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白光干涉轮廓仪空间扫描范围自适应规划方法
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作者 马龙 吕毅 +3 位作者 裴昕 焦智超 张鸿燕 胡艳敏 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2017年第6期126-133,共8页
摘要为提高白光干涉轮廓仪的测试效率,提出了一种空间扫描范围自适应规划方法。构建了相应的测试系统,选择能量梯度函数用于系统最佳干涉位置的定位。使用ViBe算法对最佳干涉位置处电荷耦合元件(CCD)图像中的干涉条纹进行提取,并... 摘要为提高白光干涉轮廓仪的测试效率,提出了一种空间扫描范围自适应规划方法。构建了相应的测试系统,选择能量梯度函数用于系统最佳干涉位置的定位。使用ViBe算法对最佳干涉位置处电荷耦合元件(CCD)图像中的干涉条纹进行提取,并对提取结果进行二值化处理。实验结果表明,该方法能够准确识别扫描上下限位置。 展开更多
关键词 测量 光学无损检测 干涉条纹识别 ViBe算法 白光干涉轮廓仪 空间扫描范围设定
多层介质薄膜膜层间界面粗糙度及光散射 预览 被引量:9
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作者 潘永强 吴振森 +1 位作者 杭凌侠 穆亚勇 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第3期 433-436,共4页
利用泰勒霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪(Talysurf CCI)分别对基底和采用电子束热蒸发技术沉积的15层二氧化钛(TiO2)和二氧化硅(SiO2)为膜料的介质高反膜的膜层间的界面粗糙度进行了研究,并对不同工艺下沉积的薄膜界面粗糙度以... 利用泰勒霍普森相关相干表面轮廓粗糙度仪(Talysurf CCI)分别对基底和采用电子束热蒸发技术沉积的15层二氧化钛(TiO2)和二氧化硅(SiO2)为膜料的介质高反膜的膜层间的界面粗糙度进行了研究,并对不同工艺下沉积的薄膜界面粗糙度以及不同基底粗糙度上沉积的薄膜的表面粗糙度进行了比较。实验结果表明:TiO2薄膜对基底或下表面粗糙度有较好的平滑作用,随着TiO2和SiO2膜层的交替镀制,膜层间表面粗糙度呈现出低高交替的现象,随着膜层层数的增加,膜层间界面粗糙度低高变化范围减小;采用离子束辅助沉积工艺时,膜层间界面粗糙度低高变化范围较小。总散射损耗的理论计算表明:中心波长处完全非相关模型下的总散射损耗小于完全相关模型下的总散射损耗。实验结果表明:界面粗糙度的相关度约为0.4。 展开更多
关键词 界面粗糙度 白光干涉轮廓仪 均方根粗糙度 光散射
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一维计量型微位移工作台的研究 预览
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作者 孙艳玲 谢铁邦 《传感器世界》 2006年第3期 17-20,共4页
本文介绍了一种以衍射光栅作为计量标准器的垂直方向上的微位移工作台,用来实现在白光扫描干涉轮廓仪的表面形貌测量中Z方向上的精密定位,该工作台实现了轮廓仪的闭环测量和控制,文章重点讲述了光栅信号处理的硬件及软件细分技术,... 本文介绍了一种以衍射光栅作为计量标准器的垂直方向上的微位移工作台,用来实现在白光扫描干涉轮廓仪的表面形貌测量中Z方向上的精密定位,该工作台实现了轮廓仪的闭环测量和控制,文章重点讲述了光栅信号处理的硬件及软件细分技术,以及压电陶瓷驱动电路的原理和工作台闭环定位控制的流程。 展开更多
关键词 微位移工作台 白光扫描干涉轮廓仪 衍射光栅 压电陶瓷 定位控制
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