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碲锌镉晶片研抛加工表面层损伤的研究 预览
1
作者 张文斌 郭俊伟 葛劢翀 《电子工业专用设备》 2019年第5期26-28,47共4页
介绍了碲锌镉晶片背面研抛机的工艺过程和原理,研究了研抛工艺中砂轮粒度、砂轮进给率、砂轮转速和工作台转速对晶片表面层损伤深度的影响。
关键词 碲锌镉 表面层损伤
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高转速气驱研抛装置设计及研抛特性研究 预览
2
作者 陈登铃 彭云峰 曾鑫龙 《航空制造技术》 2019年第9期53-58,共6页
针对传统磨削中电主轴体积大和转速低的问题,设计了一种高转速、小体积气驱研抛装置。通过理论计算对轴承承载力进行了分析,并在有限元软件中建立了装置的仿真模型,对装置刚度、固有频率、临界转速等静动态特性进行了分析和校核。在此... 针对传统磨削中电主轴体积大和转速低的问题,设计了一种高转速、小体积气驱研抛装置。通过理论计算对轴承承载力进行了分析,并在有限元软件中建立了装置的仿真模型,对装置刚度、固有频率、临界转速等静动态特性进行了分析和校核。在此基础上,采用气驱研抛装置与柔性树脂磨头对某型发动机叶片用硬质合金进行了研抛试验,研抛后工件表面粗糙度Ra达到1.395μm,研抛效果良好,证明该装置可用于高精度研抛。 展开更多
关键词 气驱 高转速 有限元分析 柔性
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模量面内变化的梯度功能弹性薄层接触应力分析 预览
3
作者 金明生 康杰 +2 位作者 董晓星 王礼明 计时鸣 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 2019年第22期2647-2654,共8页
针对材料均匀去除要求,提出了一种基于梯度功能研抛盘的加工新方法,研究了模量面内变化的梯度功能弹性薄层接触应力问题。用半逆解法推导出梯度功能弹性薄层无摩擦接触应力方程,引入补偿函数来补偿平面位移的影响,简化了解析过程;利用AN... 针对材料均匀去除要求,提出了一种基于梯度功能研抛盘的加工新方法,研究了模量面内变化的梯度功能弹性薄层接触应力问题。用半逆解法推导出梯度功能弹性薄层无摩擦接触应力方程,引入补偿函数来补偿平面位移的影响,简化了解析过程;利用ANSYS建立了梯度功能研抛盘无摩擦接触模型,得到位移加载下试样表面的等效应力分布;通过与应力方程拟合,获得了应力预测方程解析式及相应的补偿函数关系。最后,建立了试验平台,试验对比结果显示误差在10%以内,验证了接触应力预测方程解析式的正确性。 展开更多
关键词 均匀去除 梯度功能 接触应力 弹性薄层 补偿函数
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基于变压力的CCOS光学研抛技术 预览 被引量:1
4
作者 叶枫菲 余德平 +2 位作者 万勇建 刘海涛 赵洪深 《光电工程》 CSCD 北大核心 2018年第4期45-52,共8页
在非球面及自由曲面加工中,应用最为成熟的是计算机控制光学表面成型(CCOS)技术。现有CCOS技术普遍采用恒压力研抛方法,加工过程中研抛压力保持恒压,通过控制驻留时间实现所需的去除量。本文研究了基于变压力的CCOS研抛方法,增加了调... 在非球面及自由曲面加工中,应用最为成熟的是计算机控制光学表面成型(CCOS)技术。现有CCOS技术普遍采用恒压力研抛方法,加工过程中研抛压力保持恒压,通过控制驻留时间实现所需的去除量。本文研究了基于变压力的CCOS研抛方法,增加了调控维度,通过同时控制研抛压力和驻留时间实现所需的去除量。首先,对该方法建立了加工控制的数学模型。然后,测量分析了磨头输出力的稳定性和响应速度,去除函数的稳定性。最终,在K9材料平面镜上开展了正弦压力抛光的材料去除实验。结果表明,实测与理想正弦研抛压力周期一致,力误差标准差约为0.35 N,对去除面形PV和RMS的影响均不到9%;实际与仿真加工的面形轮廓周期一致,加工区域的面形误差在17%以内。本文实现了变压力研抛,验证了基于变压力的CCOS研抛方法在光学加工中的有效性。 展开更多
关键词 光学加工 CCOS 变压力
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一种研抛力控制的复杂曲面高效研抛加工新方法研究 预览
