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金属组元配比对(ZrTiAl)N膜相组成和硬度的影响
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作者 李长鸣 张钧 +3 位作者 阎鑫 王建民 李阳 高术振 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2018年第10期887-893,共7页
采用多弧离子镀技术制备了不同金属组元配比的(ZrTiAl) N硬质反应膜,进而考查金属组元配比对(ZrTiAl) N硬质反应膜的相组成和硬度的影响规律。为保证(ZrTiAl) N膜层中Zr、Ti、Al组元含量配比的规律性变化,对膜层沉积过程中弧源靶... 采用多弧离子镀技术制备了不同金属组元配比的(ZrTiAl) N硬质反应膜,进而考查金属组元配比对(ZrTiAl) N硬质反应膜的相组成和硬度的影响规律。为保证(ZrTiAl) N膜层中Zr、Ti、Al组元含量配比的规律性变化,对膜层沉积过程中弧源靶及电流分别进行了设定。通过扫描电镜进行(ZrTiAl) N膜层表面形貌和断面形貌观察及成分测定。X射线小角度衍射方法用于膜层相结构测试分析。采用VICKERS 402 MVD硬度仪测定膜层的表面硬度。所制备的(ZrTiAl) N膜层保持了膜层表面形貌、断面形貌以及膜层厚度的一致性。(ZrTiAl) N膜层均为单一固溶体型(ZrTiAl) N面心立方相组成,具有单一的(111)面择优生长取向,其点阵常数随金属组元配比的变化基本符合Vegard定律。在金属组元配比的较大变化范围内,(ZrTi Al) N膜层的相组成和择优生长取向未改变,均具有较高的硬度。在以Zr N为基的(ZrTiAl) N膜层中,Ti N和Al N的含量较大并且接近相等时,膜层容易达到硬度极大值。 展开更多
关键词 (ZrTiAl)N 硬质反应 硬度 相组成 组元配比
(Ti,Al,Zr)N多元硬质膜的退除方法与工艺研究 被引量:2
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作者 贾恒 张钧 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1067-1073,共7页
利用多弧离子镀技术并使用Ti-Al(原子百分比50:50)合金靶与Zr单质靶组合在高速钢基体上镀覆(Ti,Al,Zr)N硬质反应膜。使用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂及氢氧化钠配制膜层退除液,通过改变退除液各组元的浓度、退除液PH值和退膜温度等... 利用多弧离子镀技术并使用Ti-Al(原子百分比50:50)合金靶与Zr单质靶组合在高速钢基体上镀覆(Ti,Al,Zr)N硬质反应膜。使用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂及氢氧化钠配制膜层退除液,通过改变退除液各组元的浓度、退除液PH值和退膜温度等影响因素,考查(Wi,Al,Zr)N硬质反应膜的退除效果。分析了高速钢基体和退膜前后试样的表面形貌、成分和粗糙度。比较了退除液组元的不同组合、不同浓度、退除液不同PH值条件下镀膜试样表面形貌随时间的变化,进而确定了退除液的最佳组元组合及最佳退除膜层工艺,实现了高速钢基体上(Ti,Al,Zr)N膜的完全退除,退膜后的试样表面光亮,无腐蚀损伤。 展开更多
关键词 退除液 多弧离子镀 (Ti AL Zr)N硬质反应 高速钢
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