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面向高效单结GaInP太阳电池的介质复合纳米结构的仿真研究
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作者 王岩岩 王刘丽 +2 位作者 王洁 周炜曜 张瑞英 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期474-480,共7页
以实现宽谱减反介质复合纳米结构表面的高效单结GaInP太阳电池为目标,利用严格耦合波分析理论,仿真研究了该电池表面的介质复合纳米结构对太阳电池宽谱减反、归一化吸收、最大化理想效率的影响。该介质复合纳米结构从上往下依次为SiO2... 以实现宽谱减反介质复合纳米结构表面的高效单结GaInP太阳电池为目标,利用严格耦合波分析理论,仿真研究了该电池表面的介质复合纳米结构对太阳电池宽谱减反、归一化吸收、最大化理想效率的影响。该介质复合纳米结构从上往下依次为SiO2纳米锥、SiO2介质层和SiNx介质层,通过对SiO2纳米锥占空比、深宽比以及对SiO2和SiNx介质层厚度等参数的系列仿真最终优化出适用于单结GaInP电池的表面结构。结果表明:当SiO2纳米锥底部直径D=550 nm、高度H=650nm、SiNx介质层厚度为60 nm时电池具有最高的最大化理想转换效率为28.58%。上述结果为后期实验以及该类电池实现规模化生产奠定了基础。 展开更多
关键词 介质复合纳米结构 宽谱减反 RCWA GaInP电池
Fabrication of 3D biomimetic composite coating with broadband antireflection, superhydrophilicity, and double p-n heterojunctions
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作者 Gang Shi Xin Zhang +5 位作者 Jianhua Li Haiyan Zhu Ying Li Liping Zhang Caihua Ni Lifeng Chi 《纳米研究:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第7期2377-2385,共9页
传统的单个材料与二维(2D ) biomimetic 蛾眼睛结构被它的 narrowband antireflection 和单个功能的能力限制。克服这些劣势,我们利用了湿蚀刻,热水的合成为制作结合了化学氧化一三维(3D ) 有第三的材料的 biomimetic 蛾眼睛涂层(poly... 传统的单个材料与二维(2D ) biomimetic 蛾眼睛结构被它的 narrowband antireflection 和单个功能的能力限制。克服这些劣势,我们利用了湿蚀刻,热水的合成为制作结合了化学氧化一三维(3D ) 有第三的材料的 biomimetic 蛾眼睛涂层(polypyrrole nanoparticles, TiO <sub>2</sub> nanorods,和 Si micropyramids,即, PPy/TiO <sub>2</sub>/Si-p) 。这涂层把反射率归结为 <4% 在与低水从 200 ~ 2,300 nm 和展出显著 superhydrophilicity 的波长联系 1.8 的角度 展开更多
关键词 p-n异质结 复合涂层 宽带增透膜 仿生 制备 亲水性 3d TiO2
溶胶-凝胶法制备不同膜系结构的宽带减反膜(英文)
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作者 李晓光 王晓栋 沈军 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第S3期296-299,共4页
利用酸催化的二氧化钛溶胶、酸催化的二氧化硅溶胶以及碱催化的二氧化硅溶胶,基于λ/4-λ/2和λ/4-λ/4膜系结构制备了TiO2/SiO2和SiO2/SiO2两种双层宽带减反膜。TiO2/SiO2减反膜具有M型透射光谱,在400800 nm波段内实现了良好的宽带增... 利用酸催化的二氧化钛溶胶、酸催化的二氧化硅溶胶以及碱催化的二氧化硅溶胶,基于λ/4-λ/2和λ/4-λ/4膜系结构制备了TiO2/SiO2和SiO2/SiO2两种双层宽带减反膜。TiO2/SiO2减反膜具有M型透射光谱,在400800 nm波段内实现了良好的宽带增透效果,适用于太阳能电池板表面玻璃的减反射需求:此增透膜还具备优异的耐刮擦性和光学稳定性,基本满足户外使用的要求。TiO2/SiO2减反膜具有平滑的透射光谱,相500850 nm波段具有超过99.5%的平均透过率:经氨气氛热处理及三甲基氯硅烷化学修饰后,此增透膜具有良好的疏水性和耐刮擦性,基本满足强激光系统中氙灯挡板玻璃的使用需求。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 宽带减反膜 太阳能电池 强激光系统
锥型亚波长光栅在薄膜晶硅电池中的吸收增强效应分析
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作者 邵彪 张瑞英 +3 位作者 赵春雨 董建荣 杨辉 张金仓 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2012年第4期 167-172,共6页
基于严格耦合波理论,从反射率、吸收增强因子、光生载流子几率和理想光电转换效率几个方面模拟分析了不同锥型亚波长光栅对1μm厚晶硅电池产生的影响。模拟结果得出:在相同光栅高度下,虽然小周期(P=100nm)锥形亚波长光栅的表面反射... 基于严格耦合波理论,从反射率、吸收增强因子、光生载流子几率和理想光电转换效率几个方面模拟分析了不同锥型亚波长光栅对1μm厚晶硅电池产生的影响。模拟结果得出:在相同光栅高度下,虽然小周期(P=100nm)锥形亚波长光栅的表面反射率低于大周期(P=500nm)结构的表面反射率,但是大周期锥形亚波长光栅薄膜晶硅电池的光生载流子几率和理想光电转换效率高于小周期结构的相应值,且这种区别随着光栅高度增加而增加。在AM1.5D太阳光谱下,最优化的大周期光栅使得薄膜晶硅电池光生载流子几率和理想效率增加1.4倍和1.65倍,而最优化的小周期光栅只能分别增加0.54倍和0.48倍。 展开更多
