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脉冲激光沉积法制备La0.5Sr0.5CoO3薄膜及其结构和表面特性 预览 被引量:2
1
作者 刘建 李美亚 +2 位作者 官文杰 国世上 赵兴中 《武汉大学学报:理学版》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期 320-324,共5页
利用脉冲激光沉积法在(001)取向的LaAlO3(LAO)衬底上实现了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜的外延生长.主要研究了衬底温度(Ts),激光能量(El)和氧气压强(pO2)对薄膜结构和表面形貌的影响.X射线衍射结果显示在Ts=700~850 ℃的范围内沉积的L... 利用脉冲激光沉积法在(001)取向的LaAlO3(LAO)衬底上实现了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜的外延生长.主要研究了衬底温度(Ts),激光能量(El)和氧气压强(pO2)对薄膜结构和表面形貌的影响.X射线衍射结果显示在Ts=700~850 ℃的范围内沉积的LSCO薄膜都具有c轴取向.从扫描电子显微镜和原子力显微镜照片可以看出上述3个沉积参数中,氧压对LSCO薄膜表面形貌的影响最为显著,较低氧压下沉积的薄膜具有较光滑的表面.通过实验,确立了能够制备同时具有c轴取向和光滑表面的薄膜的最佳沉积参数范围. 展开更多
关键词 La0.5Sr0.5CoO3 外延生长 脉冲激光沉积 薄膜
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La0.5Sr0.5CoO3的化学溶液淀积法制备与表征及其应用 预览 被引量:1
2
作者 钟宇 王晓光 +2 位作者 林殷茵 黄维宁 汤庭鳌 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期 280-284,共5页
采用化学溶液淀积法制备了具有纯钙钛矿结构和良好导电性能的La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜.LSCO的电阻率随着退火温度的升高、退火时间的增长和厚度增加而减小.650 °C退火可以得到7 mΩ·cm的电阻率.分别在LSCO和Pt衬底上制备了Bi... 采用化学溶液淀积法制备了具有纯钙钛矿结构和良好导电性能的La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜.LSCO的电阻率随着退火温度的升高、退火时间的增长和厚度增加而减小.650 °C退火可以得到7 mΩ·cm的电阻率.分别在LSCO和Pt衬底上制备了Bi4Ti3O12(BTO)薄膜,分析结果表明,使用LSCO衬底对BTO的析晶有影响,击穿电压、铁电特性均有较大改善. 展开更多
关键词 镧锶钴氧 钛酸铋 化学溶液淀积 铁电薄膜
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含Ni-Nb阻挡层的硅基Pb(Zr0.4,Ti0.6)03电容器的制备及铁电性能研究 预览 被引量:1
3
作者 赵庆勋 齐晨光 +3 位作者 贾冬梅 付跃举 郭建新 刘保亭 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期282-285,共4页
采用Ni-Nb薄膜作为导电阻挡层,以‰.5Sr0.5C003(LSCO)为底电极,构建了LSCO/Pb(zr0.4,Ti0.6)03(PZT)/LSCO异质结电容器。使用X射线衍射仪和铁电测试仪对其进行结构表征和性能测试。实验发现:Ni-Nb薄膜为非晶结构,PZT薄膜... 采用Ni-Nb薄膜作为导电阻挡层,以‰.5Sr0.5C003(LSCO)为底电极,构建了LSCO/Pb(zr0.4,Ti0.6)03(PZT)/LSCO异质结电容器。使用X射线衍射仪和铁电测试仪对其进行结构表征和性能测试。实验发现:Ni-Nb薄膜为非晶结构,PZT薄膜结晶状况良好。LSC0/PZT/LSCO电容器在5V外加电压测试下,电滞回线具有良好的饱和趋势,剩余极化强度P,为35.5μC/cm2,矫顽电压K为1.42V,电容器具有良好的抗疲劳特性和保持特性。 展开更多
关键词 Ni-Nb阻挡层 Pb(Zr0.4 Ti0.6)O3 La0.5Sr0.5CoO3
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热处理温度对钙钛矿型复合氧化物La0.5Sr0.5CoO3薄膜晶体内Co-O键长的影响 预览
4
作者 王强 陈炜 《科技信息》 2011年第10期 I0204-I0205,共2页
