左右。 展开更多
关键词 加工工艺 流检测芯片 紫外厚胶光刻 湿法刻蚀
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A two-dimensional high-frequency electrostatic microscanner
11
作者 刘耀波 苑伟政 +3 位作者 乔大勇 吴蒙 杨璇 练彬 《中国光学快报:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第11期79-82,共4页
The design of a two-dimensional high-frequency electrostatic microscanner is presented, and an improved method for routing isolation trenches is investigated to increase the reliability and mechanical stability of the... The design of a two-dimensional high-frequency electrostatic microscanner is presented, and an improved method for routing isolation trenches is investigated to increase the reliability and mechanical stability of the resulting device. A sample device is fabricated and tested using an optimized micromachining process. Measurement results indicate that the sample device oscillates at inherent frequencies of 11586 and 2047 Hz around the two rotational axes, thereby generating maximum twisting angles of ±7.28 and ±5.63, respectively, under two square waves of 40 V. These characteristics confirm the validity of our design and satisfy the requirements of a laser projector with VGA standards. 展开更多
关键词 扫描 静电 高频 二维 机械稳定性 加工工艺 设备制作
Two-dimensional microscanner for laser projection
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作者 刘耀波 苑伟政 +2 位作者 乔大勇 史龙飞 郭向楠 《中国光学快报:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第6期70-72,共3页
The design of a two-dimensional(2D) microscanner actuated electrostatically is presented,and a silicon-oninsulator(SOI) micromachining process is utilized to fabricate the sample.The microscanner can oscillate at inhe... The design of a two-dimensional(2D) microscanner actuated electrostatically is presented,and a silicon-oninsulator(SOI) micromachining process is utilized to fabricate the sample.The microscanner can oscillate at inherent frequencies of 1146 and 360 Hz around two rotational axes,generating maximum twisting angles of ±10 and ±5.3 under two 10-V square waves,respectively.A monochromatic laser projection system based on Lissajous pattern is demonstrated using the developed microscanner,revealing an image resolution of 168×56 at 20 frames per second. 展开更多
关键词 激光 扫描 二维 投射 加工工艺 绝缘体上硅 图像分辨率 扫描仪
同步辐射的基本知识 第六讲同步辐射中的光刻、微加工和其他技术及其应用
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作者 杨传铮 程国峰 黄月鸿 《理化检验:物理分册》 CAS 2010年第1期67-73,共7页
传统的集成电路(IC)和超大规模硅集成电路(VLSIC)的制作是基于微电子电路版图设计和芯片的微加工工艺。微加工工艺包括掩模制作、薄膜工艺、涂胶、曝光、刻蚀、外延以及杂质扩散等。典型的双极型集成电路工艺中共经过六次(阴埋、... 传统的集成电路(IC)和超大规模硅集成电路(VLSIC)的制作是基于微电子电路版图设计和芯片的微加工工艺。微加工工艺包括掩模制作、薄膜工艺、涂胶、曝光、刻蚀、外延以及杂质扩散等。典型的双极型集成电路工艺中共经过六次(阴埋、隔离、基极、发射极、表面SiO_2绝缘层和铝线)光刻,每次的掩模板都不同。 展开更多
关键词 加工工艺 同步辐射 光刻 硅集成电路 知识 应用 技术 集成电路工艺
基于碳纳米管的微纳单元的实验研究 被引量:1
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作者 江永清 吴英 +4 位作者 向毅 周兆英 杨兴 许迪 方泽佳 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期59-62,66共5页
