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自配对含氢类石墨碳薄膜超滑性能 预览
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作者 欧玉静 王永富 +1 位作者 岳照凡 张俊彦 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期72-77,共6页
采用等离子体增强化学气相沉积与原位渗氮复合技术在硅片和轴承钢球上制备了类石墨碳薄膜,将两者组成摩擦配伍对,并讨论自配对类石墨薄膜在氮气中摩擦学行为。利用往复摩擦机、扫描电子显微镜、三维表面轮廓仪考察自配对类石墨碳薄膜在... 采用等离子体增强化学气相沉积与原位渗氮复合技术在硅片和轴承钢球上制备了类石墨碳薄膜,将两者组成摩擦配伍对,并讨论自配对类石墨薄膜在氮气中摩擦学行为。利用往复摩擦机、扫描电子显微镜、三维表面轮廓仪考察自配对类石墨碳薄膜在不同载荷下摩擦磨损性能;采用高分辨透射电镜、拉曼光谱和红外吸收谱分析类石墨碳薄膜摩擦前后结构变化。摩擦测试结果表明:在载荷4 N时,薄膜摩擦因数为0.01;在8 N时,薄膜摩擦因数降低到0.005。这种变化归因于摩擦诱导薄膜结构进一步有序化以及沿滑动方向形成更加有序且更长石墨烯以及片状磨屑。证实了采用自配对碳薄膜方案是实现固体超滑一种有效途径。 展开更多
关键词 超滑 摩擦磨损 石墨 金刚石 碳薄膜
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掺钨类金刚石薄膜制备工艺参数的正交分析研究 预览
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作者 张程 李福球 +3 位作者 谢思中 林凯生 朱晖朝 张忠诚 《材料研究与应用》 CAS 2019年第1期53-56,共4页
采用离子源技术制备掺钨类金刚石薄膜(W-DLC),为系统地探究各工艺参数对薄膜硬度的影响,设计了L9(34)正交试验方案,同时结合正交分析效应曲线分别研究了C2H2流量、离子源电流、基体负偏压、钨靶电流对薄膜硬度的影响.结果表明:基体负偏... 采用离子源技术制备掺钨类金刚石薄膜(W-DLC),为系统地探究各工艺参数对薄膜硬度的影响,设计了L9(34)正交试验方案,同时结合正交分析效应曲线分别研究了C2H2流量、离子源电流、基体负偏压、钨靶电流对薄膜硬度的影响.结果表明:基体负偏压对薄膜硬度影响最大,其次为C2H2流量和离子源电流,钨靶电流的影响最小;薄膜硬度随C2H2流量的增大整体呈上升趋势,随离子源电流及偏压的增加而增加,随钨靶电流的增加而减小;工艺参数组合优选为C2H2流量100mL/min、离子源电流8A、负偏压100V、钨靶电流4A.该研究为后续进一步优化工艺,制备高性能类金刚石薄膜提供了重要的理论依据. 展开更多
关键词 正交分析 金刚石 薄膜 硬度
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工程导向碳薄膜宏观超滑研究进展
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作者 王永富 白永庆 +2 位作者 高凯雄 张斌 张俊彦 《中国科学:化学》 CSCD 北大核心 2018年第12期1466-1477,共12页
碳薄膜宏观超滑研究的兴起与发展是一个工程导向的过程,有利于解决21世纪日益增长的能源和环境问题.本文从碳纳米结构薄膜制备(如类富勒烯、类石墨、类洋葱和纳米金刚石等)入手,详细阐述了碳薄膜宏观超滑的最新科研进展,分析了碳纳米结... 碳薄膜宏观超滑研究的兴起与发展是一个工程导向的过程,有利于解决21世纪日益增长的能源和环境问题.本文从碳纳米结构薄膜制备(如类富勒烯、类石墨、类洋葱和纳米金刚石等)入手,详细阐述了碳薄膜宏观超滑的最新科研进展,分析了碳纳米结构薄膜宏观超滑行为背后的深层次减摩机制,概括了碳薄膜宏观超滑机理,并展望了碳薄膜纳米结构设计与宏观超滑未来的发展方向. 展开更多
关键词 摩擦 固体超滑 金刚石 富勒烯 石墨
提高金刚石复合片抗冲击性能的试验研究 预览
