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利用聚焦离子束技术构建铁素体三维形态 被引量:1
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作者 武绍文 张彩军 吴哲 《钢铁》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期85-91,共7页
钢铁行业对铁素体的三维表征、组织演变、物理性能等越来越重视,现如今随着新型设备的引入,带动了研究方法的进步。通过聚焦离子束技术(FIB),构建了EH40级船板钢晶内铁素体、晶界铁素体的三维形态。结果表明,根据试验所得的晶内铁素体... 钢铁行业对铁素体的三维表征、组织演变、物理性能等越来越重视,现如今随着新型设备的引入,带动了研究方法的进步。通过聚焦离子束技术(FIB),构建了EH40级船板钢晶内铁素体、晶界铁素体的三维形态。结果表明,根据试验所得的晶内铁素体的三维形态,可知晶内铁素体是与其他铁素体发生碰撞而形成,并且有亚晶粒的存在。根据试验所得的晶界铁素体,其形态如针状,表面并不平滑,且由于碰撞,在其表面存在凹坑,并且建立了数学模型,展示出其三维形态可能是晶界表面处碳元素的快速扩散所导致的。 展开更多
关键词 聚焦离子束 三维形貌 晶内铁素体 晶界铁素体
α-Cu2Se精细结构的球差校正扫描透射电镜表征 预览
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作者 陈陆 刘军 +1 位作者 王勇 张泽 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2019年第2期139-144,共6页
目前学界对Cu2Se低温α相的结构仍未认识清楚,而解决这一问题对理解Cu2Se在相变过程中热电性能提升等特性具有重要意义。本文首次报道了由球差校正扫描透射电镜(STEM)拍摄到的沿α-Cu2Se[1_1_2]c带轴的原子级分辨率高角环形暗场(HAADF)... 目前学界对Cu2Se低温α相的结构仍未认识清楚,而解决这一问题对理解Cu2Se在相变过程中热电性能提升等特性具有重要意义。本文首次报道了由球差校正扫描透射电镜(STEM)拍摄到的沿α-Cu2Se[1_1_2]c带轴的原子级分辨率高角环形暗场(HAADF)像,揭示了由Se原子以多种形式有序起伏产生的复杂结构。结合电子衍射图谱,分析了包含不同层数、通过相互组合构成α-Cu2Se晶体的多种结构变体。使用QSTEM软件对构建的结构变体进行高分辨图像模拟,得到了与实验对应的HAADF像。该工作为更全面地理解α-Cu2Se的结构提供了新的重要信息。 展开更多
关键词 α-Cu2Se 聚焦离子束 电子衍射 球差校正 STEM 有序起伏
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连续纤维增强陶瓷基复合材料微观力学研究进展 预览
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作者 刘海韬 杨玲伟 韩爽 《无机材料学报》 CSCD 北大核心 2018年第7期711-720,共10页
微观力学参数是构建连续纤维增强陶瓷基复合材料(CFRCMCs)组分、微观结构和宏观力学性能的桥梁,但受限于CFRCMCs的脆性和微观力学参数测试水平,微观力学研究工作进展缓慢。随着基于纳米压痕的微观力学测试技术和基于聚焦离子束微观测... 微观力学参数是构建连续纤维增强陶瓷基复合材料(CFRCMCs)组分、微观结构和宏观力学性能的桥梁,但受限于CFRCMCs的脆性和微观力学参数测试水平,微观力学研究工作进展缓慢。随着基于纳米压痕的微观力学测试技术和基于聚焦离子束微观测试样品制备技术的飞速发展,近年来CFRCMCs的微观力学研究工作取得显著进步。本文结合国防科技大学刘海韬课题组的研究工作,重点对CFRCMCs组分的原位模量、断裂韧性以及界面结合强度的测试方法和典型应用进行了讨论,最后举例说明了基于微观力学参数的CFRCMCs宏观力学行为的预判方法。 展开更多
关键词 陶瓷基复合材料 微观力学 纳米压痕 聚焦离子束 综述
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冷喷涂单颗粒铜在铝基体上的显微结构研究
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作者 马广璐 孔令艳 +3 位作者 李铁藩 Nuria Cinca Josep M.Guilemany 熊天英 《稀有金属材料与工程》 CSCD 北大核心 2018年第4期1166-1173,共8页