本文采用离子束溅射法制备了钙钛矿型ABO3复合氧化物La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜,测试了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜的拉曼光谱,比较并解释热处理温度对LSCO晶体内Co-O键长的影响。同时用Gussian03量子化学软件从头计算了这种晶体的拉... 本文采用离子束溅射法制备了钙钛矿型ABO3复合氧化物La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜,测试了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜的拉曼光谱,比较并解释热处理温度对LSCO晶体内Co-O键长的影响。同时用Gussian03量子化学软件从头计算了这种晶体的拉曼光谱。实验和计算均表明LSCO的钴氧八面体的振动频率与其钴氧键长度密切相关,并给出了拉曼谱峰的振动频率与钴氧键长度之间的对应关系。 展开更多
关键词 La0.5Sr0.5CoO3 薄膜 RAMAN谱 Co-O键长
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铁电薄膜底电极La0.5Sr0.5CoO3的结构及电性能研究 预览
5
作者 李博 殷明志 蒋迪波 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第6期 976-978,共3页
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Si衬底上沉积一层La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜底电极,并在不同的退火温度下表征薄膜的各种性质。X线衍射表明在550~750℃退火温度下制备的LSCO薄膜呈(110)取向的钙钛矿结构;谢乐公式估算薄膜的晶粒尺寸... 采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Si衬底上沉积一层La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜底电极,并在不同的退火温度下表征薄膜的各种性质。X线衍射表明在550~750℃退火温度下制备的LSCO薄膜呈(110)取向的钙钛矿结构;谢乐公式估算薄膜的晶粒尺寸为25~50nm。扫描电子显微镜(SEM)观察结果显示:薄膜表面平整,结构致密。运用四探针法测量薄膜的体电阻,结果表明,750℃退火温度后渗氧处理可获得电阻率较低的La0.5Sr0.5CoO3薄膜。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜 底电极 结构性能
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喷涂条件与热处理对La0.5Sr0.5CoO3-δ涂层含氧量的影响 预览
6
作者 高敏 李长久 +1 位作者 李成新 范圣强 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期 115-119,共5页
采用火焰喷涂与等离子喷涂方法制备了La0.5Sr0.5CoO3-δ涂层,并在1 000℃热处理3 h,用碘滴定法测定了涂层热处理前、后的含氧量,研究了喷涂方法、制备条件及热处理对该阴极涂层含氧量的影响.结果表明:受喷涂过程中高温加热过程的影响,... 采用火焰喷涂与等离子喷涂方法制备了La0.5Sr0.5CoO3-δ涂层,并在1 000℃热处理3 h,用碘滴定法测定了涂层热处理前、后的含氧量,研究了喷涂方法、制备条件及热处理对该阴极涂层含氧量的影响.结果表明:受喷涂过程中高温加热过程的影响,原始涂层存在大量的氧空位,含氧量较低;等离子喷涂层的氧损失量显著高于火焰喷涂层.经热处理后,缺失的氧得到一定程度的回复,涂层含氧量增加.较高的氧空位浓度使喷涂态La0.5Sr0.5CoO3-δ涂层发生晶格畸变,从而使其发生从钙钛矿结构的立方晶向四方晶的转变,而热处理引起的氧回复则可使结构回复至立方晶. 展开更多
关键词 La0.5Sr0.5CoO3 等离子喷涂 火焰喷涂 含氧量 碘滴定法
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溶胶凝胶燃烧制备LSCO靶材的结构和电性能
7
作者 于军 赵远 +1 位作者 闻心怡 王耘波 《华中科技大学学报:自然科学版》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1-4,共4页
采用溶胶凝胶自燃烧法,选择不同的烧结温度和镧过量系数,制备出品质各异的La0.5Sr0.5CoO3靶材.分别使用X射线衍射仪(XRD)、环境扫描电子显微镜(ESEM)及四探针测试仪对靶材的成相品质、显微结构和电阻率进行表征.通过对比和分析,确... 采用溶胶凝胶自燃烧法,选择不同的烧结温度和镧过量系数,制备出品质各异的La0.5Sr0.5CoO3靶材.分别使用X射线衍射仪(XRD)、环境扫描电子显微镜(ESEM)及四探针测试仪对靶材的成相品质、显微结构和电阻率进行表征.通过对比和分析,确定出最佳工艺为:烧结温度1200℃,镧过量系数0.03.由此制备出物相集中、晶粒均匀且结合致密、杂相及孔洞缺陷少的优质La0.5Sr0.5CoO3靶材. 展开更多
关键词 La0.5Sr0.5CoO3(LSCO) 溶胶凝胶自燃烧 镧过量系数 靶材 电阻率
沉积温度对磁控溅射法制备La0.5Sr0.5CoO3薄膜微结构和导电性能的影响 预览 被引量:1
8
