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基于无线数据传输的医用柔性压力传感器系统的设计 预览
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作者 黄晗 杨蓊勃 +3 位作者 徐健 程雄 郭艺喆 顾文华 《电子设计工程》 2019年第16期57-60,65共5页
为了实现医院对于病房里病人身体某些部位压力信息的实时无线监测,本文针对外科的一种常见病症骨筋膜室综合征,结合柔性电子、无线数据传输以及云平台等技术,设计了一种医用柔性压力传感器系统用于该病症的辅助监测。该系统的柔性压力... 为了实现医院对于病房里病人身体某些部位压力信息的实时无线监测,本文针对外科的一种常见病症骨筋膜室综合征,结合柔性电子、无线数据传输以及云平台等技术,设计了一种医用柔性压力传感器系统用于该病症的辅助监测。该系统的柔性压力传感器部分除芯片等少数器件是刚性外,其余部分均采用柔性材料制备,物理尺寸仅为55mm*35mm,柔性便携可穿戴,并且能够在室内65m的范围内实现多个设备的压力数据无线传输。为了验证本设计的可行性,本文设计了一种骨筋膜室综合征的模型实验,实验结果表明该系统能够实时无创监测骨筋膜室综合征。 展开更多
关键词 柔性电子 无线通信 压力传感器 骨筋膜室综合征
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基于PDMS海绵介质层的电容式柔性压力传感器 预览
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作者 陈瞳 王瑞荣 李晓红 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期528-531,共4页
柔性压力传感器以其低成本和大的检测范围等优势广泛的应用于电子皮肤和可穿戴传感器领域。本文通过在PDMS中填充碳酸氢铵材料,制备了大面积高密度具有微观结构的PDMS海绵介质层,通过简易的方法完成了柔性压力传感器的制备。与以往的柔... 柔性压力传感器以其低成本和大的检测范围等优势广泛的应用于电子皮肤和可穿戴传感器领域。本文通过在PDMS中填充碳酸氢铵材料,制备了大面积高密度具有微观结构的PDMS海绵介质层,通过简易的方法完成了柔性压力传感器的制备。与以往的柔性压力传感器相比,制备的PDMS海绵介质层由于气孔的存在更容易在受到压力时发生形变,拥有高的灵敏度(0.23 kPa^-1 )、大的检测范围(0~50 kPa)、稳定的重复性(>1 000循环)以及快的响应时间(<150 ms)。通过对不同厚度、不同大小的PDMS海绵介质层进行测试,利用厚度为1.5 mm,大小为8 mm×8 mm的PDMS海绵作为压力传感器的介质层实现了力的实时检测。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 PDMS海绵 电容式 灵敏度 电子皮肤
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基于多孔PDMS薄膜介电层的柔性压力传感器 预览
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作者 李玲 岳凤英 +2 位作者 乔霖 申恒瑞 索艳春 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第4期15-19,共5页
提出一种基于多孔弹性体薄膜介电层的电容式压力传感器。该多孔弹性体薄膜是由液体相位分离原理制作而成。首先将去离子水与聚二甲基硅氧烷(PDMS)以一定比例均匀混合,随后将溶剂蒸发后形成多孔复合弹性薄膜。以ITO为电极材料,PET为柔性... 提出一种基于多孔弹性体薄膜介电层的电容式压力传感器。该多孔弹性体薄膜是由液体相位分离原理制作而成。首先将去离子水与聚二甲基硅氧烷(PDMS)以一定比例均匀混合,随后将溶剂蒸发后形成多孔复合弹性薄膜。以ITO为电极材料,PET为柔性基底,多孔弹性体薄膜为介电层,将两电极面对面层压封装,得到电容式柔性压力传感器。由于均匀孔结构的存在,薄膜介电层在压力作用下能发生较大形变。研究结果表明,基于多孔薄膜介电层的压力传感器的灵度为0.58kPa-1,具有良好的稳定性和重复性;传感器阵列能够准确地检测表面压力分布。制作的柔性压力传感器具有高灵敏度、低成本的特点,可用于人机交互界面、电子皮肤传感和细微压力变化监控等方面。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 PDMS 多孔薄膜 电子皮肤