采用冷喷涂法在铝(Al)基体上沉积单颗粒铜(Cu),利用聚焦离子束/电子束(FIB/SEM)系统精确定位并原位制备了完整单个颗粒Cu沉积在Al基体上的透射样品,分析其显微结构及形成原因。实验结果表明,撞击过程中温度与应力分布不均匀,导致... 采用冷喷涂法在铝(Al)基体上沉积单颗粒铜(Cu),利用聚焦离子束/电子束(FIB/SEM)系统精确定位并原位制备了完整单个颗粒Cu沉积在Al基体上的透射样品,分析其显微结构及形成原因。实验结果表明,撞击过程中温度与应力分布不均匀,导致沉积Cu颗粒不均匀形变。Cu/Al界面受影响较大:颗粒动能转化为形变能和热能,打破了界面处氧化膜,使界面附近温度迅速升高,发生动态再结晶,生成金属间化合物Cu9Al4;Cu颗粒内距界面越远的区域,受温度和应力的影响越小,其变形主要是通过晶体内位错增殖和移动;沉积颗粒顶部,远离Cu/Al界面,几乎不受应力和温度影响,保持原始显微结构。 展开更多
关键词 聚焦离子束 透射 CU-AL 冷喷涂颗粒形变
扫描电子显微镜及其在石化领域的应用 预览
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作者 黄文氢 柳颖 梁中伟 《石油化工》 CSCD 北大核心 2018年第1期95-103,共9页
介绍了扫描电子显微镜的工作原理和仪器结构,综述了扫描电子显微镜作为形貌观察工具在石化领域的应用。分析了扫描电子显微镜结合能谱仪、电子背散射衍射技术、聚焦离子束扫描电子显微镜以及扫描电子显微镜原位技术的特点和优势,并分... 介绍了扫描电子显微镜的工作原理和仪器结构,综述了扫描电子显微镜作为形貌观察工具在石化领域的应用。分析了扫描电子显微镜结合能谱仪、电子背散射衍射技术、聚焦离子束扫描电子显微镜以及扫描电子显微镜原位技术的特点和优势,并分别介绍了它们在催化剂和材料表征方面的应用,在此基础上,对扫描电子显微镜以及相关新技术的发展趋势和应用前景做出了展望。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 能谱法 聚焦离子束 电子背散射衍射 原位检测
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聚焦离子束快速制备锆合金三维原子探针样品 预览
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作者 梁雪 韩洪秀 +2 位作者 黄娇 李慧 李强 《实验室研究与探索》 北大核心 2018年第8期34-36,共3页
利用聚焦离子束快速精确的定位加工了锆合金的三维原子探针样品,通过合理控制加工束流和时间,制备出的针尖样品满足了三维原子探针观察样品的要求。利用三维原子探针从该样品上采集到了8 000多万的原子信息。聚焦离子束可实现三维原子... 利用聚焦离子束快速精确的定位加工了锆合金的三维原子探针样品,通过合理控制加工束流和时间,制备出的针尖样品满足了三维原子探针观察样品的要求。利用三维原子探针从该样品上采集到了8 000多万的原子信息。聚焦离子束可实现三维原子探针样品的快速,便捷,高效制备。 展开更多
关键词 聚焦离子束 针尖样品 三维原子探针 锆合金
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基于FIB加工技术研究Ag@SiOx自组织颗粒的内部结构 预览
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作者 赵慧 张晓娜 +1 位作者 贾苗苗 张泽 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期585-589,共5页
本文采用FIB辐照样品表面和FIB提取样品截面两种方法,尝试获取Ag@SiOx自组织结构的内部结构信息,分别得到柱状结构和核壳结构两种完全不同的结果。其中提取截面的方法可以在保留样品初始形貌的同时获取真实内部结构信息,结合EDS能谱,可... 本文采用FIB辐照样品表面和FIB提取样品截面两种方法,尝试获取Ag@SiOx自组织结构的内部结构信息,分别得到柱状结构和核壳结构两种完全不同的结果。其中提取截面的方法可以在保留样品初始形貌的同时获取真实内部结构信息,结合EDS能谱,可以确定,半球状SiOx颗粒包覆在实心银椭球体上表面,Ag@SiOx自组织结构是一种粒子包覆型核壳结构。有序柱状结构并不反映样品真实内部结构,其产生与离子束的选择性刻蚀有关。 展开更多