作者 付跃举 刘保亭 +1 位作者 郭颖楠 傅广生 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期18-21,共4页
采用射频磁控溅射法在(001)SrTiO3基片上制备了La0.5Sr0.5CoO3薄膜,研究了沉积温度对La0.5Sr0.5CoO3薄膜微结构和导电性能的影响。结果表明:沉积温度低于400℃时,薄膜以非晶状态存在,未发生外延生长,沉积温度为550℃和650℃... 采用射频磁控溅射法在(001)SrTiO3基片上制备了La0.5Sr0.5CoO3薄膜,研究了沉积温度对La0.5Sr0.5CoO3薄膜微结构和导电性能的影响。结果表明:沉积温度低于400℃时,薄膜以非晶状态存在,未发生外延生长,沉积温度为550℃和650℃时,薄膜在基片上实现了外延生长;随着沉积温度的升高薄膜表面粗糙度呈现规律性的变化;薄膜的电阻率随沉积温度的升高单调下降,650℃沉积薄膜的电阻率最小为1.63μΩ·cm。 展开更多
关键词 La0.5Sr0.5CoO3薄膜 射频磁控溅射 外延生长
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La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)晶体微结构振动形态的模拟计算 预览
9
作者 王强 丁铁柱 +3 位作者 王小晶 张利文 姜涛 张瑞芳 《稀土》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期 10-14,共5页
采用离子束溅射法制备了钙钛矿型复合氧化物La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜,测试了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜的拉曼光谱,采用Gaussian 03W量子化学软件从头计算了这种晶体的拉曼光谱。实验和计算均表明,钙钛矿晶体LSCO的基本结构单元为... 采用离子束溅射法制备了钙钛矿型复合氧化物La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜,测试了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)薄膜的拉曼光谱,采用Gaussian 03W量子化学软件从头计算了这种晶体的拉曼光谱。实验和计算均表明,钙钛矿晶体LSCO的基本结构单元为钴氧八面体,钴氧八面体的振动频率与其振动模式密切相关;并给出了拉曼谱峰的振动频率与振动方式之间的对应关系;通过改变Co-O键长值,对CoO6八面体振动方式和频率进行计算拟合,研究了热处理温度和衬底对晶胞化学键长度变化的影响。 展开更多
关键词 La0.5Sr0.5CoO3薄膜 RAMAN谱 Co-O键长
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不同衬底温度生长的La0.5Sr0.5CoO3薄膜椭圆偏振光谱研究 预览 被引量:1
10
作者 李文武 李亚巍 +2 位作者 胡志高 朱自强 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期 410-413,共4页
采用脉冲激光沉积法(PLD)在不同Si(100)衬底温度下制备了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)导电金属氧化物薄膜.X射线衍射(XRD)分析表明,随着衬底温度升高LSCO薄膜的结晶质量增加,在650℃和700℃下制备的薄膜是具有单一钙钛矿结构的多晶薄膜... 采用脉冲激光沉积法(PLD)在不同Si(100)衬底温度下制备了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)导电金属氧化物薄膜.X射线衍射(XRD)分析表明,随着衬底温度升高LSCO薄膜的结晶质量增加,在650℃和700℃下制备的薄膜是具有单一钙钛矿结构的多晶薄膜.通过椭圆偏振光谱仪测量了400~1100nm波长范围内该导电金属氧化物薄膜的光学性质,采用双Lorentz振子色散关系及三相结构模型(Air/LSCO/Si)拟合获得了薄膜的光学常数.结果表明,薄膜的折射率随着衬底温度的升高而减小,然而在可见-近红外波长范围内消光系数随着衬底温度的升高而增大.这主要与薄膜的晶化质量和导电性能有密切的关系. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积法 La0.5Sr0.5CoO3薄膜 椭偏光谱 光学常数
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温度对La0.5Sr0.5CoO3和Pr0.5Sr0.5CoO3薄膜载流子浓度的影响 预览
11
作者 姜涛 丁铁柱 +1 位作者 潮洛蒙 范文亮 《内蒙古大学学报:自然科学版》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期 628-631,共4页