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基于石墨烯/PDMS介质层的柔性压力传感器 预览
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作者 王瑞荣 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2019年第8期72-75,81共5页
提出了一种以石墨烯/PDMS为介质层的柔性压力传感器,主要介绍了石墨烯/PDMS介质层和柔性压力传感器的制备方法,研究了石墨烯浓度和石墨烯/PDMS介质层厚度对传感器灵敏度的影响.利用压力机和阻抗分析仪对柔性压力传感器进行了测试,结果... 提出了一种以石墨烯/PDMS为介质层的柔性压力传感器,主要介绍了石墨烯/PDMS介质层和柔性压力传感器的制备方法,研究了石墨烯浓度和石墨烯/PDMS介质层厚度对传感器灵敏度的影响.利用压力机和阻抗分析仪对柔性压力传感器进行了测试,结果表明柔性压力传感器有大的工作范围(0~20 kPa)和高的灵敏度(在0~3 kPa的灵敏度为0.3 kPa^-1,3~8 kPa的灵敏度为0.06 kPa^-1,8~20 kPa的灵敏度为0.017 kPa^-1);同时传感器的可恢复性和重复性能良好,可灵敏地检测手指的弯曲,在机器人皮肤和智能穿戴领域有着广阔的应用前景. 展开更多
关键词 柔性压力传感器 石墨烯/PDMS 电容式 MEMS 灵敏度
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纳米纤维膜基柔性压力传感器的优化设计制备 预览
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作者 王杰 周茗玮 +1 位作者 汪滨 李秀艳 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期32-37,共6页
为获得一种灵敏度高、制备工艺简单、轻薄透气的柔性压力传感器,采用静电纺丝热塑性弹性体聚氨酯(TPU)纳米纤维膜为基底和介电层,以碳纳米管导电油墨为电极涂料,通过超声波焊接方式制备三明治结构的纳米纤维膜基柔性压力传感器,并研究... 为获得一种灵敏度高、制备工艺简单、轻薄透气的柔性压力传感器,采用静电纺丝热塑性弹性体聚氨酯(TPU)纳米纤维膜为基底和介电层,以碳纳米管导电油墨为电极涂料,通过超声波焊接方式制备三明治结构的纳米纤维膜基柔性压力传感器,并研究其压力传感性能与纳米纤维膜厚度和微观结构之间的关系。结果表明:随着纺丝时间增加,TPU纳米纤维膜厚度增加,拉伸应力增大,断裂伸长率减小;在9.8~49000 Pa压力范围内,TPU纳米纤维膜基柔性压力传感器灵敏度随纺丝时间增加而减小,当纺丝时间为1 h时,其灵敏度高达4.97 kPa^-1,该纳米纤维膜基柔性压力传感器具有灵敏度高、响应范围广的特点。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 纳米纤维膜 静电纺丝 热塑性弹性体 聚氨酯
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基于黑磷烯/氧化石墨烯双介质层的柔性电容式压力传感器 预览
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作者 聂萌 郭安琪 +1 位作者 陈佳琦 徐峰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期481-484,共4页