关键词 光电子学 吸收增强 严格耦合波理论 太阳电池 宽谱减反
Fabrication and Optical Properties of Silicon Nanowires Arrays by Electroless Ag-catalyzed Etching
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作者 Jie Tang Jianwei Shi +1 位作者 Lili Zhou Zhongquan Ma 《纳微快报:英文版》 CAS 2011年第2期129-134,共6页
In order to realize ultralow surface reflectance and broadband antireflection effects which common pyramidal textures and antireflection coatings can’t achieve in photovoltaic industry,we used low-cost and easy-made ... In order to realize ultralow surface reflectance and broadband antireflection effects which common pyramidal textures and antireflection coatings can’t achieve in photovoltaic industry,we used low-cost and easy-made Ag-catalyzed etching techniques to synthesize silicon nanowires(Si NWs) arrays on the substrate of single-crystalline silicon.The dense vertically-aligned Si NWs arrays are fabricated by local oxidation and selective dissolution of Si in etching solution containing Ag catalyst.The Si NWs arrays with 3 μm in depth make reflectance reduce to less than 3% in the range of 400 to 1000 nm while reflectance gradually reached the optimum value with the increasing of etching time.The antireflection of Si NWs arrays are based on indexgraded mechanism:Si NWs arrays on a subwavelength scale strongly scatter incident light and have graded refractive index that enhance the incidence of light in usable wavelength range.However,surface recombination of Si NWs arrays are deteriorated due to numerous dangling bonds and residual Ag particles. 展开更多
Broadband antireflection coatings deposited by magnetron sputtering
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作者 Wang, ML Gong, H Fan, ZX 《中国科学通报:英文版》 SCIE 1997年第19期1612-1615,共4页
IN 1938, antireflection coatings were prepared by Americans. Later, they were successfullygot by Europeans. The antireflection coatings are very important in optical films, and used inmost optical instruments such a... IN 1938, antireflection coatings were prepared by Americans. Later, they were successfullygot by Europeans. The antireflection coatings are very important in optical films, and used inmost optical instruments such as photograph eyes, glasses, telescopes and microscopes. Atpresent, the technology of preparing antireflection is perfect. Especially, with the help ofcomputer, multi-antireflection coating can be constructed easily. Resistance heating and 展开更多
关键词 MAGNETRON SPUTTERING BROADBAND ANTIREFLECTION deposition.