采用离子束溅射法在LaAlO3(110)衬底上制备La0.5Sr0.5CoO3和Pr0.5Sr0.5CoO3钙钛矿薄膜,研究了载流子浓度、迁移率与温度的关系.结果表明:在375~667 K温度范围内,La0.5Sr0.5CoO3和Pr0.5Sr0.5CoO3薄膜的载流子浓度、迁移率随温度升高... 采用离子束溅射法在LaAlO3(110)衬底上制备La0.5Sr0.5CoO3和Pr0.5Sr0.5CoO3钙钛矿薄膜,研究了载流子浓度、迁移率与温度的关系.结果表明:在375~667 K温度范围内,La0.5Sr0.5CoO3和Pr0.5Sr0.5CoO3薄膜的载流子浓度、迁移率随温度升高而增大,La0.5Sr0.5CoO3和Pr0.5Sr0.5CoO3薄膜导电机制符合小极化子模型. 展开更多
关键词 La0.5Sr0.5CoO3和Pr0.5Sr0.5CoO3薄膜 载流子浓度 迁移率
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离子束溅射法制备La0.5Sr0.5CoO3薄膜的拉曼光谱分析 预览 被引量:3
12
作者 王强 丁铁柱 +1 位作者 张利文 姜涛 《稀土》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期 91-95,共5页
采用离子束溅射在氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)和铝酸镧(LaAlO3)上制备了La0.5Sr0.5CoO3的钙钛矿薄膜。利用拉曼光谱,研究了不同热处理温度和不同衬底对LSCO薄膜材料的晶体结构、分子振动模式和化学键的影响。研究发现La0.5Sr0.5CoO... 采用离子束溅射在氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)和铝酸镧(LaAlO3)上制备了La0.5Sr0.5CoO3的钙钛矿薄膜。利用拉曼光谱,研究了不同热处理温度和不同衬底对LSCO薄膜材料的晶体结构、分子振动模式和化学键的影响。研究发现La0.5Sr0.5CoO3钙钛矿薄膜的晶体结构随着热处理温度的升高发生明显的相变,由排列无规则态朝着正交晶系结构转变,Co-0键构成的八面体间的相对运动强度逐渐减弱。另外,还发现La0.5Sr0.5CoO3钙钛矿薄膜在衬底氧化锆(YSZ)上的Co-O键振动频率要小于在衬底铝酸镧(LaAlO3)上的振动频率,这与两者的晶格失配程度有关。 展开更多
关键词 离子束溅射 La0.5Sr0.5CoO3薄膜 拉曼光谱
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化学共沉淀法低温合成La0.5Sr0.5CoO3多晶 预览 被引量:4
13
作者 杨有利 伍光凤 +1 位作者 严磊 张鹏翔 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2007年第16期 16-18,共3页
分别以草酸铵和碳酸氢铵为沉淀剂,用化学共沉淀法制备了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)样品。用XRD分析了物相、结构与晶粒大小,用电阻-温度系统绘制了电阻-温度曲线。结果表明,1150℃烧结,用草酸铵和碳酸氢铵法制备的La0.5Sr0.5CoO3均为单一... 分别以草酸铵和碳酸氢铵为沉淀剂,用化学共沉淀法制备了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)样品。用XRD分析了物相、结构与晶粒大小,用电阻-温度系统绘制了电阻-温度曲线。结果表明,1150℃烧结,用草酸铵和碳酸氢铵法制备的La0.5Sr0.5CoO3均为单一立方钙钛矿多晶。晶体参数分别为0.384、0.383nm。晶粒垂直于(110)面的尺寸分别为37nm与32.8nm。草酸铵作沉淀剂的烧结温度比碳酸氢铵的低,比固相烧结反应法的低至少150℃。La0.5Sr0.5CoO3均为半导体,有良好的电阻-温度关系,190-280时两种沉淀剂法制备的LSCO的平均激活能分别是30、150eV。 展开更多
关键词 La0.5Sr0.5CoO3 化学共沉淀法 草酸铵 碳酸氢铵
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La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜的制备及其电学性能 预览
14
作者 张利文 丁铁柱 +1 位作者 王强 姜涛 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A02期 551-553,共3页