关键词 聚焦离子束 自组织 表面辐照 截面提取 核壳结构 柱状阵列
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FIB加工、扫描及透射电子显微镜相结合的复杂合金相层状组织表征 预览
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作者 周玲玲 孙威 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期590-595,共6页
扫描电子显微镜(SEM)与聚焦离子束(FIB)可集成为双束系统,实现微区形貌观察与样品加工一体化,同时也可实现截面薄样品的定位提取。利用该技术并结合透射电镜(TEM)技术研究了Al-Pd-Fe复杂合金系铸态组织中层片结构的构成与分布特征。结... 扫描电子显微镜(SEM)与聚焦离子束(FIB)可集成为双束系统,实现微区形貌观察与样品加工一体化,同时也可实现截面薄样品的定位提取。利用该技术并结合透射电镜(TEM)技术研究了Al-Pd-Fe复杂合金系铸态组织中层片结构的构成与分布特征。结果表明,铸态Al75Pd15Fe10合金中的层片组织由M-Al13Fe4相与准晶相构成。通过对比发现,相同层片组织在背散射电子像与透射电镜观察下呈现出明显不同的分布特征。结合扫描与透射电子显微学成像原理,阐明了SEM和TEM两种表征方式产生不同结果的原因,指出了通过SEM,FIB以及TEM相结合对表征微细多相混合组织真实三维空间分布特征的必要性和有效性。 展开更多
关键词 复杂合金相 片层组织 背散射电子成像 聚焦离子束 透射电子显微镜
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7B04铝合金超塑性变形的组织演变与变形机理 预览
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作者 廖荣跃 叶凌英 +2 位作者 陈明安 杨栋 孙泉 《中南大学学报:自然科学版》 CSCD 北大核心 2018年第12期2931-2938,共8页
采用高温拉伸、电子背散射衍射、扫描电镜和透射电镜研究7B04铝合金超塑性变形的组织演变过程,利用聚焦离子束技术定量计算各变形机制的贡献量。研究结果表明:在变形初始阶段,扩散蠕变引起物质迁移的作用逐渐增强,不存在明显的晶内位错... 采用高温拉伸、电子背散射衍射、扫描电镜和透射电镜研究7B04铝合金超塑性变形的组织演变过程,利用聚焦离子束技术定量计算各变形机制的贡献量。研究结果表明:在变形初始阶段,扩散蠕变引起物质迁移的作用逐渐增强,不存在明显的晶内位错滑移,促使物质在垂直拉伸方向的晶界附近堆积,形成无沉淀析出带,条纹带在试样表层的晶界附近形成;在试样真应变由0.23增至0.43的过程中,晶界滑移对整个变形的贡献量由45.81%增大至52.34%,主要变形机制为伴随扩散蠕变的晶界滑移机制;当继续变形至真应变为1.26时,楔形和圆形空洞同时出现,继续拉伸时空洞扩展,部分跨过空洞的晶须被拉长直至断裂,最终垂直于拉伸方向的空洞发生聚合或连接,试样沿该部位断裂。 展开更多
关键词 7B04铝合金 超塑性 聚焦离子束 晶界滑移 扩散蠕变
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IF钢合金化镀锌板镀层相结构研究 预览
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作者 周元贵 白会平 《武汉工程职业技术学院学报》 2017年第3期5-8,共4页
采用扫描电镜(SEM)、聚焦离子束(FIB)、透射电镜(TEM)及弯曲试验研究了工业大生产条件下两种加热炉功率生产的IF钢合金化镀锌板(GA)镀层微观组织和相结构。结果表明两种GA板镀层表面均由致密的δ相和柱状ζ相组成;当合金化炉的... 采用扫描电镜(SEM)、聚焦离子束(FIB)、透射电镜(TEM)及弯曲试验研究了工业大生产条件下两种加热炉功率生产的IF钢合金化镀锌板(GA)镀层微观组织和相结构。结果表明两种GA板镀层表面均由致密的δ相和柱状ζ相组成;当合金化炉的功率由464kW提高到672kW时,镀层表面δ相含量由1.14%提高到19.44%,镀层厚度保持不变;GA板镀层均由Г相、δ相和ζ相组成,靠近基板区域主要为Г相,镀层中心区域主要为δ相,镀层近表面主要为ζ相。 展开更多
关键词 合金化镀锌板 聚焦离子束 相结构 IF钢