5
作者 孙宝玉 王宁 +2 位作者 夏椰林 田洪东 谷东伟 《机床与液压》 北大核心 2018年第9期110-113,共4页
传统的曲面研抛加工方法通常是在恒定研抛力、指定研抛路径下的研抛,或是通过调节压力实现研抛点等压力研抛,目的都只是加工余量的恒定去除,并通过对工件进行面型检测且多次循环研抛加工才能达到理想曲面的效果,效率较低。为了解决传统... 传统的曲面研抛加工方法通常是在恒定研抛力、指定研抛路径下的研抛,或是通过调节压力实现研抛点等压力研抛,目的都只是加工余量的恒定去除,并通过对工件进行面型检测且多次循环研抛加工才能达到理想曲面的效果,效率较低。为了解决传统的复杂曲面研抛加工效率低的问题,基于Preston理论提出一种研抛力控制下的复杂曲面研抛加工新方法,以五轴超精密研抛机床为实验平台,在研抛力控制下实现仿人研抛操作,实现在去除研抛加工余量的同时消除曲面面型误差。采用该方法对K9玻璃进行研抛,研抛后表面粗糙度Ra值的范围稳定在0.011~0.024μm之间,较传统恒力研抛加工效率明显提高,说明了该方法对复杂曲面研抛加工的有效性。 展开更多
关键词 五轴 精密加工 仿人 复杂曲面 力控制
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研抛力对复杂曲面研抛表面质量影响的研究 预览
6
作者 王宁 孙宝玉 夏椰林 《机械工程师》 2017年第12期33-36,共4页
复杂曲面研抛加工过程中, 通过控制研抛力的方法对工件进行研抛加工, 根据研抛去除量确定研抛时间, 能够实现对待加工表面的确定性研抛加工. 在研抛加工过程中, 当研抛力存在误差时, 会影响机床的定位误差、 加工过程中的热以及研抛头... 复杂曲面研抛加工过程中, 通过控制研抛力的方法对工件进行研抛加工, 根据研抛去除量确定研抛时间, 能够实现对待加工表面的确定性研抛加工. 在研抛加工过程中, 当研抛力存在误差时, 会影响机床的定位误差、 加工过程中的热以及研抛头的受力变形, 研抛表面精度也会因此受到影响.为了获得精度更高的工件研抛表面, 需要对研抛力对工件表面精度的影响进行研究, 文中通过对K9玻璃球面反射镜进行研抛加工,分析了加工过程中不同的研抛压力对加工表面质量的影响,最终确定了最优研抛压力区间为 [5,7]N,使研抛表面粗糙度值由Ra0.1 μm降低到Ra0.008 μm左右. 展开更多
关键词 力控制 确定性 力误差 表面质量
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汽车制造业中自动抛光系统的研究 预览 被引量:1
7
作者 王云生 王军 《客车技术》 2016年第3期12-16,共5页
构造了机器人力控制系统中的被动结构,确立了接触力与位置偏差之间的关系,使机器人在约束环境的运动中保持适当的接触力。利用力反馈原理来增加机器人在约束环境中的定位精度,根据控制系统优化的内模原理,实现力控制的无静差跟踪伺... 构造了机器人力控制系统中的被动结构,确立了接触力与位置偏差之间的关系,使机器人在约束环境的运动中保持适当的接触力。利用力反馈原理来增加机器人在约束环境中的定位精度,根据控制系统优化的内模原理,实现力控制的无静差跟踪伺服和镇定补偿器。证明了主一被动结构研抛机器人力外环柔顺控制系统的可行性和有效性,为实现汽车钣金件的自动抛光打下了坚实的基础。 展开更多
关键词 汽车 机器人 柔顺控制
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车床砂带抛磨绿色工艺的研究 预览 被引量:1
8
作者 孙千里 沈鑫刚 +2 位作者 范进桢 邬镇波 耿金良 《机电工程》 CAS 2014年第2期199-202,共4页
针对所有砂带磨头均带有电机的现状,应用带传动的原理,提出了在车床上利用工件的旋转作为源动力进行砂带抛磨的设想;在生产用的砂带磨头上进行了工件同步驱动砂带的试验;提出了一种砂带磨削和研抛绿色工艺,分析了为实现该工艺应采取的措... 针对所有砂带磨头均带有电机的现状,应用带传动的原理,提出了在车床上利用工件的旋转作为源动力进行砂带抛磨的设想;在生产用的砂带磨头上进行了工件同步驱动砂带的试验;提出了一种砂带磨削和研抛绿色工艺,分析了为实现该工艺应采取的措施;在此基础上设计了车床用无电机砂带磨头,并对砂带磨头的特点进行了分析.分析结果表明,该砂带磨头体积小,携带方便,可作为车床附件扩大车床的工艺范围;工艺实施结果表明,所采用的新工艺可以满足零件的表面粗糙度要求. 展开更多