采用离子束溅射法在氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)和SiO2衬底上溅射<薄膜,测试了不同工艺制备的La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜样品的XRD谱和电导率。分析了薄膜表面微结构以及电学性能。结果表明:在YSZ衬底上生长的La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜随着... 采用离子束溅射法在氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)和SiO2衬底上溅射<薄膜,测试了不同工艺制备的La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜样品的XRD谱和电导率。分析了薄膜表面微结构以及电学性能。结果表明:在YSZ衬底上生长的La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜随着热处理温度的升高取向增强,当薄膜经过750℃热处理后结晶度最好;各样品直流电导率在低温段的Arrhenius曲线近似为直线,表明材料的导电行为符合小极化子导电机制;交流电导率在低频段(<100kHz)电导率主要是靠晶界导电贡献的,而在高频区(>100kHz),样品对交流电响应更加明显,电导率主要是靠晶粒导电贡献的。 展开更多
关键词 La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜 XRD 电导率
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BST/LSCO异质结构的研究 预览 被引量:1
15
作者 段珂瑜 秦文峰 +1 位作者 陶伯万 李言荣 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期 55-57,共3页
利用脉冲激光沉积法在STO(001)基片上外延生长了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)导电氧化物薄膜,研究了基片温度对LSCO薄膜结构和电性能的影响,并制备了Ni-Cr/BST/LSCO多层膜结构。XRD谱发现,沉积温度在450-700℃均能得到高度(001)取... 利用脉冲激光沉积法在STO(001)基片上外延生长了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)导电氧化物薄膜,研究了基片温度对LSCO薄膜结构和电性能的影响,并制备了Ni-Cr/BST/LSCO多层膜结构。XRD谱发现,沉积温度在450-700℃均能得到高度(001)取向的LSCO薄膜,LSCO(002)峰的半高峰宽FWHM=0.1°~0.2°;在LSCO薄膜上制备的BST介质膜具有良好的c轴取向和较高的表面平整度,其εr约为470,tgδ为0.036-0.060。 展开更多
关键词 无机非金属材料 La0.5Sr0.5CoO3 脉冲激光沉积法 外延生长 BST
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离子束溅射La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜的XRD和XPS研究 预览 被引量:6
16
作者 朱志强 丁铁柱 +2 位作者 张利文 王强 赵倩 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期 494-499,共6页
采用离子束溅射法在氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)和铝酸镧(LaAlO3)上溅射RE0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜,测试了薄膜的XRD、XPS谱、分析了表面微结构及化学状态。实验表明。随着热处理温度的升高。La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜在YSZ和LaAlO3上生... 采用离子束溅射法在氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)和铝酸镧(LaAlO3)上溅射RE0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜,测试了薄膜的XRD、XPS谱、分析了表面微结构及化学状态。实验表明。随着热处理温度的升高。La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜在YSZ和LaAlO3上生长时有取向增强的趋势,并且晶粒度增大,晶格氧减少。氧空位增加。氧输运性能提高。当热处理温度为750℃时薄膜结晶度最好,晶粒度最大,氧输运性能最好。 展开更多
关键词 离子束溅射 La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜 XRD谱 XPS谱
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La0.5Sr0.5CoO3多晶靶材的制备研究 预览 被引量:1
17
作者 宋丽贤 卢忠远 +1 位作者 张利胜 张鹏翔 《西南科技大学学报》 CAS 2006年第4期 16-19,41,共5页