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A36船板钢三维原子探针样品的微区定位制备及表征 预览
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作者 吴园园 金传伟 张珂 《冶金分析》 CSCD 北大核心 2017年第7期1-5,共5页
为研究A36船板钢中间裂纹形成的微观原因,实验主要利用聚焦离子束(FIB)的精确定位加工功能,在连铸坯的裂纹附近提取特征区域,通过FIB环形切割,制备出感兴趣区域的三维原子探针(3DAP)样品,克服了传统电解抛光制样方法无法定位的缺点... 为研究A36船板钢中间裂纹形成的微观原因,实验主要利用聚焦离子束(FIB)的精确定位加工功能,在连铸坯的裂纹附近提取特征区域,通过FIB环形切割,制备出感兴趣区域的三维原子探针(3DAP)样品,克服了传统电解抛光制样方法无法定位的缺点,同时通过对样品支架进行修整及角度校正,解决了3DAP针尖样品在分析过程中因存在材料缺陷或尖端曲率半径增大而容易"折断"的问题。然后,利用3DAP研究了制备出的针尖样品的元素分布规律。分析结果显示,在裂纹附近制取的样品中存在C、Mn、Cr和P元素的富集或偏聚,进而验证了这些元素的不均匀分布可能是导致A36船板钢产生裂纹的事实。 展开更多
关键词 聚焦离子束 三维原子探针 电解抛光 角度校正 A36船板钢
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喷丸镍基合金材料微区残余应力的切槽法测量研究
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作者 朱荣华 尹元杰 +1 位作者 谢惠民 刘应华 《实验力学》 CSCD 北大核心 2017年第2期145-151,共7页
本文结合聚焦离子束-电子束(Focused ion beam-electron beam,简称FIB-EB)双束系统和真空镀膜工艺,进行微区散斑的制备工艺研究,并将所发展的微散斑制备工艺应用于喷丸镍基合金材料表面制斑,进而结合切槽法进行残余应力高温释放规律... 本文结合聚焦离子束-电子束(Focused ion beam-electron beam,简称FIB-EB)双束系统和真空镀膜工艺,进行微区散斑的制备工艺研究,并将所发展的微散斑制备工艺应用于喷丸镍基合金材料表面制斑,进而结合切槽法进行残余应力高温释放规律的测量研究。在FIB-EB双束系统下记录切槽前后制斑微区的图像,利用数字图像相关法计算切槽后的位移,结合InglisMuskhelishvili理论公式可计算得到残余应力。文中研究了不同温度及保温时间对残余应力释放的影响规律。结果表明,残余应力随保温时间的增长释放速度逐渐减小,最后残余应力趋于稳定值。同时,温度越高,残余应力释放越彻底,800℃下近乎完全释放。该工艺具有适用性好,效率高等优点,可望在材料微区变形测量中得到进一步应用。 展开更多
关键词 聚焦离子束 微散斑 微区变形 残余应力
见微知萌 以纳天地
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作者 秦豫川 《中国研究生》 2017年第2期50-52,共3页
生活中,商家们将“纳米”作为产品广告的宣传噱头已经屡见不鲜,但大部分消费者对纳米的概念依然缺乏足够的认知。实际上,纳米(nm)是一个长度单位,其概念最初是由诺贝尔物理学奖得主费曼于1959年在美国物理年会上提出的。此后,1纳米(n... 生活中,商家们将“纳米”作为产品广告的宣传噱头已经屡见不鲜,但大部分消费者对纳米的概念依然缺乏足够的认知。实际上,纳米(nm)是一个长度单位,其概念最初是由诺贝尔物理学奖得主费曼于1959年在美国物理年会上提出的。此后,1纳米(nm)被定义为10^-9米(m)。更为直观的比较是,1纳米相对于1米,就像是一个玻璃弹珠的直径相对于地球的直径。 展开更多
关键词 见微知萌 产品广告 诺贝尔物理学奖 长度单位 费曼 电子光刻机 聚焦离子束 扫描电子显微镜 ELECTRON 表征技术
基于氮化硅薄膜纳米孔制备及DNA分子检测 预览 被引量:1
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作者 马建 王欣 +4 位作者 李堃 纪安平 杨浩杰 沙菁 陈云飞 《东南大学学报:自然科学版》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期265-270,共6页