设计并制备了由黑磷烯/氧化石墨烯双层材料为介质层的电容式柔性压力传感器,该传感器结构以ITO为电容上下极板,PET为柔性基底,并对该传感器进行了系统的性能测试与分析。着重研究了该传感器在不同压力量程内的灵敏度,进而分析了其温度... 设计并制备了由黑磷烯/氧化石墨烯双层材料为介质层的电容式柔性压力传感器,该传感器结构以ITO为电容上下极板,PET为柔性基底,并对该传感器进行了系统的性能测试与分析。着重研究了该传感器在不同压力量程内的灵敏度,进而分析了其温度漂移特性。测试结果表明,以黑磷烯/氧化石墨烯薄膜为双介质层的电容式柔性压力传感器在0~3.12 kPa压力量程内灵敏度可达到1.60 kPa -1 。同时,对该传感器和以氧化石墨烯薄膜为单介质层的传感器进行了弯曲应变性能的对照实验,可知具有双介质层的传感器结构能够显著提高传感器的输出特性。 展开更多
关键词 柔性 电容式压力传感器 黑磷烯 氧化石墨烯 灵敏度
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基于C-PDMS介质层的柔性电容式传感器研究 预览
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作者 杜青 李刚 +3 位作者 胡杰 李朋伟 桑胜波 张文栋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第2期1-3,8共4页
为了提高电容式传感器的灵敏度,设计了一种“三明治”结构的电容式压力传感器,其以柔性材料聚二甲基硅氧烷与导电颗粒乙炔黑的混合物为介质层,以溅射在聚对苯二甲酸乙二酯上金属氧化铟锡的导电膜作上下层电极。利用渗流理论,研究乙炔黑... 为了提高电容式传感器的灵敏度,设计了一种“三明治”结构的电容式压力传感器,其以柔性材料聚二甲基硅氧烷与导电颗粒乙炔黑的混合物为介质层,以溅射在聚对苯二甲酸乙二酯上金属氧化铟锡的导电膜作上下层电极。利用渗流理论,研究乙炔黑对基于PDMS薄膜的电容式压力传感器的灵敏度、动态响应及响应速率的影响。实验结果表明:在8kPa压强范围内混合2.5wt%乙炔黑的C-PDMS复合物薄膜的灵敏度为0.7kPa-1,动态响应时间小于180ms,在100次弯折后灵敏度几乎保持不变,有良好的稳定性。 展开更多
关键词 柔性 电容式 压力传感器 聚二甲基硅氧烷 乙炔黑
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基于Ag/CNTs-PDMS的高灵敏度柔性压力传感器研制及性能测试 预览
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作者 赵秀华 徐伟 +1 位作者 易旺民 彭倚天 《航天器环境工程》 2019年第3期271-277,共7页
智能传感的应用对柔性压力传感器的需求量和性能提出了更高的要求,因此,需要开发一种简单、廉价、可批量化的方法实现大范围、高灵敏压力传感器的制造。文章基于压阻效应,采用浸渍-干燥法制备了一种基于镀银碳纳米管-聚二甲基硅氧烷(Ag/... 智能传感的应用对柔性压力传感器的需求量和性能提出了更高的要求,因此,需要开发一种简单、廉价、可批量化的方法实现大范围、高灵敏压力传感器的制造。文章基于压阻效应,采用浸渍-干燥法制备了一种基于镀银碳纳米管-聚二甲基硅氧烷(Ag/CNTs-PDMS)复合结构的柔性压力传感器。研究表明,所制备的压力传感器具有较高的灵敏度(0.718 kPa^-1)、较宽的工作范围(40 kPa)、较短的响应时间(1.14 s)以及良好的可重复性,有望用于在轨实时压力监测。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 镀银碳纳米管 聚二甲基硅氧烷 压阻效应 浸渍-干燥法
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仿生人工肛门括约肌假体的机构设计和实验验证
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作者 鲁姗 王志武 +1 位作者 颜国正 周泽润 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期1151-1158,共8页