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作者 孙伟 赵海峰 +5 位作者 张天翔 熊远贵 王倩 王小华 甄怀宾 朱卫平 《钻采工艺》 北大核心 2018年第6期87-89,105,130共5页
针对聚晶金刚石复合片脱钴处理后,金刚石层出现微观空隙结构,抗冲击性能减弱的问题,利用微观粒子充填的方法,选取类金刚石作为充填剂,对金刚石层进行充填处理,利用扫描电子显微镜和PDC抗动载性能测试仪,对充填和未充填的复合片进行对比... 针对聚晶金刚石复合片脱钴处理后,金刚石层出现微观空隙结构,抗冲击性能减弱的问题,利用微观粒子充填的方法,选取类金刚石作为充填剂,对金刚石层进行充填处理,利用扫描电子显微镜和PDC抗动载性能测试仪,对充填和未充填的复合片进行对比试验分析。试验表明,充填的复合片其金刚石层表面形成类金刚石薄膜,有利于分散冲击过程中形成的瞬间应力集中;充填的复合片其抗冲击性能得到显著提高,能承受30J的冲击功4~5次,承受的总冲击功高达450J;未充填的复合片能承受100J的总冲击功,再经过1次20J的冲击后,金刚石层会出现裂纹或脱落的现象。进一步分析试验条件对充填金刚石复合片的抗冲击性能影响,结果显示,射频功率越大,氩气、甲烷和氢气的流量比为5∶10∶30,沉积时间为180min时,充填的金刚石复合片的抗冲击性能最佳。 展开更多
关键词 聚晶金刚石复合片 脱钴处理 微观粒子充填 金刚石 抗冲击性能
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类金刚石纳米薄膜的表面摩擦规律及磨损模型
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作者 张岩 张广玉 +1 位作者 李隆球 肖万伸 《复合材料学报》 CSCD 北大核心 2018年第6期1674-1682,共9页
为了研究类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜的表面摩擦机制及磨损规律,首先通过对晶体碳高温熔化和快速淬火的方式,使用分子动力学模拟制备出DLC薄膜,然后利用半球形压头对薄膜表面进行摩擦刻划。制备得到的DLC薄膜密度为2.72g&#... 为了研究类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜的表面摩擦机制及磨损规律,首先通过对晶体碳高温熔化和快速淬火的方式,使用分子动力学模拟制备出DLC薄膜,然后利用半球形压头对薄膜表面进行摩擦刻划。制备得到的DLC薄膜密度为2.72g·cm^-3,碳原子sp2、sp3杂化比例分别为37.1%和60.4%。摩擦结果表明,较低压力载荷下磨损率随着载荷力增加而线性增加,与宏观Archard模型一致;摩擦速度的不同会导致材料被加工表面应力分布及切削深度不同,造成磨损率随着摩擦速度的增加而下降,与实验结果相符;当薄膜含有Si原子夹杂且原子含量从0%增加至25%时,磨损率则先上升后下降。最后建立在压头固定载荷为50nN下描述摩擦速度、材料夹杂含量与磨损率三者关系的磨损模型,建立的磨损模型与仿真模拟相对误差在10%以内;利用模型得到在压头的载荷和摩擦速度不变时,薄膜磨损率最小值对应的Si夹杂含量为7.2%,这一模型为工程在线预测夹杂含量提供了较简单方便的手段。 展开更多
关键词 金刚石 磨损率 分子动力学 磨损模型 摩擦力
过渡层厚度对类金刚石薄膜结合强度的影响
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作者 吴雁 赵杰 李艳峰 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2018年第20期141-143,共3页
利用物理气相沉积(PVD)技术,采用ICS-04 ARC PRO涂层设备在三组硬质合金试样表面制备了含不同厚度Cr过渡层的Cr/DLC复合薄膜,三组试样中Cr过渡层的沉积时间分别为10、20、30 min。测试了薄膜的厚度和结合强度。结果表明:薄膜的厚度... 利用物理气相沉积(PVD)技术,采用ICS-04 ARC PRO涂层设备在三组硬质合金试样表面制备了含不同厚度Cr过渡层的Cr/DLC复合薄膜,三组试样中Cr过渡层的沉积时间分别为10、20、30 min。测试了薄膜的厚度和结合强度。结果表明:薄膜的厚度随沉积时间的延长呈线性增长,随过渡层厚度的增加,薄膜的结合强度都有所提高。 展开更多