为制备出纯度高、单一物相、致密的、符合后期PLD(Pulsed Laser Deposition)镀膜所用要求的LSCO (La0.5Sr0.5CoO3)靶材,对LSCO的制备方法及其过程进行了分析研究.采用半共沉淀法,LSCO前驱物经900 ℃预烧、研磨,可制得纯度高、物相单一的... 为制备出纯度高、单一物相、致密的、符合后期PLD(Pulsed Laser Deposition)镀膜所用要求的LSCO (La0.5Sr0.5CoO3)靶材,对LSCO的制备方法及其过程进行了分析研究.采用半共沉淀法,LSCO前驱物经900 ℃预烧、研磨,可制得纯度高、物相单一的LSCO粉体;用干压方法成型,在不同的温度下对其烧结,通过研究烧结体的XRD图谱、吸水率和密度并结合LSCO粉体的DSC-TG曲线,确定出制备LSCO多晶靶材的最佳烧结温度为1200~1250 ℃,比用固相法制备粉体的靶材烧结温度降低了100~150 ℃. 展开更多
关键词 LSCO(La0.5Sr0.5CoO3) 晶相 多晶靶材 PLD(Pulsed LASER Deposition)
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La0.5Sr0.5CoO3薄膜的制备及其湿敏性质的研究 预览 被引量:1
18
作者 王建禄 彭巨擘 +2 位作者 蔡毅 普朝光 张鹏翔 《昆明理工大学学报:理工版》 2006年第6期 22-24,共3页
利用脉冲激光沉积(PLD)的方法,在Si02/Si衬底成功制备了钙钛矿结构的La0.5Sr0.5CoO3薄膜.对制备的薄膜生长的薄膜进行了XRD测量分析,并且对薄膜的表面形貌进行了测量分析.着重对薄膜的电阻进行了测量,发现环境气氛对电阻的影... 利用脉冲激光沉积(PLD)的方法,在Si02/Si衬底成功制备了钙钛矿结构的La0.5Sr0.5CoO3薄膜.对制备的薄膜生长的薄膜进行了XRD测量分析,并且对薄膜的表面形貌进行了测量分析.着重对薄膜的电阻进行了测量,发现环境气氛对电阻的影响,进而对薄膜湿敏电阻进行了测量. 展开更多
关键词 脉冲激光溅射沉积 镧锶钴氧薄膜 湿敏电阻
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倾斜衬底上沉积的钙钛矿结构氧化物薄膜的电阻各向异性 预览 被引量:1
19
作者 李丽萍 普朝光 +1 位作者 白新志 张鹏翔 《云南冶金》 2004年第3期 42-45,共4页
用脉冲激光沉积法(PLD)分别在平的和倾角为10°、15°、20°的LaAlO3倾斜衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3薄膜和La0.67Ca0.33MnO3薄膜.用四探针法测量薄膜表面的电阻,发现平衬底上生长的薄膜没有电阻各向异性,而倾斜衬底上生长... 用脉冲激光沉积法(PLD)分别在平的和倾角为10°、15°、20°的LaAlO3倾斜衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3薄膜和La0.67Ca0.33MnO3薄膜.用四探针法测量薄膜表面的电阻,发现平衬底上生长的薄膜没有电阻各向异性,而倾斜衬底上生长的薄膜存在电阻各向异性现象,并且倾角越大,电阻各向异性越明显.这是由于倾斜衬底上薄膜的自组织结构造成的. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积法(PLD) La0.5Sr0.5CoO3薄膜 La0.67Ca0.33MnO3薄膜 电阻各向异性 自组织结构
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化学溶液法制备PbZr0.5Ti0.5O3/La0.5Sr0.5CoO3铁电多层薄膜的结构和光学性质研究 预览 被引量:1
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作者 王根水 胡志高 +5 位作者 石富文 孟祥建 孙璟兰 赵强 郭少令 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期 23-26,共4页
采用金属有机化学液相沉积法在Si衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)导电金属氧化物薄膜,采用溶胶-凝胶法在LSCO导电金属氧化物薄膜上沉积了PbZr0.5Ti0.5O3(PZT)铁电薄膜.X-射线测量结果表明在700℃的退火温度下制备的PZT/LSCO铁电多层... 采用金属有机化学液相沉积法在Si衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)导电金属氧化物薄膜,采用溶胶-凝胶法在LSCO导电金属氧化物薄膜上沉积了PbZr0.5Ti0.5O3(PZT)铁电薄膜.X-射线测量结果表明在700℃的退火温度下制备的PZT/LSCO铁电多层薄膜呈(110)取向的钙钛矿结构,谢乐公式估算铁电薄膜的晶粒尺寸为50~80nm.原子力显微镜观察结果显示:薄膜表面平整,均方根粗糙度(RMS)小于5nm.用拉曼光谱测量表明PZT薄膜呈拉曼活性.椭圆偏振光谱仪用来表征薄膜在400~1700nm波长范围的光学性质.用洛仑兹模型来描述PZT和LSCO薄膜的光学性质.获得PZT和LSCO薄膜的折射率、消光系数等光学常数谱. 展开更多
关键词 PbZr0.5Ti0.5O3/La0.5Sr0.5CoO3 结构 光学性质 化学溶液法 铁电多层薄膜 椭偏光谱 光学常数谱 锆钛酸铅
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