用于高功率激光放大器的单层宽谱增透膜 预览 被引量:2
7
作者 吕海兵 赵松楠 +2 位作者 严鸿维 王韬 晏良宏 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期38-41,共4页
为了获得用于高功率激光放大器的单层宽带增透膜,采用有机聚合物聚乙烯吡咯烷酮掺杂调控二氧化硅胶体生长制备了粒度分布更宽广的稳定胶体体系,通过提拉镀膜工艺,制备了单层增透膜. 采用粒度仪和粘度仪监测胶体的性质,用分光光度计测量... 为了获得用于高功率激光放大器的单层宽带增透膜,采用有机聚合物聚乙烯吡咯烷酮掺杂调控二氧化硅胶体生长制备了粒度分布更宽广的稳定胶体体系,通过提拉镀膜工艺,制备了单层增透膜. 采用粒度仪和粘度仪监测胶体的性质,用分光光度计测量了膜层透过率,并用X射线能谱分析了膜层结构. 结果表明,聚乙烯吡咯烷酮引入胶体中使得胶体粒度分布更宽,所得膜层具有折射率渐变特性,因而膜层具有宽带增透的效果;膜层在550nm~950nm连续波段内透射率不低于99%. 单层宽谱增透膜层不需后处理就可投入使用,膜层性能稳定,满足了激光装置片状放大器的运行要求. 展开更多
关键词 薄膜 二氧化硅 宽谱增透膜 放大器 高功率激光器
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红外增透膜研究 预览
8
作者 孙可祥 杨伟声 《云光技术》 2014年第2期6-18,共13页
在8~12μm红外范围内Ge基底上设计和制备的一面宽带减反膜和一面介质+DLC膜。薄膜材料Ge、ZnS和YF3由电子束沉积法制得,DLC膜由PEVCD制得。阐述了利用非均匀膜理论设计红外减反射薄膜的方法,所设计的红外减反射膜膜系优化结果较为... 在8~12μm红外范围内Ge基底上设计和制备的一面宽带减反膜和一面介质+DLC膜。薄膜材料Ge、ZnS和YF3由电子束沉积法制得,DLC膜由PEVCD制得。阐述了利用非均匀膜理论设计红外减反射薄膜的方法,所设计的红外减反射膜膜系优化结果较为理想。经过研究分析我们选择了氟化钇来进行此项研究并加以RF源(射频源)辅助镀膜,并用计算机修正来矫正真空镀膜法生产宽带增透膜时实验值与理论值存在的偏差。取得了良好的效果。用沈科仪镀膜机采用PECVD镀制DLC膜方面的也有很好的效果。 展开更多
关键词 红外增透膜 电子束沉积法 DLC膜 非均匀膜系
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可见与近红外宽带减反膜的研制 被引量:12
9
作者 付秀华 孙英杰 +2 位作者 刘冬梅 张静 林晶 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期332-336,共5页
为满足现代军用综合性光学仪器一机多用的要求,研制了500~1200nm波段宽带减反膜。采用混合H4、SiO2和MgF2三种材料制备宽带减反膜。通过实验分析了误差产生的原因,并借助膜系设计软件,对结果采用变尺度法进行模拟优化,最后在制备... 为满足现代军用综合性光学仪器一机多用的要求,研制了500~1200nm波段宽带减反膜。采用混合H4、SiO2和MgF2三种材料制备宽带减反膜。通过实验分析了误差产生的原因,并借助膜系设计软件,对结果采用变尺度法进行模拟优化,最后在制备过程中通过改变每层的修正系数,解决了厚度误差对光谱特性的影响,最终用国产真空镀膜机制备了超宽带减反膜,在500~1200nm波段反射率平均小于0.5%。 展开更多
关键词 薄膜 宽带减反膜 光学常数 修正系数
膜厚对导电氧化锌宽带抗反射涂层的太赫兹传输影响 被引量:1
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作者 罗胜耘 沈杰 +1 位作者 马国宏 李栋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期717-721,共5页
利用直流磁控溅射方法,在石英基底上制备了可用于太赫兹电磁波频率范围内的宽带抗反射涂层的掺铝氧化锌导电薄膜。在太赫兹时域光谱频率0.1~1.0THz范围内研究不同厚度的氧化锌薄膜的介电响应,得到了与频率相关的电导率、吸收和薄膜折射... 利用直流磁控溅射方法,在石英基底上制备了可用于太赫兹电磁波频率范围内的宽带抗反射涂层的掺铝氧化锌导电薄膜。在太赫兹时域光谱频率0.1~1.0THz范围内研究不同厚度的氧化锌薄膜的介电响应,得到了与频率相关的电导率、吸收和薄膜折射率,着重研究了膜厚对太赫兹波传输特性的调制作用。实验结果很好地符合了经典的Drude模型,表明可以通过控制氧化锌薄膜的厚度来改变太赫兹波的传输特性,并且导电氧化锌薄膜能够作为太赫兹频段范围的宽带抗反射涂层应用于衬底和光学器件上。 展开更多
关键词 太赫兹时域光谱 导电氧化锌膜 宽带抗反射 薄膜厚度
基于时间控厚离子束溅射技术的宽带减反膜制备 预览 被引量:1