为模仿耻骨直肠肌牵引直肠形成肛肠角以实现控便,设计了一款基于三环式结构的仿生人工肛门括约肌假体.采用高度集成的减速器将电动机驱动由内向外输出,使用O型圈实现旋转部件的动密封;自制密封性良好的传感器来测量肠壁受力;进行力学性... 为模仿耻骨直肠肌牵引直肠形成肛肠角以实现控便,设计了一款基于三环式结构的仿生人工肛门括约肌假体.采用高度集成的减速器将电动机驱动由内向外输出,使用O型圈实现旋转部件的动密封;自制密封性良好的传感器来测量肠壁受力;进行力学性能测试、防水实验和动物实验以验证假体功能.结果表明:假体的总传动效率为49%~59%,输出转矩为2.04~2.51 N·m,单个行程响应时间为10 s;柔性压力传感器的输出和其所受压力之间具有良好的线性度;当假体对肠道径向的闭合压力为6.6 kPa时,可在直肠腔内维持98 cm高度的水柱不渗漏;假体在经历4 050次开关运动后仍不发生渗漏;植入假体可有效避免肠吻合术,并可在动物体内进行有效控便、排便.实验结果验证了所设计的仿生人工肛门括约肌假体是一种能有效控便且整体防水性能良好的机电一体化机构. 展开更多
关键词 人工肛门括约肌假体 三环执行器 柔性肠道压力传感器 防水 动物实验
柔性压力传感器温度漂移补偿结构设计 预览
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作者 聂萌 陈佳琦 徐峰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第10期1443-1446,1466共5页
温度补偿是对微传感器的性能进行优化与稳定的必要技术方案。提出了一种适用于柔性压力传感器的温度漂移补偿方法及结构,选用高热膨胀系数的聚二甲基硅氧烷(PDMS)与硅橡胶(EcoFlex)作为柔性衬底,结合基底表面微结构设计进行温度补偿。... 温度补偿是对微传感器的性能进行优化与稳定的必要技术方案。提出了一种适用于柔性压力传感器的温度漂移补偿方法及结构,选用高热膨胀系数的聚二甲基硅氧烷(PDMS)与硅橡胶(EcoFlex)作为柔性衬底,结合基底表面微结构设计进行温度补偿。由测试结果分析,未补偿前传感器的TCR系数为-0.57%/K,在EcoFlex、PDMS、表面具有微结构的EcoFlex、以及表面具有微结构的PDMS四种基底上TCR系数分别为-0.42%/K,-0.37%/K,-0.24%/K,-0.22%/K,可知温度漂移得到有效补偿。本研究方法为柔性压阻式传感器的温漂性能优化提供了有益的借鉴作用。 展开更多
关键词 柔性电子 压阻传感器 温度漂移 热膨胀系数
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压阻式柔性压力传感器的研究进展 预览
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作者 于江涛 孙雷 +2 位作者 肖瑶 蒋书文 张万里 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1-11,共11页
随着智能化技术及物联网的不断发展,柔性压力传感器作为可穿戴电子设备和电子皮肤的核心器件,拥有了越来越广阔的市场。经过了十余年的发展,压阻式柔性压力传感器的相关研究已经从探究具有压敏效应的导电高分子复合材料发展到了对高性... 随着智能化技术及物联网的不断发展,柔性压力传感器作为可穿戴电子设备和电子皮肤的核心器件,拥有了越来越广阔的市场。经过了十余年的发展,压阻式柔性压力传感器的相关研究已经从探究具有压敏效应的导电高分子复合材料发展到了对高性能传感器的制备研究。为了获得高性能的柔性压力传感器,研究者们在传感器的材料、结构及器件设计等方面进行一系列的创新型研究工作。目前已经研制出了一些基于新型材料与结构的高性能、低成本的柔性压力传感器,并且在可穿戴传感器、电子皮肤等应用领域已经获得了一定程度的发展。本文综述了近年来压阻式柔性压力传感器在材料、结构及应用方向的创新及发展,并对该类传感器的发展进行了展望。 展开更多
关键词 智能化技术 物联网 综述 可穿戴电子设备 柔性压力传感器 电子皮肤
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喷印柔性压力传感器试验研究
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作者 罗毅辉 彭倩倩 +5 位作者 朱宇超 王广顺 吴德志 朱睿 谢瑜 孙道恒 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期90-97,共8页
