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无基膜高深宽比双面集成微结构元件的制作 预览
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作者 徐平 黄燕燕 +2 位作者 张旭琳 杨伟 彭文达 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期129-136,共8页
基于双面集成微结构薄片元件在集成光学成像、光束整形等方面的应用日益普及,针对其中一些一体化、高深宽比结构在制作方面的难点问题,本文提出一种无基膜支撑、高深宽比的双面集成微结构元件的制作新方法——紫外压印改进技术。通过该... 基于双面集成微结构薄片元件在集成光学成像、光束整形等方面的应用日益普及,针对其中一些一体化、高深宽比结构在制作方面的难点问题,本文提出一种无基膜支撑、高深宽比的双面集成微结构元件的制作新方法——紫外压印改进技术。通过该方法,成功地制作了无基膜、高深宽比结构的集成导光板样品;样品上下表面微结构形貌与金属模具在误差范围内保持一致,转印复制过程的物理结构形变小,且样品的厚度整体均匀、平整无翘曲。实验结果表明,本文提出的紫外压印改进技术方法能有效地制作无基膜支撑、双面集成高深宽比的微结构元件,可望在集成光学成像及光束整形、匀光、导光、聚光等光学器件制作领域有良好应用。 展开更多
关键词 双面集成 无基膜 高深宽比 紫外压印
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大展弦比机翼的非线性气动弹性缩比优化 预览
2
作者 刘振东 韩景龙 《盐城工学院学报:自然科学版》 CAS 2019年第2期12-16,共5页
针对几何非线性效应明显的大展弦比机翼,使用两种传统线性缩比方法(刚度和质量耦合下直接进行模态匹配与解耦刚度和质量后进行模态响应匹配的方法)与非线性的缩比方法对某大展弦比机翼进行了仿真计算与比较分析,得出传统的线性缩比方法... 针对几何非线性效应明显的大展弦比机翼,使用两种传统线性缩比方法(刚度和质量耦合下直接进行模态匹配与解耦刚度和质量后进行模态响应匹配的方法)与非线性的缩比方法对某大展弦比机翼进行了仿真计算与比较分析,得出传统的线性缩比方法得到的缩比模型与设计目标相差较大,非线性缩比方法误差较小,即非线性缩比方法更加适用于存在明显几何非线性效应的大展弦比机翼的结论。 展开更多
关键词 大展弦比 缩比 几何非线性 等效静态载荷法
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大展弦比桁架支撑机翼静气动弹性问题研究 预览
3
作者 王丽莎 曹旭 +1 位作者 石晓锋 郭兆电 《航空科学技术》 2019年第7期27-32,共6页
桁架支撑机翼构型能够显著减轻结构重量,增大机翼展弦比,进而提高飞机升阻比,降低油耗,是一种很有潜力的未来运输机布局方案。目前国内尚无关于桁架支撑布局形式飞机的系统研究。为研究某大展弦比桁架支撑布局飞机的静气动弹性问题,本... 桁架支撑机翼构型能够显著减轻结构重量,增大机翼展弦比,进而提高飞机升阻比,降低油耗,是一种很有潜力的未来运输机布局方案。目前国内尚无关于桁架支撑布局形式飞机的系统研究。为研究某大展弦比桁架支撑布局飞机的静气动弹性问题,本文采用基于面元法的静气动弹性分析法,依据估算刚度建立了其静气动弹性计算模型,与常规构型机翼进行了对比计算与分析。结果表明,采用桁架支撑布局形式的大展弦比机翼变形量较小,弹性变形对气动特性的影响量也较小,还能够有效降低内翼部分承受的力与力矩,有利于结构减重设计,从而为大展弦比桁架支撑机翼设计提供参考。 展开更多
关键词 桁架支撑机翼 大展弦比 静气动弹性
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热压增大光刻胶光栅占宽比的方法及其应用 预览
4
作者 郑衍畅 胡华奎 +3 位作者 邱克强 王海 徐向东 付绍军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期94-100,共7页