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作者 刘华松 王占山 +7 位作者 季一勤 沈正祥 马彬 程鑫彬 焦宏飞 陈德应 刘丹丹 宋洪君 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期 407-411,共5页
为了制备满足设计要求的宽角度、宽波段减反膜,利用离子束溅射沉积技术,在时间-功率控厚的模式下,对膜层沉积速率进行了精确修正。在实验中,利用时间-功率控厚的离子束溅射沉积技术,选择HfO2和SiO2作为高低折射率组合,在超抛ZF6玻璃基... 为了制备满足设计要求的宽角度、宽波段减反膜,利用离子束溅射沉积技术,在时间-功率控厚的模式下,对膜层沉积速率进行了精确修正。在实验中,利用时间-功率控厚的离子束溅射沉积技术,选择HfO2和SiO2作为高低折射率组合,在超抛ZF6玻璃基底上制备了宽角度、宽带减反膜,通过对实验后的透过率光谱曲线的数值反演计算,获得膜层厚度修正系数,初步得到了沉积速率随沉积时间变化的规律。利用修正后的沉积参数制备设计的膜系,在0°-30°入射角度下,600-1 200 nm波段的平均透过率达到99%以上。 展开更多
关键词 宽带减反膜 离子束溅射 时间-功率控厚 膜层厚度修正
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锗窗口红外宽光谱增透膜的研制 被引量:5
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作者 于天燕 成效春 +2 位作者 秦杨 刘定权 张凤山 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期1197-1200,共4页
红外宽光谱增透膜作为红外光学系统中的关键元件,其研究是一项比较复杂而备受重视的工作。针对风云二号辐射计锗窗口的宽光谱增透膜的要求,通过对镀膜材料在既定工艺条件下的光学参数的准确拟合,采用非对称等效层理论,并将材料光学参数... 红外宽光谱增透膜作为红外光学系统中的关键元件,其研究是一项比较复杂而备受重视的工作。针对风云二号辐射计锗窗口的宽光谱增透膜的要求,通过对镀膜材料在既定工艺条件下的光学参数的准确拟合,采用非对称等效层理论,并将材料光学参数拟合值代入到膜系的优化过程中,从而得到能够与实际情况接近的理论设计膜系。经过工艺优化后,研制出的宽光谱增透膜在要求的3.5~4.0μm,6.3~7.6μm,10.3~11.3μm三个通道的平均透射率均大于96%,而11.5~12.5μm通道的平均透射率大于94%。膜层能够经受住浸泡、高温高湿等一系列环模试验的检验,完全满足项目的使用要求。 展开更多
关键词 薄膜 红外光学薄膜 宽光谱增透膜 非对称等效层 光学参数
Graded index broadband antireflection coating prepared by glancing angle deposition for a high-power laser system
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作者 孔伟金 沈自才 +3 位作者 王淑华 邵建达 范正修 卢朝靖 《中国物理B:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第4期304-308,共5页
This paper reports that SiO2 is selected to fabricate broadband antireflection(AR) coatings on fused silica substrate by using glancing angle deposition and physical vapour deposition.Through accurate control of the g... This paper reports that SiO2 is selected to fabricate broadband antireflection(AR) coatings on fused silica substrate by using glancing angle deposition and physical vapour deposition.Through accurate control of the graded index of the SiO 2 layer,transmittance of the graded broadband AR coating can achieve an average value of 98% across a spectral range of 300-1850 nm.Moreover,a laser-induced damage threshold measurement of the fabricated AR coating is performed by using a one-on-one protocol according to ISO11254-1,resulting in an average damage threshold of 17.2 J/cm2. 展开更多