通过对影响聚焦离子束溅射氮化硅纳米孔的溅射时间和离子束束流2个主要参数的研究,优化了聚焦离子束溅射纳米孔加工工艺.提出了利用聚焦离子束对氮化硅薄膜进行减薄后再溅射纳米孔的加工工艺.采用该加工工艺不仅可以减小纳米孔的直径和... 通过对影响聚焦离子束溅射氮化硅纳米孔的溅射时间和离子束束流2个主要参数的研究,优化了聚焦离子束溅射纳米孔加工工艺.提出了利用聚焦离子束对氮化硅薄膜进行减薄后再溅射纳米孔的加工工艺.采用该加工工艺不仅可以减小纳米孔的直径和厚度,还可以减小纳米孔的锥度.最后利用氮化硅纳米孔研究了不同孔径的纳米孔对48 kbλ-DNA过孔姿态的影响,结果表明,孔径较大时,DNA分子过孔存在多种过孔姿态,孔径越小,DNA分子越容易被拉直过孔.同时针对DNA过孔时引起的阻塞电流,提出了简易的计算模型. 展开更多
关键词 氮化硅 纳米孔 聚焦离子束 DNA
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赛默飞发布三款用于半导体领域新品 提升实验室分析效率 预览
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《分析化学》 CSCD 北大核心 2017年第8期1171-1171,1187共2页
近日,科学服务领域的世界领导者赛默飞世尔科技(以下简称:赛默飞)亮相成都第24届国际集成电路物理与失效分析研讨会(IPFA 2017),并发布三款用于半导体失效分析工作流程的全新产品,旨在帮助半导体故障分析实验室提升处理样品和获取... 近日,科学服务领域的世界领导者赛默飞世尔科技(以下简称:赛默飞)亮相成都第24届国际集成电路物理与失效分析研讨会(IPFA 2017),并发布三款用于半导体失效分析工作流程的全新产品,旨在帮助半导体故障分析实验室提升处理样品和获取数据的效率,为寻求快速、高质量的电性和物理失效分析的半导体制造商提供创新解决方案。 展开更多
关键词 赛默 失效分析 半导体制造商 国际集成电路 聚焦离子束 半导体领域 半导体器件 高分辨率扫描 飞世尔 全新产品
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聚焦离子束制备透射电镜样品效率提升方法 预览
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作者 范春燕 于会生 段淑卿 《中国集成电路》 2017年第4期51-55,85共6页
半导体技术的飞速发展对失效分析的效率要求也越来越高。为了提高失效分析过程中透射电镜(TEM)样品制备的速度和效率,本文介绍了四种提高聚焦离子束(FIB)制备透射电镜样品的方法,针对每一种方法,文中详细描述了该方法的改善步骤并... 半导体技术的飞速发展对失效分析的效率要求也越来越高。为了提高失效分析过程中透射电镜(TEM)样品制备的速度和效率,本文介绍了四种提高聚焦离子束(FIB)制备透射电镜样品的方法,针对每一种方法,文中详细描述了该方法的改善步骤并展示了改善后的效果。通过FIB样品制备方法的优化和改善,实现了在不同情况下,针对特定的区域同时制备两个或多个TEM样品的目标,使得用TEM可同时完成对多个位置的观测,达到了提高TEM样品制备效率和产出量的目标。实践证明,对于45纳米以及更先进的半导体器件失效分析,使用优化后的样品制备方法,可以快速有效的制备出合格的TEM样品。 展开更多
关键词 透射电镜 样品制备 聚焦离子束 失效分析 效率提升
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超低噪声场效应晶体管参数退化失效分析 预览
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作者 胡明 《舰船电子对抗》 2017年第2期115-118,共4页
某型号超低噪声场效应管使用3-5年后,在气候潮热区域和时期会集中出现饱和漏电流、跨导减小的参数退化现象。首先对失效器件进行了电特性测试、热成像分析、聚焦离子束(FIB)分析、能谱分析,通过故障树法排除了过电应力、结温过高、芯... 某型号超低噪声场效应管使用3-5年后,在气候潮热区域和时期会集中出现饱和漏电流、跨导减小的参数退化现象。首先对失效器件进行了电特性测试、热成像分析、聚焦离子束(FIB)分析、能谱分析,通过故障树法排除了过电应力、结温过高、芯片自身缺陷等可能失效原因;其次结合失效场效应管钝化层薄、环氧胶封等工艺特点以及特殊的失效环境,通过推理假设,最终试验验证得出:低噪声场效应管在长时间高温高湿的环境下,水汽穿透场效应管的环氧胶粘合线进入管壳内部,在电场集中的漏极区域水汽发生电化学反应对芯片造成腐蚀,最终引起参数退化。 展开更多