全息光刻-单晶硅各向异性湿法刻蚀是制作大高宽比硅光栅的一种重要方法 ,而如何增大光刻胶光栅的占宽比,以提高制作工艺宽容度和光栅质量是急需解决的问题。本文提出了一种热压增大光刻胶光栅占宽比的方法,该方法通过加热加压直接将光... 全息光刻-单晶硅各向异性湿法刻蚀是制作大高宽比硅光栅的一种重要方法 ,而如何增大光刻胶光栅的占宽比,以提高制作工艺宽容度和光栅质量是急需解决的问题。本文提出了一种热压增大光刻胶光栅占宽比的方法,该方法通过加热加压直接将光刻胶光栅线条展宽。论文详细阐述了其工艺过程,探究了占宽比增加值随施压载荷、温度的变化规律,讨论了施压垫片对光刻胶光栅质量的影响。应用此方法制作了周期为500nm的硅光栅,光栅线条的高宽比达到了12.6,氮化硅光栅掩模的占宽比高达0.72。热压增大光刻胶光栅占宽比的方法工艺简单、可靠,无需昂贵设备、成本低,能够有效增大占宽比,且获得的光栅掩模质量高、均匀性好,满足制作高质量大高宽比硅光栅的要求。 展开更多
关键词 硅光栅 大高宽比 光刻胶光栅 占宽比 热压
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40nm节点高深宽比接触孔刻蚀电性能稳定性改善
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作者 贺金鹏 蒋晓钧 +4 位作者 明安杰 傅剑宇 罗军 王玮冰 陈大鹏 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第3期194-200,共7页
随着工艺节点减小,对高深宽比接触孔形貌和关键尺寸的精准控制变得愈加困难。基于40nm逻辑器件量产数据,研究了高深宽比接触孔刻蚀工艺参数和刻蚀设备内部耗材的磨损对器件电性能稳定性的影响,并提出了工艺改进方案。通过减小SiO2厚度,... 随着工艺节点减小,对高深宽比接触孔形貌和关键尺寸的精准控制变得愈加困难。基于40nm逻辑器件量产数据,研究了高深宽比接触孔刻蚀工艺参数和刻蚀设备内部耗材的磨损对器件电性能稳定性的影响,并提出了工艺改进方案。通过减小SiO2厚度,减小接触孔深宽比,从而改善孔内聚合物在孔底部沉积的问题;通过优化刻蚀工艺参数提高SiN/SiO2刻蚀选择比,保持刻蚀后SiO2的厚度与改进前工艺相同。测试结果表明,工艺改进后接触孔底部关键尺寸稳定性提升36%,接触电阻稳定性提升20%。通过工艺改进提高了电参数稳定性,对40nm工艺节点逻辑器件产品良率提升起到了关键作用。 展开更多
关键词 高深宽比 接触孔刻蚀 侧壁形貌 刻蚀选择比 接触电阻 刻蚀设备耗材
发动机推力对大展弦比机翼颤振边界的影响 预览
6
作者 聂雪媛 余明亮 +1 位作者 钟培楠 杨国伟 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期33-43,共11页
为解决现有线性气动力模型对大柔性机翼受发动机推力影响的气动稳定性分析方法的不足,提出了基于计算流体力学(CFD)与Simo几何精确梁模型的非线性气动弹性分析方法。以翼吊式发动机的大展弦比机翼为研究对象,采用横向随动力和集中质量... 为解决现有线性气动力模型对大柔性机翼受发动机推力影响的气动稳定性分析方法的不足,提出了基于计算流体力学(CFD)与Simo几何精确梁模型的非线性气动弹性分析方法。以翼吊式发动机的大展弦比机翼为研究对象,采用横向随动力和集中质量模拟发动机推力和吊挂质量,分别研究了单纯发动机推力和考虑气动载荷联合作用时,发动机推力、结构弯扭刚度比、发动机集中质量以及发动机安装位置等参数对机翼结构颤振特性的影响。数值模拟所采用的大展弦比柔性机翼非线性气动弹性模型耦合了Simo几何精确梁模型和雷诺平均N-S非定常气动力模型,考虑了结构和流场的两场非线性耦合。模拟结果表明:发动机推力对机翼颤振边界影响很大,具体的影响效果取决于上述其他参数的变化;发动机吊舱靠近翼根布置、发动机尽量布置在机翼弹性轴之前、减小机翼弯扭刚度比等布局或设置有利于扩大机翼的颤振包线范围。因此,在进行翼吊式气动布局的设计或分析时,必须考虑发动机推力及其相关参数的影响。 展开更多
关键词 翼吊式发动机 大展弦比 气动弹性稳定性 发动机推力
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大展弦比复合材料机翼结构轻重量设计技术 预览
7
作者 徐荣欣 杨军 +2 位作者 甘学东 刘衍腾 胡利 《高科技纤维与应用》 CAS 2019年第2期35-39,共5页