关键词 砂带磨削 绿色工艺 磨头设计 车床附件
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非球面数控气囊研抛力/位解耦控制 预览
9
作者 胡利永 郑堤 +1 位作者 詹建明 应仙根 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2014年第11期1677-1681,共5页
针对非球面研抛过程中的力/位耦合问题,本文通过磁流变液力矩伺服控制装置进行力的控制,由数控车床完成位置及速度等工艺参数的控制,实现了力/位解耦,从而提高了研抛的精度。根据Preston研抛控制机理,建立了力控制的实现模型,在确定了... 针对非球面研抛过程中的力/位耦合问题,本文通过磁流变液力矩伺服控制装置进行力的控制,由数控车床完成位置及速度等工艺参数的控制,实现了力/位解耦,从而提高了研抛的精度。根据Preston研抛控制机理,建立了力控制的实现模型,在确定了研抛过程的工艺参数后,进行了研抛实验研究。通过计算椭球面研抛过程的驻留时间,进而确定了不同位置的时间与研抛力的对应关系,通过控制磁流变液力矩伺服装置的电流输出得到相应的研抛控制力,使其与数控机床给定的进给速度及位置进行匹配。实验结果表明:通过驻留时间进行力控制的方法可以实现高效率研抛加工中力的控制。 展开更多
关键词 非球面 气囊 磁流变液力矩伺服控制
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CP4研抛晶片时非均匀性和材料去除速率研究 预览 被引量:1
10
作者 王占奎 逄明华 +1 位作者 苏建修 姚建国 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2014年第3期16-21,共6页
建立了 CP4研抛晶片时,晶片上任一点相对于研抛盘的运动方程。通过对其运动轨迹的分析,建立了工件材料研抛非均匀系数的函数模型和相对研抛材料去除速率的函数模型。运用 Matlab 软件,模拟分析了各个参数变化对研抛非均匀系数和相对研... 建立了 CP4研抛晶片时,晶片上任一点相对于研抛盘的运动方程。通过对其运动轨迹的分析,建立了工件材料研抛非均匀系数的函数模型和相对研抛材料去除速率的函数模型。运用 Matlab 软件,模拟分析了各个参数变化对研抛非均匀系数和相对研抛效率的影响。结果表明:对材料去除效率影响最大的参数是偏心距 e 的大小,其次是从动系数λ1;对晶片非均匀性影响最大参数是从动系数λ1,其次是偏心距 e ;当λ1=1,λ2〉0.3,e 取工艺允许的最大值时,工件研抛的均匀性最好。 展开更多
关键词 非均匀性 相对材料去除速率
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金刚石刀具精密研抛机理与工艺技术研究 预览
11
《中国工程物理研究院科技年报》 2012年第1期61-62,共2页
高精度金刚石刀具的制备是超精密切削加工领域的关键技术之一,在国防及民用方面都有着巨大的现实或潜在需求,如宇航、航空、光学、天文、核技术中所需的激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面、非球面大型零件、微光学元件(包... 高精度金刚石刀具的制备是超精密切削加工领域的关键技术之一,在国防及民用方面都有着巨大的现实或潜在需求,如宇航、航空、光学、天文、核技术中所需的激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面、非球面大型零件、微光学元件(包括衍射光学元件和折射微光学元件)等。但是,国内产品加工所需的高精度金刚石刀具基本依赖于进口,大型光学工程中KDP晶体超精密加工用高精度金刚石刀具也基本依赖进口。因此,开展高精度金刚石刀具超精密研抛机理与工艺技术的研究具有重要意义。 展开更多
关键词 金刚石刀具 核技术 工艺 机理 超精密切削加工 微光学元件 衍射光学元件
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基于研抛设备的开放式数控系统体系结构研究 预览
12
作者 朱明星 《湖南工程学院学报:自然科学版》 2010年第1期 43-45,共3页
论述基于研抛数控系统的体系结构,对数控系统的硬件平台和软件平台进行了分析,并对模块进行了划分.该数控系统具有开放的体系结构.