关键词 超低噪声场效应管 聚焦离子束 能谱分析 环氧密封
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聚焦离子束制备透射电子显微镜样品的两种厚度判断方法 预览 被引量:1
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作者 时金安 张庆华 谷林 《电子显微学报》 CAS CSCD 2017年第1期18-23,共6页
透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提。本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、Sr Ti O3和La Al O3),并提出两种制样过程中快速判断... 透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提。本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、Sr Ti O3和La Al O3),并提出两种制样过程中快速判断厚度的方法。第一种通过扫描电子显微镜(SEM)的衬度变化经验地判断样品的厚度;第二种是用FIB在样品边缘切一个斜边,通过SEM测量斜边侧面的宽度用几何方法推断样品的厚度。这两种方法都通过会聚束电子衍射(CBED)和电子能量损失谱(EELS)测量的厚度作为检验标准。对比认为,样品较薄时用SEM衬度测厚比较合适;样品比较厚时用几何方法测量比较直接。 展开更多
关键词 聚焦离子束 透射电子显微镜样品 厚度 SEM衬度
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2keV镓离子轰击单晶硅基底碰撞过程的分子动力学模拟研究 预览
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作者 杨元瑞 柴青 《传感器世界》 2017年第3期7-10,共4页
阐述了聚焦离子束技术的原理,介绍了离子与固体相互作用的计算机模拟方法.结合Tersoff-ZBL势函数,运用分子动力学方法,模拟能量为2keV的单个镓离子轰击硅表面.通过分析计算基底原子的速度等信息,研究了离子在入射过程中基底的温度变化等... 阐述了聚焦离子束技术的原理,介绍了离子与固体相互作用的计算机模拟方法.结合Tersoff-ZBL势函数,运用分子动力学方法,模拟能量为2keV的单个镓离子轰击硅表面.通过分析计算基底原子的速度等信息,研究了离子在入射过程中基底的温度变化等.并研究了入射离子在与硅基底原子的级联碰撞过程中造成的晶格损伤.研究发现,离子在入射过程中,通过级联碰撞,将能量传递给基底原子,基底温度出现峰值;当入射离子最终将能量传递给周围原子后,入射离子最终注入到基底内部,并观测到了入射离子在基底中形成的非晶化区域.研究结果为聚焦离子束刻蚀硅的分子动力学模拟提供理论指导. 展开更多
关键词 聚焦离子束 分子动力学 单晶硅 级联碰撞 非晶化区域
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聚焦离子束(FIB)直写技术研究 预览
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作者 金乾进 柴青 《传感器世界》 2017年第3期12-15,共4页
简单介绍了聚焦离子束的工作原理,以及在微电子行业中的应用.具体讨论了聚焦离子束在制备纳米图形中的影响因素,包括不同的加工参数,如离子束电能量、离子束电流、驻留时间,以及不同的制备方法产生的各效应,包括再沉积、结构干涉再沉积... 简单介绍了聚焦离子束的工作原理,以及在微电子行业中的应用.具体讨论了聚焦离子束在制备纳米图形中的影响因素,包括不同的加工参数,如离子束电能量、离子束电流、驻留时间,以及不同的制备方法产生的各效应,包括再沉积、结构干涉再沉积,对结构形貌的影响,从而确定各参数在纳米图形制备过程中的应用.实验结果表明,离子束能量改变了入射离子去除材料的能力、离子束电流改变了制备图形(线、方)结构的深宽比,驻留时间的变化增加了刻蚀结构中再沉积效应. 展开更多
关键词 聚焦离子束 纳米图形制备 加工参数 结构
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