长航时无人机普遍采用大展弦比柔性机翼,本文首先分析了大展弦比机翼的特点和结构设计的难点,然后从材料应用、先进设计方法、结构形式三个方面分析了结构轻重量设计的关键技术,为实际大展弦比无人机机翼结构的研制提供参考。
关键词 大展弦比 柔性机翼 结构设计 复合材料 轻重量设计
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聚焦离子束切割法制备多层膜X射线波带片
8
作者 姚广宇 李艳丽 +1 位作者 孔祥东 韩立 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第4期314-318,共5页
X射线波带片是X射线显微成像系统中用于聚焦及成像的核心元件,提高波带片性能参数,更利于X射线显微成像技术的广泛应用。选择可精确控制厚度的原子层沉积(ALD)法结合聚焦离子束(FIB)切割法制备出大高宽比X射线波带片结构,即用原子层沉... X射线波带片是X射线显微成像系统中用于聚焦及成像的核心元件,提高波带片性能参数,更利于X射线显微成像技术的广泛应用。选择可精确控制厚度的原子层沉积(ALD)法结合聚焦离子束(FIB)切割法制备出大高宽比X射线波带片结构,即用原子层沉积法在光滑的钨丝表面交替沉积Al2O3/HfO2多层膜,其总层数为360,最外层膜宽度为10 nm。聚焦离子束的加速电压设定为30 kV,先利用束流为1 000 pA的离子束流将Al2O3/HfO2多层膜切割成设计厚度的薄片,再利用束流为350 pA的离子束流对切割的截面进行抛光,最后得到厚度为50μm、最外层膜宽度为10 nm的大高宽比X射线波带片结构。 展开更多
关键词 原子层沉积(ALD) 聚焦离子束(FIB) X射线波带片 显微成像系统 大高宽比
大展弦比机翼试验随动加载系统研究 预览
9
作者 李小欢 张蕾 《航空工程进展》 CSCD 2019年第2期221-227,共7页
在飞机结构试验中,通常会遇到试验加载点随试验件变形而移动变化的问题,尤其是机翼大变形会导致加载点与翼面不垂直的问题。开发一种适用于全复合材料机翼试验的随动加载系统,该系统引入有限元分析方法将机翼变形划分成N个特征飞行点,... 在飞机结构试验中,通常会遇到试验加载点随试验件变形而移动变化的问题,尤其是机翼大变形会导致加载点与翼面不垂直的问题。开发一种适用于全复合材料机翼试验的随动加载系统,该系统引入有限元分析方法将机翼变形划分成N个特征飞行点,采用飞行点随动加载来保证各级加载点与翼面的垂直度,实现垂直跟随加载;应用该加载系统进行大展弦比的机翼静力试验。结果表明:运用该加载系统可顺利实现该无人机机翼试验,且加载过程平稳,试验件无抖动,变形均匀,应变数据符合试验要求,可以为类似加载系统提供设计依据。 展开更多
关键词 机翼试验 大展弦比 随动加载系统 静力试验
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高层建筑结构设计难点分析 预览
10
作者 初莎莎 《黑龙江科学》 2019年第4期66-67,共2页
立足于高层建筑结构设计工作,提出了做好高层建筑结构地基基础、稳定性、材料应用、高宽比控制、参数设计等相关内容,为高层建筑结构设计工作更好地突破设计难点,形成优质高层建筑结构设计精品方案展开深层次思考。
关键词 高层建筑 地基基础 结构设计 材料 高宽比 参数
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高深宽比微细结构紫外光固化-脱模工艺建模与分析
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作者 吴昊 易培云 +1 位作者 彭林法 来新民 《上海交通大学学报》 CSCD 北大核心 2018年第12期1603-1608,共6页
针对高深宽比结构的脱模问题,利用压缩试验获得了材料的力学性能,并用Ogden模型对其进行描述,建立了卷对卷紫外光(UV)固化-脱模工艺过程的有限元模型.分析了光照时长、残余层厚度、微结构深宽比以及结构间隙等参数对脱模最大应力的影响... 针对高深宽比结构的脱模问题,利用压缩试验获得了材料的力学性能,并用Ogden模型对其进行描述,建立了卷对卷紫外光(UV)固化-脱模工艺过程的有限元模型.分析了光照时长、残余层厚度、微结构深宽比以及结构间隙等参数对脱模最大应力的影响规律.结果表明:在结构深宽比为4∶1时,界面粘接力是导致脱模缺陷的主要原因;光照时长越长,残余层厚度越薄;微结构深宽比越小以及结构间隙越大,固化-脱模应力越小、越有利于脱模. 展开更多