关键词 物理气相沉积 金刚石 过渡层 结合强度
多腔耦合微波表面波PECVD法沉积DLC薄膜研究 预览
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作者 赵曼曼 桑利军 +3 位作者 周美丽 杨丽珍 刘忠伟 陈强 《核聚变与等离子体物理》 CSCD 北大核心 2018年第3期368-372,共5页
报道了利用多腔耦合微波表面波等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法制备类金刚石(DLC)薄膜。通过发射光谱(OES)测量,对Ar等离子体中的各种放电参数以及全部四个腔室内放电的均匀性作出评估。采用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度;薄膜的... 报道了利用多腔耦合微波表面波等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法制备类金刚石(DLC)薄膜。通过发射光谱(OES)测量,对Ar等离子体中的各种放电参数以及全部四个腔室内放电的均匀性作出评估。采用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度;薄膜的表面形貌、组成结构通过原子力显微镜(AFM)、激光拉曼光谱和X射线衍射光谱(XPS)进行了表征。在12.5μm厚度的有机薄膜聚酯(PET)表面沉积一定厚度DLC后,通过测量水蒸气透过率(WVTR)对DLC薄膜的阻隔性能进行了研究。结果表明,这种多腔耦合微波表面波等离子体装置,不仅能够实现四个腔室同时相对均匀的放电,也能够实现单个腔室的轴向均匀放电。制备的DLC薄膜结构致密、成分均匀,可以使PET薄膜阻隔性能提高约20倍。 展开更多
关键词 微波表面波 发射光谱 金刚石 薄膜
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类金刚石薄膜微观磨损行为的分子动力学模拟
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作者 张岩 肖万伸 《材料科学与工程学报》 CSCD 北大核心 2018年第6期927-931,940共6页
运用分子动力学(MD)方法研究了类金刚石(DLC)薄膜的微观磨损行为。首先将晶体碳加热至熔融状态后高速淬火,模拟制备出类金刚石薄膜,然后采用金刚石刀具对薄膜进行表面摩擦,研究了Si原子夹杂含量、压力载荷和摩擦速度对薄膜表面磨损的影... 运用分子动力学(MD)方法研究了类金刚石(DLC)薄膜的微观磨损行为。首先将晶体碳加热至熔融状态后高速淬火,模拟制备出类金刚石薄膜,然后采用金刚石刀具对薄膜进行表面摩擦,研究了Si原子夹杂含量、压力载荷和摩擦速度对薄膜表面磨损的影响,并分析了微观机理。结果表明,随着Si夹杂含量的增多导致薄膜中sp^2杂化比例升高,薄膜磨损率呈现先下降后上升的趋势,且在夹杂含量为10%左右时达到最小值;刀具压力载荷的增大使磨损率呈线性增加,这与宏观体系的Archard磨损模型一致,载荷的增加能够软化被加工表层从而降低摩擦系数;当刀具摩擦速度变大时,材料的磨损深度减小,导致磨损率降低。 展开更多
关键词 金刚石 分子动力学 磨损率 杂化
铁基金属摩擦副表面自修复层分析 预览 被引量:1
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作者 税国红 杨屹 +3 位作者 吴明霞 杨刚 王立波 黄渊 《表面技术》 CSCD 北大核心 2018年第8期139-146,共8页
目的分析不同工况对表层自修复层的影响,探究羟基硅酸镁纳米管在摩擦磨损过程中的作用机理。方法以人工合成的羟基硅酸镁纳米管Mg3Si2O5(OH)4为自修复添加剂,在油润滑实验条件下进行铁基金属摩擦副摩擦磨损实验。利用SEM、EDS、激光拉... 目的分析不同工况对表层自修复层的影响,探究羟基硅酸镁纳米管在摩擦磨损过程中的作用机理。方法以人工合成的羟基硅酸镁纳米管Mg3Si2O5(OH)4为自修复添加剂,在油润滑实验条件下进行铁基金属摩擦副摩擦磨损实验。利用SEM、EDS、激光拉曼光谱仪及显微维氏硬度计分别对自修复层厚度、自修复层元素组成、自修复层表面结构及自修复层表面显微硬度进行表征。