关键词 物理气相沉积 宽带增透膜 梯度折射率 高功率激光系统 涂层 二氧化硅层 制备 平均价值
SrF2-CaF2混合物薄膜的物理及红外光学特性研究
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作者 于天燕 秦杨 +1 位作者 刘定权 张凤山 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期2546-2550,共5页
采用热蒸发和电子束蒸发两种沉积方式分别沉积了相同厚度的SrF2-CaF2(比例为1∶1)的混合物薄膜,对其物理和光学特性进行了研究,并定量地给出了其在红外波段的光学常数,填补了这一数据的空白.同时提供了一种获得不同低折射率薄膜的方法... 采用热蒸发和电子束蒸发两种沉积方式分别沉积了相同厚度的SrF2-CaF2(比例为1∶1)的混合物薄膜,对其物理和光学特性进行了研究,并定量地给出了其在红外波段的光学常数,填补了这一数据的空白.同时提供了一种获得不同低折射率薄膜的方法.文中还以该比例的混合物作为低折射率材料,研制出具有很好的光学性能的长波红外宽光谱增透膜. 展开更多
关键词 SrF2-CaF2混合物薄膜 表面形貌 红外光学特性 宽光谱增透膜
掺钼ZnO透明导电薄膜的太赫兹电磁波传输性质 被引量:2
15
作者 吴臣国 沈杰 +1 位作者 李栋 马国宏 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期8623-8629,共7页
采用直流磁控反应溅射方法,通过调节氧分压在玻璃基底上制备了不同载流子浓度的掺Mo的ZnO(ZMO)透明导电薄膜.应用太赫兹电磁波时域光谱技术研究了ZMO导电膜的太赫兹电磁波透射性质及介电响应,得到了与频率相关的电导率、能量吸收和薄... 采用直流磁控反应溅射方法,通过调节氧分压在玻璃基底上制备了不同载流子浓度的掺Mo的ZnO(ZMO)透明导电薄膜.应用太赫兹电磁波时域光谱技术研究了ZMO导电膜的太赫兹电磁波透射性质及介电响应,得到了与频率相关的电导率、能量吸收和薄膜折射率,实验结果与经典Drude模型相符很好.ZMO导电膜的太赫兹电磁波脉冲透射性质表明,通过调节ZMO薄膜的载流子浓度,该导电膜可作为应用于衬底和光学器件等太赫兹电磁波频率范围的宽带抗反射涂层. 展开更多
关键词 太赫兹电磁波光谱 薄膜电导率 宽带抗反射 透明导电薄膜
纳米多孔玻璃制备及其全向减反性能 被引量:2
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作者 康立升 唐振方 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期873-876,868共5页
相比于传统真空减反射镀膜技术对于样品的形状及大小的高要求和其自身工艺的复杂性,本实验对高温退火后的可分相玻璃采用酸液沥滤法实现玻璃的全向减反性能,方法简便易行,成本低廉,且可实现大规模批量生产。实验结果表明,经酸液沥... 相比于传统真空减反射镀膜技术对于样品的形状及大小的高要求和其自身工艺的复杂性,本实验对高温退火后的可分相玻璃采用酸液沥滤法实现玻璃的全向减反性能,方法简便易行,成本低廉,且可实现大规模批量生产。实验结果表明,经酸液沥滤处理后的玻璃上下表面可形成结实的纳米多孔SiO2薄膜,孔径大小为20~40nm,薄膜深度为120~150nm,透过率在不同波长上可提高4.0~7.O%,当光线入射角变化范围为O°~30°时,玻璃的反射率基本保持在1.0%~4.0%,全向减反性能优越。 展开更多
关键词 纳米多孔玻璃 全向减反 沥滤 折射率渐变
具有超亲水光催化性能的λ/4-λ/2型两层宽频增透膜的制备和性能研究 预览
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作者 李远洋 江波 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期159-163,I0001共6页
以多孔SiO2/TiO2复合膜为膜层材料,采用溶胶–凝胶法制备得到λ/4-λ/2型无峰两层宽频增透膜,此工艺制备过程简,单且对膜层折射率要求较低,镀制两层膜的K9基片在500~700 nm波段维持较高的透过率,在此区间透过率平均值为99.4%,在可见光区... 以多孔SiO2/TiO2复合膜为膜层材料,采用溶胶–凝胶法制备得到λ/4-λ/2型无峰两层宽频增透膜,此工艺制备过程简,单且对膜层折射率要求较低,镀制两层膜的K9基片在500~700 nm波段维持较高的透过率,在此区间透过率平均值为99.4%,在可见光区400~800 nm的平均透过率为99.0%。两层膜表现出优异的超亲水性能,在无需紫外光照的条件下,其在0.5 s的水接触角仅为2.2°,且超亲水性能能够维持超过20 d。同时,两层膜表现出一定的光催化降解有机污染物的能力。 展开更多