关键词 高深宽比 卷对卷 固化-脱模 结构缺陷
高层建筑环形走廊机械排烟口合理布置优化研究
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作者 朱毅 李思成 《工程热物理学报》 CSCD 北大核心 2018年第10期2333-2338,共6页
合理布置机械排烟口能够有效提高高层建筑疏散走道的排烟效率。采用1/3缩尺核心筒高层建筑烟气流动试验台,研究了排烟口4种不同宽高比和4种不同安装高度对环形走廊机械排烟效果的影响,对比分析了走廊内的烟气温度、烟气蔓延速度和走... 合理布置机械排烟口能够有效提高高层建筑疏散走道的排烟效率。采用1/3缩尺核心筒高层建筑烟气流动试验台,研究了排烟口4种不同宽高比和4种不同安装高度对环形走廊机械排烟效果的影响,对比分析了走廊内的烟气温度、烟气蔓延速度和走廊能见度。实验结果表明,宽高比为2的机械排烟口的排烟效果最佳;当排烟口上沿距顶棚的距离小于0.3m时,对人员安全疏散较为有利。研究结论可为高层建筑环形走廊机械排烟系统设计及防排烟设计规范相关参数的修订提供参考。 展开更多
关键词 高层建筑 环形走廊 宽高比 排烟口高度 小尺寸实验
高纵横比盲孔电镀铜填孔技术改进 预览
13
作者 夏海 谢慈育 +1 位作者 丁杰 郝意 《印制电路信息》 2018年第12期31-34,共4页
随着盲孔填孔产品及工艺的发展,越来越多的注意力被放在了高纵横比微盲孔的填孔技术开发上。目前高纵横比微盲孔填孔中经常出现包芯,面铜厚等问题。本文研究了通过特殊的分子结构设计以及工艺改进,极大的改善了高纵横比微盲孔的填孔表现。
关键词 盲孔填孔 高纵横比 电镀铜 添加剂
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改变镀液酸铜比和电流密度提高PCB深镀能力 预览
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作者 朱圣钦 陈世金 +3 位作者 陈斐健 张辉已 廖超慧 张胜涛 《印制电路信息》 2018年第5期24-28,共5页
PCB多层板厚度和层数增多,孔径减小,高厚径比孔内镀铜深镀能力有待提高。文章通过调整目前产线镀液酸铜比来改善溶液的导电性,同时调整电流参数,进而提高深镀能力。结果表明满足生产品质要求。
关键词 高厚径比 导电性 电流密度 深镀能力
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静电场诱导光刻技术实现曲面光栅结构的制备 预览
15
作者 李和福 赵楠 +3 位作者 田存伟 冯振豹 于会山 王文军 《聊城大学学报:自然科学版》 2018年第4期52-57,共6页
利用软光刻技术在凸面基底上制备了光栅结构.以此凸面基底上制备的光栅结构作为模板,利用静电场诱导光刻技术实现了凹面基底上光栅结构的制备.光栅模板结构的高度为5.3 μm,线宽是6.25 μm,高宽比达到0.85∶1.诱导成形光栅结构的高度... 利用软光刻技术在凸面基底上制备了光栅结构.以此凸面基底上制备的光栅结构作为模板,利用静电场诱导光刻技术实现了凹面基底上光栅结构的制备.光栅模板结构的高度为5.3 μm,线宽是6.25 μm,高宽比达到0.85∶1.诱导成形光栅结构的高度为42 μm,线宽是13.35 μm,高 宽比高于3∶1.结果表明借助静电场诱导光刻技术可以在曲面基底上利用小高宽比的微结构模板制备出大高宽比的微结构. 展开更多
关键词 软光刻技术 静电场诱导光刻技术 光栅结构 大高宽比 曲面基底
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高纵横比板沉铜孔破解决方案及探讨 预览
16
作者 莫果 陈世金 +3 位作者 陈斐健 朱圣钦 苟雪萍 何为 《印制电路信息》 2018年第1期59-65,共7页
以一款高纵横比为10:1的板件在垂直沉铜线制作过程中出现的孔破为倒,对其产生异常的原因进行试验查找及分析,并针对此类不良提出了具体的改善措施,