结果在转速为1000、2000r/min时,载荷为200、300、400N的实验条件下,表层均有自修复层的生成。在转速为2000r/min、载荷为400N时,表层自修复层的厚度最大。实验过程中,摩擦副得到修复,出现负磨损,自修复层的主要元素为C、O、Fe等。高转速载荷工况下,其摩擦系数相比基础油下降0.008。自修复层为类金刚石结构,其平均硬度值在673HV左右,为基体的1.87倍。结论羟基硅酸镁、基础油及磨屑三者共同作用,在高能摩擦作用下合金化,形成高硬度的类金刚石结构修复层,能有效保护摩擦副工作面,并延长寿命。加大实验载荷与实验转速,能加速自修复层的形成,实现摩擦副负磨损,并降低摩擦系数。 展开更多
关键词 羟基硅酸镁 摩擦磨损 自修复 显微硬度 金刚石 摩擦系数
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调制比对多层DLC涂层摩擦及电化学行为的影响 被引量:1
10
作者 崔明君 任思明 +3 位作者 樊小强 张广安 王立平 薛群基 《机械工程学报》 CSCD 北大核心 2018年第6期25-31,共7页
研究调制比对多层类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)涂层摩擦及腐蚀行为的影响。采用等离子体增强化学气相沉积技术成功制备了不同调制比的多层DLC涂层。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、划痕仪、摩擦磨损试验机及电化学工作站等表... 研究调制比对多层类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)涂层摩擦及腐蚀行为的影响。采用等离子体增强化学气相沉积技术成功制备了不同调制比的多层DLC涂层。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、划痕仪、摩擦磨损试验机及电化学工作站等表征手段评价了不同调制比多层DLC涂层的结构特点、力学性能、摩擦学性能以及耐腐蚀性能。结果表明:所制备涂层表面光滑、结构致密、膜基界面结合良好。其中1∶1为多层DLC涂层最佳调制比,该调制比涂层的硬度、弹性模量和抗裂纹萌生的临界载荷最大。同时,摩擦试验表明1∶1涂层具有最低的磨损率,且经720 h盐雾试验后仍然表现出较高的阻抗值。通过以上结果可以得出当调制比为1∶1时,多层DLC涂层具有良好的摩擦学性能及耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 金刚石 多层 调制比 摩擦 盐雾 腐蚀
CrN/DLC复合薄膜的制备及其摩擦学性能研究 预览 被引量:2
11
作者 李福球 林松盛 +1 位作者 林凯生 陈焕涛 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期25-30,共6页
采用阴极电弧离子镀技术沉积了厚度为16μm左右的CrN膜层,然后在其上以阴极电弧+磁控溅射+阳极层离子源复合技术沉积了厚度约3μm的类金刚石(DLC)膜层,分别用扫描电镜、显微硬度计、划痕仪、摩擦磨损试验仪分析和测试了CrN、DLC、... 采用阴极电弧离子镀技术沉积了厚度为16μm左右的CrN膜层,然后在其上以阴极电弧+磁控溅射+阳极层离子源复合技术沉积了厚度约3μm的类金刚石(DLC)膜层,分别用扫描电镜、显微硬度计、划痕仪、摩擦磨损试验仪分析和测试了CrN、DLC、CrN/DLC等3种膜层的表面和截面形貌,厚度,显微硬度,结合力以及耐磨损性能。结果表明,采用上述方法制备的CrN/DLC复合膜具有良好的综合性能,膜层界面明晰、结构致密,膜基结合力大于60N,显微硬度达到2200~2600HV,磨损率为1.8×10^-16m^3/(N·m),耐磨损性能优于CrN和DLC单层膜。 展开更多
关键词 氮化铬 金刚石 复合薄膜 阴极电弧离子镀 磁控溅射 阳极层离子源 摩擦学
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多界面氟硅共掺杂类金刚石薄膜的腐蚀性 预览
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作者 张仁辉 赵娟 石维 《铜仁学院学报》 2017年第3期31-33,共3页