关键词 宽频增透膜 超亲水 光催化 二氧化硅 二氧化钛
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隔板玻璃表面宽光谱增透膜的制备与性能 预览
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作者 贾巧英 唐永兴 乐月琴 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A01期 314-317,共4页
利用溶胶-凝胶提拉方法在隔板玻璃表面涂制得到由TiO2与SiO2组成的λ/2-λ/4型宽光谱增透膜。通过溶胶粘度、凝胶时间及红外光谱等研究了TiO2涂膜溶胶的稳定性与相应膜层性能,测试了双层增透膜的透过率、抗高能氙灯辐照性能及使用性能... 利用溶胶-凝胶提拉方法在隔板玻璃表面涂制得到由TiO2与SiO2组成的λ/2-λ/4型宽光谱增透膜。通过溶胶粘度、凝胶时间及红外光谱等研究了TiO2涂膜溶胶的稳定性与相应膜层性能,测试了双层增透膜的透过率、抗高能氙灯辐照性能及使用性能等。结果表明,控制合适的原料配比、降低薄膜烘烤升温速率,可得到适于大面积涂膜的稳定TiO2溶胶,有效改善TiO2膜层质量;隔板玻璃表面增透膜在450-900nm光谱范围内平均透过率高达约98%,使“神光-Ⅱ”第九路主放大器的实际增益提高5.5%-6.5%且具有良好的抗高能氙灯辐照性能。 展开更多
关键词 宽光谱增透膜 隔板玻璃 大面积 溶胶-凝胶
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溶胶—凝胶法制备耐磨宽带SiO2/TiO2增透膜 被引量:15
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作者 贾巧英 乐月琴 +1 位作者 唐永兴 姜中宏 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期65-69,共5页
以钛酸正丁酯[Ti(OBu)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,采用溶胶—凝胶(sol—gel)提拉方法在K9光学玻璃基片上镀制得高透过的λ/4~λ/2型宽带增透膜。该增透膜的表面均匀性良好,均方根粗糙度(RMS)为1.201,平均粗糙度(RA)为0.934,具... 以钛酸正丁酯[Ti(OBu)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,采用溶胶—凝胶(sol—gel)提拉方法在K9光学玻璃基片上镀制得高透过的λ/4~λ/2型宽带增透膜。该增透膜的表面均匀性良好,均方根粗糙度(RMS)为1.201,平均粗糙度(RA)为0.934,具有一定的耐擦除性。经200℃热处理,膜层中的OH吸收峰已基本消失,在400~700nm光谱范围的透过率比基片的平均透过率提高6.6%。为实现大面积涂覆“神光”装置主放大器的防爆隔板玻璃,大幅度提高主放大器的抽运效率奠定基础。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 二氧化硅 二氧化钛 薄膜物理学 宽带增透膜 均方根粗糙度 热处理 透过率 抽运效率
高功率激光宽光谱减反膜的溶胶—凝胶旋转法制备工艺 预览 被引量:3
20
作者 魏芸 吕海兵 +3 位作者 蒋晓东 唐灿 任寰 李珂 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期 647-650,共4页
采用溶胶-凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅-SiO2双层减反膜.考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺.透射光谱... 采用溶胶-凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅-SiO2双层减反膜.考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺.透射光谱测量表明,采用本文工艺条件制备的有机硅-SiO2双层膜在430~800nm范围内透射率达99%以上. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 高功率激光 宽光谱减反膜 制备工艺 SIO2 二氧化硅 旋转镀膜工艺 有机硅薄膜
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