柔性压力传感器是智能机器人和生物医疗等典型应用领域中的关键部件。针对10~50 kPa中等压力下对柔性压力传感器的高灵敏度、良好压力分辨率和快速响应需求,提出在PDMS基底上直写喷印石墨烯纳米片(GNPs)/多壁碳纳米管(MWCNT)构建S型折... 柔性压力传感器是智能机器人和生物医疗等典型应用领域中的关键部件。针对10~50 kPa中等压力下对柔性压力传感器的高灵敏度、良好压力分辨率和快速响应需求,提出在PDMS基底上直写喷印石墨烯纳米片(GNPs)/多壁碳纳米管(MWCNT)构建S型折线图案化敏感单元,结合封装层微结构阵列,制备中压高灵敏度、低检测限的柔性压力传感器。试验结果表明,在压力为0~15 kPa和15~40 kPa的条件下,该传感器灵敏度分别为0.114 kPa^-1和1.41 kPa^1,响应/恢复速度快(约100 ms/50ms)。同时,其也可检测低至约3Pa的微小压力。同时,该传感器更是能对不同发声进行准确的区分识别,对不同的指压信号进行精确稳定反馈。可见,喷印制造柔性压力传感器将为语音识别、人工假肢、制备高性能电子皮肤和医疗康复器件等提供可能的优选方案。 展开更多
关键词 直写喷印 柔性压力传感器 石墨烯纳米片 微结构 电子皮肤
基于碳材料的柔性压力传感器研究进展 预览 被引量:2
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作者 何崟 周艺颖 +3 位作者 刘皓 孙可可 李晓久 王晓云 《化工进展》 CSCD 北大核心 2018年第7期2664-2671,共8页
柔性压力传感器作为可穿戴电子技术的核心器件,近几年得到广泛的关注。本文综述了国内外高精度碳材料柔性压力传感器的研究进展,包括介绍其传感机理、主要材料(基底材料、活性材料、电极材料)、性能影响因素和优化方法以及在人体运动... 柔性压力传感器作为可穿戴电子技术的核心器件,近几年得到广泛的关注。本文综述了国内外高精度碳材料柔性压力传感器的研究进展,包括介绍其传感机理、主要材料(基底材料、活性材料、电极材料)、性能影响因素和优化方法以及在人体运动和健康监测等方面的最新应用。提出以碳基微纳米材料,如炭黑、石墨、碳纳米管、石墨烯等为感应活性材料的柔性压力传感器主要采用压阻和电容式传感机制,其具有高灵敏度和稳定性、宽线性和快速响应等特点,并能够通过控制碳材料的含量或结构来提高传感器性能。但低成本、高性能、低能耗和自驱动仍然是柔性传感器所面临的挑战,新型传感机制、新材料功能化以及柔性器件的整合技术将是未来发展方向。 展开更多
关键词 电子材料 纳米材料 复合材料 碳材料 柔性压力传感器
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碳纳米材料在柔性压力传感器中的应用 预览 被引量:2
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作者 罗实 周熙 +1 位作者 杨俊 魏大鹏 《功能材料》 CSCD 北大核心 2018年第8期8048-8056,8061共10页
随着碳纳米材料的发展,柔性压力传感器在电子皮肤、机器人、移动医疗诊断和人机交互等领域有着广泛的应用。由碳纳米材料制备的柔性压力传感器有柔性、高稳定性等优点,使其成为近年来的热门研究方向之一。系统综述了基于碳纳米材料的柔... 随着碳纳米材料的发展,柔性压力传感器在电子皮肤、机器人、移动医疗诊断和人机交互等领域有着广泛的应用。由碳纳米材料制备的柔性压力传感器有柔性、高稳定性等优点,使其成为近年来的热门研究方向之一。系统综述了基于碳纳米材料的柔性压力传感器的分类,以及各个类型传感器的优势和不足。最后,展望了柔性压力传感器在耐久度、多维度形变探测和生物安全性等方面的发展趋势。 展开更多
关键词 柔性传感 碳纳米材料 压力传感器
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CVD growth of fingerprint-like patterned 3D graphene film for an ultrasensitive pressure sensor
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作者 Kailun Xia Chunya Wang +2 位作者 Muqiang Jian Qi Wang Yingying Zhang 《纳米研究:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第2期1124-1134,共11页