采用等离子体增强化学气相沉积方法制备得到了不同偏压下(0.8kV、0.9kV、1.0kV)的多界面氟硅共掺杂类金刚石薄膜。通过SEM表征可知,在不同偏压下制备的薄膜厚度分别为5.0μm、8.5μm和10μm;通过TEM表征得到所制备的膜层为无定型结... 采用等离子体增强化学气相沉积方法制备得到了不同偏压下(0.8kV、0.9kV、1.0kV)的多界面氟硅共掺杂类金刚石薄膜。通过SEM表征可知,在不同偏压下制备的薄膜厚度分别为5.0μm、8.5μm和10μm;通过TEM表征得到所制备的膜层为无定型结构;划痕测试与腐蚀测试结果显示,0.8kV下制备得到的膜层不仅膜基结合好,而且耐蚀性能好。 展开更多
关键词 偏压 金刚石 腐蚀 内应力
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基底对类金刚石薄膜摩擦学性能的影响 预览
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作者 张仁辉 赵娟 《河北科技大学学报》 CAS 2017年第3期244-248,共5页
为了研究不同基底对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响,采用等离子体增强化学气相沉积方法在高速钢、SiC和304不锈钢基底上成功制备了类金刚石薄膜.采用SEM,TEM,Raman测试手段对膜层的微结构进行了表征:SEM表征结果显示膜层总厚度约为6.5... 为了研究不同基底对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响,采用等离子体增强化学气相沉积方法在高速钢、SiC和304不锈钢基底上成功制备了类金刚石薄膜.采用SEM,TEM,Raman测试手段对膜层的微结构进行了表征:SEM表征结果显示膜层总厚度约为6.5 μm,而且层与层之间有明显的界面;TEM表征结果显示沉积的膜层为无定型结构;Raman光谱分析显示沉积的薄膜存在明显的G峰和D峰,可以确定沉积的薄膜为类金刚石薄膜.摩擦测试结果显示,基底对类金刚石薄膜摩擦磨损性能具有显著影响,对于不同基底,钢球对偶上均存在明显的转移膜,高速钢基底的磨痕宽度最小,而且沉积在高速钢基底上的类金刚石薄膜具有最低的磨损率,摩擦系数约为0.1.采用Raman光谱对不同基底磨痕表面微结构进行了分析,认为高速钢基底具有最低磨损率可归因于其磨痕的石墨化程度低.研究可为制备具有优异摩擦磨损性能的类金钢石薄膜提供参考. 展开更多
关键词 摩擦学 摩擦系数 金刚石
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涂层技术制备高阻隔性PET瓶的应用研究 预览 被引量:2
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作者 李娜 《包装学报》 2017年第3期58-64,共7页
对聚偏二氯乙烯、改性聚乙稀醇和环氧-胺等有机涂层材料及氧化硅、类金刚石等无机涂层材料在PET瓶上的应用工艺、阻隔性能及其在国内外市场的研究进展进行了综述,指出高阻隔PET瓶目前仅处于小规模的试用阶段,若要成功实现从玻璃瓶到PE... 对聚偏二氯乙烯、改性聚乙稀醇和环氧-胺等有机涂层材料及氧化硅、类金刚石等无机涂层材料在PET瓶上的应用工艺、阻隔性能及其在国内外市场的研究进展进行了综述,指出高阻隔PET瓶目前仅处于小规模的试用阶段,若要成功实现从玻璃瓶到PET塑料瓶的转化,不仅需要提高PET材料的阻隔性能,还应保证其具有较高的透明性、可回收性、技术易操作性及实用性等。 展开更多
关键词 PET 高阻隔性 聚偏二氯乙烯 氧化硅 金刚石
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聚酯表面类金刚石薄膜的制备及疏水性能
15
作者 孙丽丽 郭鹏 +2 位作者 李晓伟 柯培玲 汪爱英 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期187-194,共8页