关键词 高纵横比 垂直沉铜线 震动 摇摆
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重大件货物立式运输系固设计 预览
17
作者 刘向冬 丁超 《船舶设计通讯》 2018年第1期12-17,共6页
结构物的逐渐大型化对运输安全提出新的要求,而对其进行合理有效的系固是确保安全运输的一个重要环节。针对高度与宽度比值较大且需要采用立式运输的重大件货物,选取实例研究,通过分析运输过程中的受力,在考虑安全性与可实施性的前提下... 结构物的逐渐大型化对运输安全提出新的要求,而对其进行合理有效的系固是确保安全运输的一个重要环节。针对高度与宽度比值较大且需要采用立式运输的重大件货物,选取实例研究,通过分析运输过程中的受力,在考虑安全性与可实施性的前提下确定系固方案,最后得出普适性的结论。这为提高重大件货物运输的安全性提供参考。 展开更多
关键词 重大件货物 大高宽比 系固绑扎 受力分析
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梳齿型深硅刻蚀工艺研究 预览 被引量:1
18
作者 张旭 张迪雅 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第2期1-3,27共4页
为实现Faims气体传感器梳齿型离子迁移区的设计,文中采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术进行大深宽比梳齿型结构的深硅刻蚀。影响刻蚀的工艺参数主要包括RF功率、腔室压力、气体流量等,通过调节刻蚀气体SF6流量、腔室压力等参数进行试... 为实现Faims气体传感器梳齿型离子迁移区的设计,文中采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术进行大深宽比梳齿型结构的深硅刻蚀。影响刻蚀的工艺参数主要包括RF功率、腔室压力、气体流量等,通过调节刻蚀气体SF6流量、腔室压力等参数进行试验,分析工艺参数对刻蚀速率、表面形貌和侧壁垂直度的影响,选出最优工艺参数。根据选出的最优工艺参数,刻蚀出了侧壁光滑、垂直度为90°的梳齿型迁移区。 展开更多
关键词 深硅刻蚀 大深宽比 刻蚀速率 工艺参数
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Atomic layer deposition of copper thin film and feasibility of deposition on inner walls of waveguides
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作者 熊玉卿 高恒蛟 +1 位作者 任妮 刘忠伟 《等离子体科学与技术:英文版》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第3期146-150,共5页
关键词 原子层 电影 波导 光电子光谱 生长机制 低温度
大深径比微孔加工技术及其发展 预览
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作者 焦悦 贺斌 +1 位作者 李朋 田东坡 《航空科学技术》 2018年第3期1-7,共7页
大深径比微孔加工在航空和汽车领域有广泛需求,如航空发动机涡轮叶片气膜孔、火焰筒气膜孔、航空喷油嘴微孔以及汽车喷油嘴微孔均需要大深径比微孔加工。目前,大深径比微孔加工方法主要有电火花、电液束、水导激光和飞秒激光4种加工... 大深径比微孔加工在航空和汽车领域有广泛需求,如航空发动机涡轮叶片气膜孔、火焰筒气膜孔、航空喷油嘴微孔以及汽车喷油嘴微孔均需要大深径比微孔加工。目前,大深径比微孔加工方法主要有电火花、电液束、水导激光和飞秒激光4种加工技术。介绍了4种加工技术原理和研究现状,对比分析了各自的特点及其应用,最后对大深径比微孔加工技术的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 微孔 大深径比 电火花 电液束 水导激光 飞秒激光
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