与便携设备的快速的发展,有高敏感和宽可使用的范围的灵活压力传感器高度被需要。在自然,有许多改编得好的结构,通过自然选择开发,它为 biomimetic 材料或设备的设计鼓舞了我们。特别地,在许多表皮的山脉放大外部刺激的地方,人的... 与便携设备的快速的发展,有高敏感和宽可使用的范围的灵活压力传感器高度被需要。在自然,有许多改编得好的结构,通过自然选择开发,它为 biomimetic 材料或设备的设计鼓舞了我们。特别地,在许多表皮的山脉放大外部刺激的地方,人的指尖皮肤可能是一个好例子为高度敏感的传感器模仿。在这个工作,基于唯一的化学蒸汽免职( CVD )种模仿指尖皮肤的形态学的 3D graphene 电影,我们制作了察觉到膜的灵活压力,它同时显示出 110 的高敏感( kPa )为 0-0.2 kPa 和宽可使用的压力范围(多达 75 kPa )的<sup>1</sup>。从自然叶子塑造的层次结构化的 PDMS 电影为 graphene 电影被用作支持的有弹性的电影,它也贡献压力传感器的优异表演。压力传感器显示出低察觉限制(0.2 Pa ) ,快反应(< 30 ms ) ,并且为超过 10,000 的优秀稳定性装载 / 卸掉周期。把特征基于这些,我们在检测微小的对象,声音,和人的生理的信号演示了它的应用程序,为监视的健康和人 / 机器在便携电子学显示出它的潜力连接。 展开更多
关键词 压力传感器 CVD 电影 3D 图案 指纹 生长 自然选择
基于PZT纳米纤维柔性压力传感器的研制 被引量:5
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作者 刘扬 谭晓兰 +1 位作者 鲍娜娜 刘宁 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第10期733-737,745共6页
设计制作了一种柔性压力传感器,以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)作为柔性基底,用静电纺丝技术制备的锆钛酸铅(PZT)纳米纤维作为敏感材料。将PZT纳米纤维铺设到带有氧化铟锡(ITO)叉指电极的PET柔性基底上,再将聚二甲基硅氧烷(PDM... 设计制作了一种柔性压力传感器,以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)作为柔性基底,用静电纺丝技术制备的锆钛酸铅(PZT)纳米纤维作为敏感材料。将PZT纳米纤维铺设到带有氧化铟锡(ITO)叉指电极的PET柔性基底上,再将聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜覆盖在PZT纳米纤维上制成柔性压力传感器。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分别对PZT纳米纤维的晶体结构和形貌进行了表征,并通过测试系统测试了传感器的性能。测试结果表明:在20-60kPa内,随着压强的增大,传感器的开路电压随之线性增大,最大约为10V,其中灵敏度约为180mV/kPa。 展开更多
关键词 静电纺丝 柔性压力传感器 锆钛酸铅(PZT) 柔性基底 纳米纤维 敏感材料
柔性压力传感器研究进展 预览
17
作者 杨海艳 李延斌 +2 位作者 熊继军 陈晓勇 罗铭宇 《应用化工》 CSCD 北大核心 2018年第12期2701-2704,共4页
简单介绍了柔性压力传感器的特点,着重阐述了柔性压力传感器工作原理的三种形式及常用的柔性材料,综述了其在人工电子皮肤、智能服装、可穿戴设备领域的应用,最后指出了柔性压力传感器发展过程中存在的问题并对其前景进行了展望。
关键词 柔性压力传感器 研究进展 应用
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基于应变片压阻效应的柔性传感器阵列的设计 预览 被引量:3
18
作者 肖立志 郭兰申 张磊 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第7期4-6,19共4页