关键词 开放数控系统 体系结构
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环形研抛工具位姿的计算与仿真
13
作者 王军 《汽车制造业》 2010年第3期46-48,共3页
机器人在研抛加工过程中需要确定研抛工具的位置及姿态,主控计算机根据研抛位姿求解机器人各个关节的相关状态量,并以机器人指令文件形式发送给机器人,从而控制机器人远程作业。机器人在研抛加工过程中的位姿需要根据工件表面外形来... 机器人在研抛加工过程中需要确定研抛工具的位置及姿态,主控计算机根据研抛位姿求解机器人各个关节的相关状态量,并以机器人指令文件形式发送给机器人,从而控制机器人远程作业。机器人在研抛加工过程中的位姿需要根据工件表面外形来确定,在计算出研抛工具到达指定加工位置的位姿量后,由主控计算机将位姿量转化为机器人的关节运动量,然后使研抛工具到达指定加工位置。 展开更多
关键词 主控计算机 位姿 工具 仿真 环形 加工位置 加工过程
基于模具曲面研抛专家系统的研究 预览
14
作者 林洁琼 刘虹 《中国高新技术企业》 2009年第15期 16-17,共2页
文章通过解析研抛加工的工艺过程、研磨理论等知识,以Visual C++为开发工具结合SQL Server数据库,实现了面向对象的程序设计技术,初步建立了模具自由曲面研抛的专家系统。
关键词 自由曲面 专家系统 VISUALC++ 推理机
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复杂自由曲面的分片规划 预览 被引量:6
15
作者 林洁琼 王义强 《吉林大学学报:工学版》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期 386-390,共5页
针对模具自由曲面研抛效率低下的问题,根据计算机图形信息和NURBS曲面构造特点,提出了基于曲率的与模糊C中值法相结合的自由曲面分片规划算法.该算法将自由曲面分成若干曲面片,并将几何信息和加工工艺信息相似的曲面片分类归族,即聚类... 针对模具自由曲面研抛效率低下的问题,根据计算机图形信息和NURBS曲面构造特点,提出了基于曲率的与模糊C中值法相结合的自由曲面分片规划算法.该算法将自由曲面分成若干曲面片,并将几何信息和加工工艺信息相似的曲面片分类归族,即聚类曲面片族.利用分片算法进行的仿真和实验结果表明:此分片算法能够实现自由曲面的分片,按聚类曲面片族进行研抛可提高加工效率. 展开更多
关键词 刀具技术 自由曲面 基于曲率的方法 模糊C中值法 分片规划
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虚拟轴机床研抛模具自由曲面的分片规划 预览 被引量:5
16
作者 林洁琼 赵继 +1 位作者 王义强 张代治 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期 123-127,共5页
为了提高模具自由曲面的研抛精度和效率,根据计算机图形信息构造特点,提出了基于曲率的自由曲面自适应分片方法.将自由曲面划分为一系列曲面信息与工艺特征相同或相似的曲面片族,采用相同的工具和相近的工艺参数进行研抛加工,利用等残... 为了提高模具自由曲面的研抛精度和效率,根据计算机图形信息构造特点,提出了基于曲率的自由曲面自适应分片方法.将自由曲面划分为一系列曲面信息与工艺特征相同或相似的曲面片族,采用相同的工具和相近的工艺参数进行研抛加工,利用等残留高度法对片内的研抛轨迹进行合理优化,以提高研抛质量和加工效率. 展开更多
关键词 虚拟轴机床 自由曲面 分片规划
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虚拟轴混联机床研抛模具自由曲面的分片规划 预览 被引量:4
17
作者 林洁琼 赵继 +1 位作者 张雷 王义强 《现代制造工程》 CSCD 2005年第8期66-68,共3页
采用虚拟轴混联机床进行模具自由曲面的精加工,为了提高模具自由曲面的研抛精度和效率,论述自由曲面的分片抛光方法.根据计算机图形信息构造特点,将自由曲面划分为一系列曲面信息与工艺特征相同或相似的曲面片族,相似的曲面片族采用相... 采用虚拟轴混联机床进行模具自由曲面的精加工,为了提高模具自由曲面的研抛精度和效率,论述自由曲面的分片抛光方法.根据计算机图形信息构造特点,将自由曲面划分为一系列曲面信息与工艺特征相同或相似的曲面片族,相似的曲面片族采用相同的工具和相近的工艺参数进行研抛加工.通过理论计算和仿真验证,此方法能够提高研抛效率. 展开更多
关键词 虚拟轴混联机床 自由曲面 分片
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单晶金刚石的弹性浮动研抛技术的研究 预览 被引量:1
18
作者 姚强 傅惠南 王宏霞 《机电工程技术》 2004年第4期 16-17,20,共3页
本文提出一种基于弹性系统的金刚石研抛技术,并对该加工方法进行一系列的试验研究,试验结果表明该方法可获得高质量的金刚石表面.
关键词 弹性浮动 单晶金刚石
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开式砂带振动磨削 预览
19
作者 李卫东 王先逵 《机械制造》 北大核心 1999年第4期 21-22,共2页
实验表明,在适当的加工条件下,砂带振动磨削不仅可降低工件的表面粗糙度,而且可以提高工件的形状精度。对一些砂轮磨削难以加工的工件,在普通床上安装磨削头架后就可以对其进行精加工。
关键词 砂带磨削 形状精度 表面粗糙度 振动磨削
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向心球轴承滚道精密砂带研抛的试验研究 预览
20
作者 冯之敬 云景涛 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期 4-6,共3页
针对向心球轴承外圈内滚道精密砂带研抛试验结果,分析了工件转速,带宽对滚道研抛主形状精度的影响,得出了转速,带宽和滚道表面质量及形状精度的关系。
关键词 轴承滚道 精密砂带 磨削 向心球轴承
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