采用线性离子束技术在PET基材表面制备类金刚石薄膜,分析薄膜结构、性能随离子束电流的演变规律并研究了薄膜润湿特性与表面形貌、结构、表面能的作用关系。结果表明:沉积在PET表面的类金刚石薄膜具有典型的非晶碳膜结构特征,随着离子... 采用线性离子束技术在PET基材表面制备类金刚石薄膜,分析薄膜结构、性能随离子束电流的演变规律并研究了薄膜润湿特性与表面形貌、结构、表面能的作用关系。结果表明:沉积在PET表面的类金刚石薄膜具有典型的非晶碳膜结构特征,随着离子束电流的增大sp~2/sp~3比值由0.774增加到1.622,薄膜表面的石墨化程度提高;改性后的PET材料接触角从63.51°增大到103.7°。进一步分析发现,疏水性能的提高归因于材料表面能的降低,表面石墨化程度的提高和微-纳结构的形成是表面能降低的根本原因。此外,疏水的PET材料在500~760 nm可见光范围内具有一定的増透效果,透过率达到88.5%以上。用线性离子束沉积碳膜及刻蚀技术能得到合适的微观形貌和表面化学结构,可在保持基体材料透明性的同时提高PET柔性聚合物材料的疏水性能。 展开更多
关键词 有机高分子材料 疏水性 金刚石 表面形貌 表面能
Theoretical design of diamondlike superhard structures at high pressure
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作者 李全 郑伟涛 《中国物理B:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第7期1-8,共8页
Diamond, as the hardest known material, has been widely used in industrial applications as abrasives, coatings, and cutting and polishing tools, but it is restricted by several shortcomings, e.g., its low thermal and ... Diamond, as the hardest known material, has been widely used in industrial applications as abrasives, coatings, and cutting and polishing tools, but it is restricted by several shortcomings, e.g., its low thermal and chemical stability. Considerable efforts have been devoted to designing or synthesizing the diamond-like B–C–N–O compounds, which exhibit excellent mechanical property. In this paper, we review the recent theoretical design of diamond-like superhard structures at high pressure. In particular, the recently designed high symmetric phase of low-energy cubic BC3 meets the experimental observation, and clarifies the actual existence of cubic symmetric phase for the compounds formed by B–C–N–O system,besides the classical example of cubic boron nitride. 展开更多
关键词 理论设计 金刚石 高压力 结构 超硬 立方氮化硼 工业应用 化学稳定性
MPCVD法玻璃上高光透率类金刚石膜的沉积 预览
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作者 孙祁 翁俊 +2 位作者 刘繁 周璐 汪健华 《真空电子技术》 2016年第3期40-42,共3页