为了使应用于机器人“皮肤”的传感器满足柔性、可阵列化和灵敏度高的需求,在传统应变式压力传感器的基础上,提出了基于应变片的压阻式柔性压力传感器的设计方案。在实验室条件下,应用三元乙丙橡胶作为弹性元件,制作柔性压力传感器,根... 为了使应用于机器人“皮肤”的传感器满足柔性、可阵列化和灵敏度高的需求,在传统应变式压力传感器的基础上,提出了基于应变片的压阻式柔性压力传感器的设计方案。在实验室条件下,应用三元乙丙橡胶作为弹性元件,制作柔性压力传感器,根据应变片的压阻效应可知,在弹性元件表面的压力值与电阻的变化存在对应关系。为了能够快速识别每个传感器单元的受力信息,采用行扫描法对传感器阵列逐行扫描。为了能够大面积覆盖,采用FPC连接器对柔性传感器阵列块与块之间进行连接,以及进行传感器阵列与控制板之间信号的传递。 展开更多
关键词 机器人 柔性 压力传感器 压阻效应 弹性元件 行扫描法
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微纳结构对电容式柔性压力传感器性能影响的研究 预览 被引量:6
19
作者 全勇 魏雄邦 +5 位作者 肖伦 吴涛 庞韩英 吴双红 陈志 蒋亚东 《传感技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第3期337-340,共4页
设计制备出三明治结构的电容式柔性压力传感器,并对其性能进行研究。该传感器以银纳米线为电极材料,聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性衬底,同时采用毛面玻璃和光面玻璃分别作为柔性衬底的制备模板,制备出微纳结构和平面结构的PDMS薄膜。然... 设计制备出三明治结构的电容式柔性压力传感器,并对其性能进行研究。该传感器以银纳米线为电极材料,聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性衬底,同时采用毛面玻璃和光面玻璃分别作为柔性衬底的制备模板,制备出微纳结构和平面结构的PDMS薄膜。然后采用喷涂法制备Ag NWs/PDMS复合电极,以另外一层PDMS为介电层,将两电极面对面封装,得到电容式柔性压力传感器,最后系统研究了传感器的电极微纳结构对器件性能的影响。本文研究表明,具有微纳结构的AgNWs/PDMS复合薄膜传感器的灵敏度为1.0 k Pa(-1),而平面结构的Ag NWs/PDMS复合薄膜传感器的灵敏度为0.6 k Pa(-1),由此可知具有微纳结构的柔性衬底能够显著提高器件的灵敏度。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 微纳结构 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 银纳米线
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基于CNTs/PDMS介电层的柔性压力传感特性研究 预览 被引量:5
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作者 赵学峰 崔建利 +2 位作者 高飞 张志东 闫树斌 《传感技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第7期996-1000,共5页
提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法。采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS软光刻工艺在PDMS柔性基底上制备了具有"V"型阵列微结构的Ag薄膜平行板电极,基于碳纳米管(CNTs)/PDM... 提出一种基于MEMS工艺的柔性压力传感器制备方法。采用MEMS工艺制备柔性压力传感器模板,结合纳米压印技术、射频磁控溅射技术和PDMS软光刻工艺在PDMS柔性基底上制备了具有"V"型阵列微结构的Ag薄膜平行板电极,基于碳纳米管(CNTs)/PDMS聚合物的压电容特性,制备出电容式柔性压力传感器。针对不同尺寸的压力传感器进行对比测试,本文制作的压力传感器的灵敏度能够达到3.98%k Pa-1,具有良好的重复性,在智能穿戴和电子皮肤等方面有着广阔的应用前景。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 “V”型平行板电极 MEMS PDMS
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