利用碳纳米管生长技术和微加工技术,开展了微纳单元的实验方法研究,探索了“管压电极”和“电极压管”的微纳单元制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这两种工艺均可以加工出具有欧姆接触或者是肖特基接触的微纳单元,但“管... 利用碳纳米管生长技术和微加工技术,开展了微纳单元的实验方法研究,探索了“管压电极”和“电极压管”的微纳单元制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这两种工艺均可以加工出具有欧姆接触或者是肖特基接触的微纳单元,但“管压电极”工艺具有过程简单、成本低等特点,为基于碳纳米管的微纳单元的集成化制备工艺提供了新的思路。 展开更多
关键词 碳纳米管生长 加工工艺 纳单元制备
多级低压电渗流微泵的设计、加工及测试 预览
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作者 李祥 陈敏华 陈云飞 《中国制造业信息化:学术版》 2008年第1期 61-64,共4页
设计了一种多级低压电渗流微泵。该微泵系统主要由直流电源和蚀刻微通道的芯片等部分组成。芯片是在一块硅基片上蚀刻6组尺寸不同的微通道,从而达到提供不同大小的流量和承受不同背压的目的。对芯片的加工工艺流程进行了说明,同时对... 设计了一种多级低压电渗流微泵。该微泵系统主要由直流电源和蚀刻微通道的芯片等部分组成。芯片是在一块硅基片上蚀刻6组尺寸不同的微通道,从而达到提供不同大小的流量和承受不同背压的目的。对芯片的加工工艺流程进行了说明,同时对微泵进行了试验研究。实验结果表明:在低压下,该泵能够驱动通道中的液体。 展开更多
关键词 电渗流 加工工艺 流体实验
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用于视觉修复的柔性神经微电极阵列的电学性能表征 预览
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作者 吴义伯 徐爱兰 +2 位作者 惠春 任秋实 李刚 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期 2527-2531,共5页
用于视网膜修复的神经微电极阵列(MEAs)是当前国内外研究的热点问题之一。本文提出了一种以新型材料——聚对二甲苯(Parylene)为基底的柔性神经微电极,采用MEMS技术设计了其微加工工艺,并使用电化学分析手段对制作的柔性微电极性能... 用于视网膜修复的神经微电极阵列(MEAs)是当前国内外研究的热点问题之一。本文提出了一种以新型材料——聚对二甲苯(Parylene)为基底的柔性神经微电极,采用MEMS技术设计了其微加工工艺,并使用电化学分析手段对制作的柔性微电极性能进行了表征。结果表明,基于Parylene柔性微电极阵列的阻抗值在中频段呈现高通特性,其阻抗值及相位角分别为2 000--100Ω和-20°,有利于实现植入式视觉假体系统对视神经进行功能性电刺激。 展开更多
关键词 柔性电极阵列 聚对二甲苯 视觉修复 加工工艺 电化学方法
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柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究 预览 被引量:2
17
作者 吴义伯 邢玉梅 +4 位作者 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 李刚 《微细加工技术》 EI 2008年第2期 43-47,共5页
采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定... 采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础。 展开更多
关键词 电极阵列 聚对二甲苯 加工工艺 柔性基底 视网膜修复
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基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究 预览 被引量:6
18
作者 吴义伯 侯安州 +3 位作者 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期 1018-1020,1036,共4页
基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设... 基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等。该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势。 展开更多
关键词 柔性电极阵列 聚对二甲苯 加工工艺 神经接口
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新型微加工专用激光系统 预览
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《新技术新工艺》 2006年第9期 82-83,共2页
近些年,微加工的发展趋势越来越引起人们的关注。微加工工艺一般均采用激光加工技术,如微切削、微刻蚀、微钻削、微观构造等。就激光微加工系统而言,激光器的性能指标会直接影响到微加工产品的质量。高脉冲能量,短脉冲,高质量光束... 近些年,微加工的发展趋势越来越引起人们的关注。微加工工艺一般均采用激光加工技术,如微切削、微刻蚀、微钻削、微观构造等。就激光微加工系统而言,激光器的性能指标会直接影响到微加工产品的质量。高脉冲能量,短脉冲,高质量光束的激光源是激光微加工应用的必备条件。德国TRUMPF公司研发出一种专门适用于微加工的激光加工系统。 展开更多
关键词 加工工艺 激光系统 激光加工系统 激光加工技术 激光加工系统 发展趋势 观构造 加工产品
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MEMS领域中形状记忆合金薄膜的研究与进展 预览 被引量:5
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作者 章磊 谢超英 吴建生 《材料导报》 CSCD 北大核心 2006年第2期 109-113,共5页
总结了近年来微机电系统(MEMS)领域中,Ti-Ni形状记忆合金(SMA)薄膜的制备与微加工工艺、形状记忆性能、加工性能、防腐耐磨性能及力学性能的研究进展,由此提出了MEMS领域中,SMA薄膜的使用要求和研究方向。
关键词 机电系统 形状记忆合金薄膜 力学性能 机电系统(MEMS) 形状记忆合金(SMA) 加工性能 加工工艺 耐磨性能
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