本实验使用石英钟罩微波等离子体化学气相沉积装置,采用“四步沉积法”在含有Ti原子层的玻璃表面,沉积类金刚石膜。保证其他参数不变,通过沉积温度的改变来研究温度对类金刚石膜表面形貌及光透过率的影响。结果表明,提高沉积温度可... 本实验使用石英钟罩微波等离子体化学气相沉积装置,采用“四步沉积法”在含有Ti原子层的玻璃表面,沉积类金刚石膜。保证其他参数不变,通过沉积温度的改变来研究温度对类金刚石膜表面形貌及光透过率的影响。结果表明,提高沉积温度可减少类金刚石膜表面的团聚,提高平整度,同时,提高沉积温度可提高光透过率,当温度为650℃,光透过率为94.80.4。 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 金刚石 光透过率
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车用燃气喷嘴高频动芯工艺改善策略分析 预览
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作者 陈春雨 秦胜林 《中国新技术新产品》 2016年第16期61-62,共2页
动芯是燃气喷嘴重要的核心零部件,在实际工作中处于高频运动,如何提高动芯的耐磨、耐温性能是提高燃气喷嘴使用寿命的关键技术难点。本文主要针对几种动芯工艺改善策略进行分析,提出动芯工艺合理经济的改善思路。
关键词 特氟龙 金刚石 动芯
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载荷对氟硅共掺杂类金刚石膜摩擦学性能的影响 预览 被引量:2
19
作者 张仁辉 鲁志斌 王立平 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期84-91,共8页
采用等离子体增强化学气相沉积系统成功制备氟硅共掺杂类金刚石薄膜,采用Raman,XPS对膜层结构与成分进行表征.采用划痕仪对膜层的结合力进行了测试.摩擦测试结果显示,在载荷范围为1~6 N时,膜层具有低摩擦系数(0.05~0.1);在载荷大于6 N... 采用等离子体增强化学气相沉积系统成功制备氟硅共掺杂类金刚石薄膜,采用Raman,XPS对膜层结构与成分进行表征.采用划痕仪对膜层的结合力进行了测试.摩擦测试结果显示,在载荷范围为1~6 N时,膜层具有低摩擦系数(0.05~0.1);在载荷大于6 N时,摩擦系数在0.2~0.27之间.对偶磨斑的光学照片显示,在低载下(1~6 N),磨斑上存在明显的转移膜,转移膜导致膜层具有低摩擦系数;在高载下,磨合期磨斑上存在稳定的转移膜,对应于磨合期的低摩擦系数.然而在磨合期后,磨斑表面转移膜消失,结果导致高摩擦系数. 展开更多
关键词 摩擦系数 金刚石 载荷 RAMAN XPS
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PVD涂层技术制备类金刚石薄膜及性能研究综述 预览 被引量:4
20
作者 吴雁 李艳峰 +1 位作者 张而耕 赵杰 《表面技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第8期115-123,共9页
介绍了采用物理气相沉积(PVD)技术制备类金刚石涂层的方法,进而论述了涂层的摩擦磨损和结合力等性能的研究现状和发展前景。分析并综述了类金刚石涂层的技术发展,以及制备类金刚石薄膜的方法和影响其性能的多种要素。表面涂有类金刚... 介绍了采用物理气相沉积(PVD)技术制备类金刚石涂层的方法,进而论述了涂层的摩擦磨损和结合力等性能的研究现状和发展前景。分析并综述了类金刚石涂层的技术发展,以及制备类金刚石薄膜的方法和影响其性能的多种要素。表面涂有类金刚石薄膜的工件具有较高的硬度、良好的热传导率、极低的摩擦系数、优异的电绝缘性能等。类金刚石薄膜(DLC Films)是近年来兴起的一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料,因其优异的减摩和抗磨性能,在摩擦学领域获得了广泛应用,是一种与金刚石涂层性能相似的新型薄膜材料。DLC涂层的性能研究大多集中在它的摩擦学特性和结合力性能,并且作为优质的涂层材料已被广泛应用于汽车、模具、刀具等领域。 展开更多
关键词 金刚石 摩擦系数 结合力 物理气相沉积
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